臭氧产生装置和臭氧产生方法

    公开(公告)号:CN111788150A

    公开(公告)日:2020-10-16

    申请号:CN201880090559.4

    申请日:2018-12-17

    Abstract: 臭氧产生装置包括:第一流路,设有向氧气赋予水分的加湿部,并且以使通过了加湿部的氧气流出的方式构成;第二流路,以使水分量为10ppb以下的氧气流出的方式构成;合流路,经第一流路流出的氧气和经第二流路流出的氧气在该合流路进行合流;臭氧产生器,以在合流路合流后的混合氧气作为原料产生臭氧气体;和流量比调节部,对从第一流路向合流路流出的氧气的流量与从第二流路向合流路流出的氧气的流量的比率进行调节。

    散热器
    32.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111052888A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201780094543.6

    申请日:2017-09-12

    Abstract: 本发明提供一种散热器。该散热器(100)具备多个挤出型材(1),所述多个挤出型材(1)具有基部(10)和翅片(20),并且沿与挤出方向正交的宽度方向并排且相互被接合。多个挤出型材(1)包括第1型材(1a),所述第1型材(1a)具有多个翅片(20),并且在基部(10)具有被形成为能够安装热管(50)并沿挤出方向延伸的贯穿孔(15)。

    液压装置
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108291539A

    公开(公告)日:2018-07-17

    申请号:CN201780003969.6

    申请日:2017-02-09

    Inventor: 竹田博昭

    CPC classification number: F04C2/18 F04C15/00

    Abstract: 本发明的液压装置具备:一对螺旋齿轮(20、25);本体(2),收纳齿轮(20、25);轴承部件(40、45),支撑齿轮(20、25);侧板(30、135),设置在齿轮(20、25)与轴承部件(40、45)之间;及密封部件(50、55),设置在侧板(30、135)与轴承部件(40、45)之间。齿轮(20、25)在特定的滑动接触角度范围内与本体(2)的内周面(3a)滑动接触。对侧板(135),在与滑动接触角度范围内对应的各区域内与背面区域(56)的高压区域对应的位置,穿设分别贯通到正面及背面的贯通孔。由滑动接触角度范围内的最前方的齿部、它后续的齿部、侧板(135)及内周面(3a)包围的低压区域与背面区域(56)的高压区域经由贯通孔而连通。

    基板处理装置
    35.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107579019A

    公开(公告)日:2018-01-12

    申请号:CN201710498580.5

    申请日:2017-06-27

    Abstract: 本发明提供一种基板处理装置。该基板处理装置具备第2排出部,其比通过搬送部搬送的基板的背面更靠下方配置,且向排出药液的状态的基板的背面排出用于清洗基板的背面的清洗液。

    液压装置
    36.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107524595A

    公开(公告)日:2017-12-29

    申请号:CN201710452432.X

    申请日:2017-06-15

    Inventor: 吉田启

    Abstract: 本发明提供一种液压装置,具备一对螺旋齿轮及外壳,所述外壳具有供齿轮以啮合状态收纳的液压室。液压室以齿轮的啮合部为界,一侧被设定为低压侧,另一侧被设定为高压侧。外壳具备向低压侧的液压室开口的低压侧流路、以及向高压侧的液压室开口的高压侧流路。低压侧流路形成为槽状流路,所述槽状流路是形成在将齿轮沿半径方向投影而成的区域的部分向液压室的内表面开口。槽状流路的开口部的缘部的宽度,朝向一对齿轮间的齿线间隔逐渐变窄的方向逐渐变窄。低压侧流路是作动液体从槽状流路的开口宽度较宽侧,朝向较窄侧流入到该槽状流路,或从槽状流路的开口宽度较窄侧,朝向较宽侧从该槽状流路流出。

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