MEMS VAKUUMSENSOR NACH DEM REIBUNGSPRINZIP
    32.
    发明申请
    MEMS VAKUUMSENSOR NACH DEM REIBUNGSPRINZIP 审中-公开
    MEMS传感器真空摩擦原理AFTER

    公开(公告)号:WO2007134714A1

    公开(公告)日:2007-11-29

    申请号:PCT/EP2007/004078

    申请日:2007-05-09

    CPC classification number: G01L21/22

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Sensorelement zur Druckmessung, welches ein Substrat (5) und mindestens ein Massenelement (1) aufweist, das beabstandet zum Substrat (5) angeordnet und schwingungs fähig mit dem Substrat (5) und/oder einem relativ zum Substrat (5) unbeweglichen Trägerkörper (6) verbunden ist, so dass zwischen dem Massenelement (1) und dem Substrat (5) ein Spalt besteht, dessen Breite durch Schwingungen des Massenelements (1) variierbar ist. In der den Spalt begrenzenden Fläche des Substrats (5) befindet sich mindestens eine Vertiefung und/oder mindestens eine Durchführung, die zur Reduktion der Dämpfung der Schwingung des Massenelements durch das das Massenelement (1) umgebende Gas oder Plasma dient. Das Sensorelement findet insbesondere Anwendung in Drucksensoren zur Messung von Drücken im Vakuumbereich. Durch die Verwendung des erfindungsgemäßen Sensorelements als Druckaufnehmer lassen sich maximale Drücke bis in den Bereich des atmosphärischen Luftdrucks erfassen. Die tiefsten zu bestimmenden Drücke liegen im Bereich von 10 -6 mbar.

    Abstract translation: 本发明涉及的传感器元件,用于测量压力,包括:基板(5)和至少一个质量元件,其与所述衬底间隔开的(1)(5)和振动能够与基板(5)和/或相对于所述基板(5) 固定支撑体(6)连接,从而使接地元件(1)与基板(5)之间有一间隙,其宽度由所述质量元件的振动(1)是可变的。 在所述衬底的所述间隙界定表面(5)是至少一个凹部和/或至少一个通道,其用于减少,通过该(1)质量构件周围的气体或等离子体质量构件的振动的阻尼。 该传感器元件具有用于在真空范围测量压力在压力传感器的特定应用。 通过使用本发明作为一个压力换能器的最大压力的传感器元件可以被记录到大气压力的面积。 最深的待确定的压力在10 -6 毫巴的范围内。

    METHOD AND DEVICE FOR MOLDING STRUCTURES
    34.
    发明申请
    METHOD AND DEVICE FOR MOLDING STRUCTURES 审中-公开
    方法和设备成型结构

    公开(公告)号:WO2007025519A3

    公开(公告)日:2007-05-10

    申请号:PCT/DE2006001506

    申请日:2006-08-29

    CPC classification number: B29C59/02 B29C37/0003 B29C2059/023

    Abstract: The invention relates to a method and a device for molding structures, in which a substrate (7) is placed on a substrate support (1) that is provided with one or several integrated ducts (5) to suck the substrate (7) with the aid of negative pressure. According to the inventive method, an intermediate plate (4) is inserted between the substrate support (1) and the substrate (7). Said intermediate plate (4) is separated from the substrate following the stamping process by moving apart the substrate support (1) and a tool support (2) that retains the stamping die (3) during said step. The intermediate plate (4) is then removed from the substrate support (1), and the substrate (7) is brought in contact with the substrate support (1) by moving the substrate support (1) and/or the tool support (2) in the opposite direction and is retained by a sucking effect. In the next step, the substrate (4) is separated from the stamping die (3) by moving apart the substrate support (1) and the tool support (2) which retains the stamping die. The disclosed method and the associated device make it possible to quickly and automatically change the substrate and automatically separate the substrate from the stamping die.

    Abstract translation: 本发明涉及一种方法和结构的模制的设备,其中,基板(7)被定位在衬底支撑件(1)具有一个或多个集成的信道(5),用于借助于负压抽吸基板(7) , 基板载体(1)和基片(7)之间在本方法中使用的,中间板(4),其从所述衬底的压印操作之后(7)是由基片载体(1)和一个刀架(2)中,分离 所述冲压工具(3)保持在该步骤中,移动分开。 中间板(4)随后从基板支撑件(1)和由所述衬底载具的相对移动衬底(7)中除去(1)和/或刀架(2)与衬底支撑件(1)接触,并通过吸附保持。 在接下来的步骤中,从冲压工具(3)在基板(4)被衬底载体(1)和所述刀架(2),从该冲压工具(3)保持,移动分开分离。 本方法和相关装置使所述基板的快速且可自动化的变化,以及一个自动分离从模压工具衬底。

    PULVERISIERTE ORGANISCHE HALBLEITER UND VERFAHREN ZUM AUFDAMPFEN AUF EINEN TRÄGER
    36.
    发明申请
    PULVERISIERTE ORGANISCHE HALBLEITER UND VERFAHREN ZUM AUFDAMPFEN AUF EINEN TRÄGER 审中-公开
    粉末形式的有机半导体和方法气相沉积在载体

