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    檢查用導電性接觸件及半導體檢查裝置
    31.
    发明专利
    檢查用導電性接觸件及半導體檢查裝置 审中-公开
    检查用导电性接触件及半导体检查设备

    公开(公告)号：TW201802479A

    公开(公告)日：2018-01-16

    申请号：TW106104521

    申请日：2017-02-10

    Applicant: 日本發條股份有限公司 ,  NHK SPRING CO.,LTD.

    Inventor： 廣中浩平 ,  HIRONAKA, KOHEI ,  相馬一也 ,  SOUMA, KAZUYA ,  莊司哲 ,  SHOJI, SATOSHI ,  山口諒輔 ,  YAMAGUCHI, RYOSUKE

    IPC: G01R1/067

    CPC classification number: G01R1/067

    Abstract: 提供一種包含第一端部及相對於第一端部之第二端部之導電性接觸件。第一端部具有第一線狀脊、第二線狀脊、第三線狀脊、第四線狀脊、第一頂點、第二頂點、第三頂點、第四頂點及第五頂點。第一線狀脊、第二線狀脊、第三線狀脊及第四線狀脊彼此間隔且以形成十字形之方式配置。第一頂點、第二頂點、第三頂點及第四頂點位於第一端部之外周，且分別設置於第一線狀脊與第二線狀脊之間、第二線狀脊與第三件線狀脊之間、第三件狀脊與第四線狀脊之間以及第四線狀脊與第一線狀脊之間。

    Abstract in simplified Chinese: 提供一种包含第一端部及相对于第一端部之第二端部之导电性接触件。第一端部具有第一线状嵴、第二线状嵴、第三线状嵴、第四线状嵴、第一顶点、第二顶点、第三顶点、第四顶点及第五顶点。第一线状嵴、第二线状嵴、第三线状嵴及第四线状嵴彼此间隔且以形成十字形之方式配置。第一顶点、第二顶点、第三顶点及第四顶点位于第一端部之外周，且分别设置于第一线状嵴与第二线状嵴之间、第二线状嵴与第三件线状嵴之间、第三件状嵴与第四线状嵴之间以及第四线状嵴与第一线状嵴之间。

    成膜裝置
    34.
    发明专利
    成膜裝置 审中-公开
    成膜设备

    公开(公告)号：TW201544193A

    公开(公告)日：2015-12-01

    申请号：TW104106797

    申请日：2015-03-04

    Applicant: 日本發條股份有限公司 ,  NHK SPRING CO., LTD.

    Inventor： 平野智資 ,  HIRANO, SATOSHI ,  川崎公一 ,  KAWASAKI, KOICHI

    IPC: B05B7/14 ,  C23C24/04

    CPC classification number: B05B7/14 ,  C23C24/04

    Abstract: 本發明提供一種可於利用冷噴塗法之成膜裝置中，使附著於粉末通過之通路的內壁之粉末量均勻化之成膜裝置。成膜裝置係具備：氣體粉末混合部10，係將氣體與粉末予以混合並供給至噴嘴5；氣體室11，係透過至少1個氣體通過口13a與氣體粉末混合部10連通，將氣體導入至氣體粉末混合部10；粉末供給管12，係將粉末供給至氣體粉末混合部10，且係貫通氣體室11，使粉末的射出口12a突出於氣體粉末混合部10並且朝向噴嘴5的前端方向配置；以及整流部14，係設於氣體室11內之粉末供給管12之周圍，對被導入至氣體室11之氣體予以整流，使之通過氣體通過口13a。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种可于利用冷喷涂法之成膜设备中，使附着于粉末通过之通路的内壁之粉末量均匀化之成膜设备。成膜设备系具备：气体粉末混合部10，系将气体与粉末予以混合并供给至喷嘴5；气体室11，系透过至少1个气体通过口13a与气体粉末混合部10连通，将气体导入至气体粉末混合部10；粉末供给管12，系将粉末供给至气体粉末混合部10，且系贯通气体室11，使粉末的射出口12a突出于气体粉末混合部10并且朝向喷嘴5的前端方向配置；以及整流部14，系设于气体室11内之粉末供给管12之周围，对被导入至气体室11之气体予以整流，使之通过气体通过口13a。

    探針單元
    37.
    发明专利
    探針單元 审中-公开
    探针单元

    公开(公告)号：TW201331587A

    公开(公告)日：2013-08-01

    申请号：TW101137084

    申请日：2012-10-05

    Applicant: 日本發條股份有限公司 ,  NHK SPRING CO., LTD.

    Inventor： 松井曉洋 ,  MATSUI, AKIHIRO ,  森隆 ,  MORI, TAKASHI

    IPC: G01R1/067

    CPC classification number: G01R1/07314 ,  G01R1/06722 ,  G01R31/2886 ,  G01R31/2889 ,  G09G3/006

    Abstract: 本發明之目的在於提供一種探針單元，係即便在流動大電流之情形，在與接觸對象之間亦可獲得確實的導通。包括有：接觸探針，係包括：柱塞，係具有：接觸部，係與被接觸體的電極接觸；凸緣部，係從接觸部的基端側延伸，且具有比接觸部的直徑大之直徑；轂部，係從凸緣部的與和接觸部連接之側不同側之端部延伸，且具有比凸緣部的直徑小之直徑；及基端部，係從轂部的與和凸緣部連接之側不同側之端部延伸，且具有與轂部的直徑大致相同之直徑；以及線圈彈簧，係安裝於轂部；以及探針保持件，係以導電性材料所形成，且具有：呈厚度方向的兩端縮徑之段差形狀，用於收容接觸探針之複數個保持孔；凸緣部係抵接於段差形狀的一方之段差部，並且線圈彈簧係抵接於另一方之段差部，藉此，線圈彈簧對柱塞施加彈力。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明之目的在于提供一种探针单元，系即便在流动大电流之情形，在与接触对象之间亦可获得确实的导通。包括有：接触探针，系包括：柱塞，系具有：接触部，系与被接触体的电极接触；凸缘部，系从接触部的基端侧延伸，且具有比接触部的直径大之直径；毂部，系从凸缘部的与和接触部连接之侧不同侧之端部延伸，且具有比凸缘部的直径小之直径；及基端部，系从毂部的与和凸缘部连接之侧不同侧之端部延伸，且具有与毂部的直径大致相同之直径；以及线圈弹簧，系安装于毂部；以及探针保持件，系以导电性材料所形成，且具有：呈厚度方向的两端缩径之段差形状，用于收容接触探针之复数个保持孔；凸缘部系抵接于段差形状的一方之段差部，并且线圈弹簧系抵接于另一方之段差部，借此，线圈弹簧对柱塞施加弹力。

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