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公开(公告)号:TWI679398B
公开(公告)日:2019-12-11
申请号:TW105142816
申请日:2016-12-22
Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
Inventor: 賈克 馬丁 賈庫柏斯 喬漢 , JAK, MARTIN JACOBUS JOHAN , 丹 包伊夫 亞歷 傑福瑞 , DEN BOEF, ARIE JEFFREY , 艾伯特 馬汀 , EBERT, MARTIN
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公开(公告)号:TWI672569B
公开(公告)日:2019-09-21
申请号:TW106143649
申请日:2017-12-13
Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
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公开(公告)号:TWI672556B
公开(公告)日:2019-09-21
申请号:TW106145450
申请日:2017-12-25
Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
Inventor: 曹 宇 , CAO, YU , 盧 彥文 , LU, YEN-WEN , 劉 鵬 , LIU, PENG , 何威爾 羅福 C , HOWELL, RAFAEL C. , 比斯瓦思 羅西尼 , BISWAS, ROSHNI
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公开(公告)号:TWI670575B
公开(公告)日:2019-09-01
申请号:TW107121791
申请日:2018-06-26
Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
Inventor: 史達爾 法蘭克 , STAALS, FRANK , 凡 巫斯登 安東 伯恩哈得 , VAN OOSTEN, ANTON BERNHARD , 尤迪斯提拉 亞斯理 , YUDHISTIRA, YASRI , 魯吉坦 卡羅 康妮斯 瑪里亞 , LUIJTEN, CARLO CORNELIS MARIA , 凡斯崔登 伯特 , VERSTRAETEN, BERT , 吉敏克 簡 威廉 , GEMMINK, JAN-WILLEM
IPC: G03F7/20
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公开(公告)号:TWI669750B
公开(公告)日:2019-08-21
申请号:TW106143866
申请日:2017-12-14
Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
Inventor: 米德克魯克斯 史考特 安德森 , MIDDLEBROOKS, SCOTT ANDERSON , 庫博曼 安卓尼斯 康納力司 馬修士 , KOOPMAN, ADRIANUS CORNELIS MATHEUS , 凡 可拉吉 馬可斯 傑拉度 馬堤司 瑪麗亞 , VAN KRAAIJ, MARKUS GERARDUS MARTINUS MARIA , 帕薩瑞可 馬克辛 , PISARENCO, MAXIM
IPC: H01L21/027 , G06F17/50
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公开(公告)号:TWI668511B
公开(公告)日:2019-08-11
申请号:TW107108013
申请日:2018-03-09
Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
Inventor: 尼杰 捷樂 , NIJE, JELLE , 伊瑪 亞力山大 , YPMA, ALEXANDER , 吉科魯 迪米特拉 , GKOROU, DIMITRA , 齊羅吉安尼斯 喬吉奧斯 , TSIROGIANNIS, GEORGIOS , 維克 羅伯特 貞 凡 , VAN WIJK, ROBERT JAN , 陳子超 , CHEN, TZU CHAO , 斯菲林 法蘭斯 雷尼爾 , SPIERING, FRANS REINIER , 羅伊 薩拉希 , ROY, SARATHI , 高斯達 席德瑞克 迪賽爾 , GROUWSTRA, CEDRIC DESIRE
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公开(公告)号:TWI666713B
公开(公告)日:2019-07-21
申请号:TW107117445
申请日:2018-05-23
Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
Inventor: 桑吉內蒂 岡薩洛 羅伯托 , SANGUINETTI, GONZALO ROBERTO , 衛斯 尼可拉斯 莫里西歐 , WEISS, NICOLAS MAURICIO , 維森 尚-皮耶 雅格尼司 亨利克司 瑪利 , VAESSEN, JEAN-PIERRE AGNES HENRICUS MARIE
IPC: H01L21/66 , H01L21/027 , G03F7/20
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公开(公告)号:TWI664664B
公开(公告)日:2019-07-01
申请号:TW106145713
申请日:2017-12-26
Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
Inventor: 泰爾 溫 提波 , TEL, WIM TJIBBO , 卡陶 漢斯 艾瑞克 , KATTOUW, HANS ERIK , 奧提尼 瓦雷利歐 , ALTINI, VALERIO , 莫依司特 比爾愛曲 , MOEST, BEARRACH
IPC: H01L21/027 , G03F7/20
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公开(公告)号:TWI664504B
公开(公告)日:2019-07-01
申请号:TW107114190
申请日:2018-04-26
Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
Inventor: 范期翔 , FAN, CHI-HSIANG , 凡 德 斯加 毛瑞斯 , VAN DER SCHAAR, MAURITS , 張 幼平 , ZHANG, YOUPING
IPC: G03F7/20
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公开(公告)号:TW201922065A
公开(公告)日:2019-06-01
申请号:TW107133028
申请日:2018-09-19
Applicant: 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
Inventor: 貝瑟斯 大衛 , BESSEMS, DAVID , 泰德羅 瓊 大衛 , TEDROW, JON DAVID , 歐登尼爾 柯林 麥可 , ODNEAL, COLIN MICHAEL
Abstract: 一種容器具有一密封件,該密封件藉由一定體積的氣體保護以免受該容器內之液體材料影響。該容器具有一分隔件,該分隔件將該容器劃分成兩個容積空間,使得與第一容積空間氣體連通之該密封件藉由該第一容積空間中之一定體積的氣體保護以免受第二容積空間中之該液體材料影響。
Abstract in simplified Chinese: 一种容器具有一密封件,该密封件借由一定体积的气体保护以免受该容器内之液体材料影响。该容器具有一分隔件,该分隔件将该容器划分成两个容积空间,使得与第一容积空间气体连通之该密封件借由该第一容积空间中之一定体积的气体保护以免受第二容积空间中之该液体材料影响。
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