    公开(公告)号:WO2004097955A1

    公开(公告)日:2004-11-11

    申请号:PCT/EP2004/004039

    申请日:2004-04-16

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Aufdampfung von einer oder mehreren Verbindungen auf einen Träger, indem man: i) die Verbindung in festem oder gasförmigen Zustand in einen Trägergasstrom einbringt, ii) die Verbindung in dem Trägergasstrom in gasförmigem Zustand vorliegt, iii) die gasförmige Verbindung niederschlägt, iv) die im Schritt (iii) niedergeschlagene Verbindung erneut in den gasförmigen Zustand überführt und anschliessend v) die gasförmige Verbindung auf dem Träger niederschlägt, wobei man den Trägergastrom enthaltend die gasförmige Verbindung(en) durch Zuführung eines Gasstroms auf eine Temperatur niedriger als die Sublimationstemperatur der Verbindung(en) abkühlt.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于在载体上引入我在载气流中固体或气体状态下的化合物的一种或多种化合物的汽相淀积,由:)的方法,ii)所述化合物是气体状态存在的载体气体流中,iii)所述气态化合物 反射,ⅳ)在步骤(iii)沉积连接再次转换成气态,然后v)的在载体上的气态化合物被反射以得到含气态化合物(S的Trägergastrom)是通过向温度为供给气体流下 冷却该化合物的升华温度。

    RESONANZSCANNER
    37.
    发明申请
    RESONANZSCANNER 审中-公开

    公开(公告)号:WO2002099504A3

    公开(公告)日:2002-12-12

    申请号:PCT/EP2002/004118

    申请日:2002-04-12

    Abstract: Resonanzscanner, bei dem ein Rahmen (3), eine Antriebsplatte (4), ein Spiegel (5) und Torsionsfedern (6, 7) ein Aktorteil (1) bilden, wobei die Antriebsplatte (4) innerhalb des Rahmens (3) durch zwei erste Torsionsfedern (6) so befestigt ist, dass die Antriebsplatte (4) um eine gemeinsame erste Torsionsachse (8) beider Torsionsfedern (6) schwingungsfähig ist, der Spiegel (5) innerhalb der Antriebsplatte (4) durch zwei zweite Torsionsfedern (7) so befestigt ist, dass der Spiegel (5) um eine gemeinsame zweite Torsionsachse (9) beider Torsionsfedern (7) schwingungsfähig ist und die erste Torsionsachse (8) und die zweite Torsionsachse (9) parallel zueinander verlaufen, weiterhin nur der Rahmen (3) des Aktorteils (1) auf Seitenwänden (10) eines kastenförmigen Statorteils (2) befestigt ist, auf einem Boden (11) des Statorteils (2) ein Antriebsmittel (Statorelektroden (15) oder Spule (24)) nur im Bereich der geometrisch flächenhaften Ausdehnung der Antriebsplatte (4) angeordnet ist und der Boden (11) im Bereich der geometrisch flachenhaften Ausdehnung des Spiegels (5) eine Ausnehmung (13) hat, die mindestens so groß bemessen ist, dass eine maximale mechanische Auslenkung des Spiegels (5) nicht durch den Boden (11) begrenzt wird, wobei das Antriebsmittel (Statorelektroden (15) oder Spule (24)) eine Kraft nur unmittelbar auf die Antriebsplatte (4) ausübt und diese Kraft einer periodischen Funktion folgt, deren Periode auf die Eigenfrequenz des Spiegels (5) abgestimmt ist, die sich Von der Eigenfrequenz der Antriebsplatte (4) unterscheidet.

    LAYER SYSTEM HAVING A LAYER OF CARBON NANOTUBES ARRANGED PARALLEL TO ONE ANOTHER AND AN ELECTRICALLY CONDUCTIVE SURFACE LAYER, METHOD FOR PRODUCING THE LAYER SYSTEM, AND USE OF THE LAYER SYSTEM IN MICROSYSTEM TECHNOLOGY
    38.
    发明申请
    LAYER SYSTEM HAVING A LAYER OF CARBON NANOTUBES ARRANGED PARALLEL TO ONE ANOTHER AND AN ELECTRICALLY CONDUCTIVE SURFACE LAYER, METHOD FOR PRODUCING THE LAYER SYSTEM, AND USE OF THE LAYER SYSTEM IN MICROSYSTEM TECHNOLOGY 审中-公开
    WITH相互平行的碳纳米管和导电表面上,制造方法的层系统的结构和用法MICROSYSTEMS一层技术层体系

    公开(公告)号:WO2013007645A3

    公开(公告)日:2013-03-07

    申请号:PCT/EP2012063280

    申请日:2012-07-06

    Abstract: The invention relates to a layer system, comprising a layer of carbon nanotubes oriented parallel to one another and a surface layer having metallic properties connected directly thereto, from which surface layer the carbon nanotubes have grown in tip growth. The layer system can also have a base layer and/or a substrate. The layer system can be obtained by producing a structured layer comprising a first phase, which is composed of a metal that has no independent catalytic activity with respect to the production of CNTs from the gas phase, and a second phase, which is composed of a metal that catalyzes the production of CNTs from the gas phase, on a substrate or a base layer, wherein the first phase has a structure that is unevenly thick and/or folded and optionally interspersed with pores and the second phase is located in recesses and/or pores of the first phase in such a way that the two material phases are at least partially adjacent to one another in the lateral plane, on the substrate or the base layer located thereon. Carbon is deposited on said structured layer from a gas atmosphere containing carbon, wherein carbon nanotubes are formed and said carbon nanotubes raise at least parts of the structured layer in a closed form. The substrate or the base layer can subsequently be removed. The layer system of the invention is suitable for use in a large number of components and electronic microsystems and nanosystems, flip-chip connections, sensors or actuators, in particular pressure sensors, contact sensors, optical sensors, mirrors, projectors, optical filters, nanopositioning systems, or interferometers, and, in a specific form, also in a super capacitor.

    Abstract translation: 本发明涉及包括平行排列的碳纳米管的层,和直接与金属特性,从该碳纳米管中的“尖端”相关联的顶层的层系统 - 增长已经长大。 所述层系统还可以包括基础层和/或基材上。 它是可用通过产生第一相的图案化层,其由金属形成在CNT的从气相的出现和从CNT的形成的金属制成的第二相位方面没有独立的催化活性 气相催化,一个基板或基极层,其中所述第一相具有的厚度不均匀和/或折叠,任选穿插孔结构和第二阶段是在凹部和/或第一相位的孔,使得在这两个材料相 至少部分地彼此相邻的横向平面均存在基底或在其上的基体层上。 在碳上的这个图案化的层由含烃气体气氛沉积,其中所述碳纳米管形成这将提高在闭合形式的结构化层的至少部分。 然后,将衬底或基体层可以被去除。 本发明的层系统适用于在各种设备和电子微米和纳米系统的使用中,倒装芯片连接,传感器或致动器,特别是压力传感器,接触传感器,光传感器,反射镜,投影仪,光学过滤器,纳米定位或干涉仪 在即使在超级电容器的特定形状。

    SENSORMODUL MIT WECKEINRICHTUNG
    40.
    发明申请
    SENSORMODUL MIT WECKEINRICHTUNG 审中-公开
    传感器组件报警

    公开(公告)号:WO2012073127A1

    公开(公告)日:2012-06-07

    申请号:PCT/IB2011/053913

    申请日:2011-09-07

    CPC classification number: G01P15/08 G01P13/00

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Mikromechanik-basiertes Sensormodul mit wenigstens einer bewegbaren Struktur, wenigstens einem aktiven Primärwandler zum Umwandeln eines mechanischen Signals der bewegbaren Struktur in ein elektrisches Signal und einer elektronischen Schaltung zum messtechnischen Erfassen von Bewegungen der bewegbaren Struktur, wobei das Sensormodul neben dem aktiven Primärwandler wenigstens einen passiven Sekundärwandler zum Umwandeln eines mechanischen Signals der bewegbaren Struktur in ein elektrisches Signal aufweist, wobei der Primärwandler und der Sekundärwandler mit der elektronischen Schaltung gekoppelt sind, und wobei der Sekundärwandler als Aufweckgenerator für den Primärwandler und/oder die elektronische Schaltung von einem Ruhezustand in einen Messzustand vorgesehen ist. Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ein integriertes Mikromechanik basiertes Sensormodul mit einer hohen Messgenauigkeit vorzuschlagen, welches im Dauereinsatz einen geringen Energieverbrauch aufweist und das auch sporadisch auftretende Beschleunigungen der bewegbaren Struktur in dem Sensormodul messtechnisch mit hoher Genauigkeit erfasst. Die Aufgabe wird durch ein Sensormodul der anfangs definierten Gattung gelöst, in welchem der Sekundärwandler in die bewegte Struktur und/oder eine weitere bewegbare Struktur in der elektronischen Schaltung integriert ist.

    Abstract translation: 本发明涉及到基于微机械传感器模块具有至少一个可移动结构,用于可动结构体的机械信号转换成电信号,并为所述可动结构的运动的计量检测的电子电路,其特征在于,除了所述活性初级转换器的传感器模块的至少一个活动的主转换器 具有至少一个被动式辅助转换器,用于所述可移动结构的机械信号转换成电信号,其中所述初级转换器和次级传感器被耦合到电子电路,并且其中所述次级传感器作为Aufweckgenerator用于主换能器和/或从休止状态中的电子电路 提供了一种测量状态。 因此,本发明的目的是提出一种具有高测量精度,这在连续操作的低能量消耗和通过以高精确度测量检测到传感器模块中的可动结构体的偶发的加速度的集成基于微机械传感器模块。 该目的通过最初限定的类型,其中,所述次级转换器集成在移动结构和/或在电子电路中的另一个可动结构体的传感器模块来实现的。

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