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公开(公告)号:CN111678585A
公开(公告)日:2020-09-18
申请号:CN202010557286.9
申请日:2020-06-18
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/08
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度的基于AlN的压电水听器及其制备方法,该水听器针对常规压电水听器中存在的灵敏度低、机电耦合系数不高以及加工工艺较为繁琐的问题,提出一种新型结构的压电水听器。当如入射的声波使空腔变形时,在空腔的中央因受到拉伸应力而产生正电荷,而在空腔的边缘因受压缩应力而产生负电荷,通过将AlN上Mo电极图案化,在空腔中央形成正电极,空腔边缘形成负电极,进而构成差动放大结构以提高灵敏度和机电耦合系数。本专利与以前相比,水听器的灵敏度具有倍增的效果,且该传感器的工艺流程步骤少,制作简单。
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公开(公告)号:CN107966250B
公开(公告)日:2019-12-17
申请号:CN201711187846.0
申请日:2017-11-24
Applicant: 中北大学
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明提供了一种面向气体传感的微型多功能结构渗液检测仪,包括渗液检测处理模块和声预警及能源供给模块,渗液检测处理模块由检测盒及其内部的渗液检测处理柔性电路模块组成,声预警及能源供给模块由预警盒及其内部的微型蜂鸣预警器和微型可充电锂电池组成。本发明提供的一种面向气体传感的微型多功能结构渗液检测仪,突破了传统的接触式测试方式,能够解决内部空间狭小、结构复杂的冷板系统水道的有效检测密封性问题,最大化地利用了碎片化的狭小空隙,充分适应了冷板系统内部的复杂空间结构。
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公开(公告)号:CN110098311A
公开(公告)日:2019-08-06
申请号:CN201910415182.1
申请日:2019-05-17
Applicant: 中北大学
IPC: H01L35/32
Abstract: 本发明涉及一种提高红外吸收效率的多层红外隐身纳米结构,包括微沟道散热层,所述微沟道散热层的上方设置有热电转换层,所述热电转换层的上方设置有导热反光层,所述导热反光层的上方设置有光吸收层;该提高红外吸收效率的多层红外隐身纳米结构,首先将光转换成热能,然后把热能转换成电能,通过光-热、热-电转换将红外吸收的能量转化成可收集的电能,电能可以直接利用,不仅提升红外隐身材料的隐身效果及寿命,而且导热反光层能够将未吸收的光进行反射以便再次吸收,从而将更多的光转换成热能,热能又可通过导热反光层向下传递到热电转换层,有利于提高热能转换为电能的效率。
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公开(公告)号:CN105445494B
公开(公告)日:2018-10-19
申请号:CN201510910685.8
申请日:2015-12-10
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/097 , B81C1/00
Abstract: 本发明属于光学领域和微机电系统领域,具体为一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法。加速度计包括:基底、悬臂梁、光栅、直波导和微环谐振腔。该加速度计的基本工作原理:首先入射光通过光栅耦合进直波导,在直波导中传输的光以倏式场的形式耦合进微环谐振腔,满足谐振条件的光在微环谐振腔内发生谐振产生与之相对应的透射峰。当系统受外力冲击时,在加速度的作用下,悬臂梁受惯性力的作用发生形变,使集成在悬臂梁上的微环谐振腔产生微小的变形,进而使微环谐振腔的有效折射率改变,导致微环谐振腔腔的谐振峰发生偏移,通过测量谐振点产生的偏移量,就可以对相应的加速度值进行标定。
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公开(公告)号:CN108279320A
公开(公告)日:2018-07-13
申请号:CN201810133315.1
申请日:2018-02-09
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/02
Abstract: 本发明涉及一种基于Fano共振纳米光波导加速度计原理及制造工艺,具体属于光学领域和微光机电系统领域,具体为一种基于Fano共振纳米光波导加速度计制备方法。本发明提供了一种基于Fano共振纳米光波导加速度计制备方法,本发明以SOI材料作为敏感元件和基底材料,基于高Q光学微环腔高灵敏的特点,以及SOI材料高折射率、光学限制能力强、传输损耗小、易集成等优点,采用集成纳米光波导工艺,提出基于Fano共振的纳米光波导加速度计,通过力-光耦合效应实现具有高灵敏抗冲击特性的光学加速度计。
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公开(公告)号:CN106409984B
公开(公告)日:2017-10-24
申请号:CN201611092921.0
申请日:2016-12-02
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于和光学领域和微纳系统领域,具体为一种“三明治”型超快光电探测金属超结构的制作方法。该结构包括表面生长一层二氧化硅的硅基片、在基片上转移的一层石墨烯薄膜、在石墨烯薄膜上沉积的方形孔洞阵列结构金属Ag薄膜层、电介质层、电介质层两端生长的金属Au电极薄膜层,以及整个结构的石墨烯覆盖层。利用方形孔洞阵列结构光学异常透射增强效应局域表面等离激元辐射增强效应耦合能够有效增强石墨烯薄膜光吸光性能以及光生载流子的产生,同时,本发明制得的金属超结构中夹心层的贵金属超材料结构具有的纳米级间隙能够使得石墨烯产生的光生载流子在其寿命内得到有效的收集,其光响应时间可以达到纳秒量级,从而实现了超快速的光电探测。
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公开(公告)号:CN106973259A
公开(公告)日:2017-07-21
申请号:CN201710077227.X
申请日:2017-02-14
Applicant: 中北大学
IPC: H04N7/18 , G08C17/02 , H04L29/08 , G05D27/02 , A01G9/16 , A01G9/02 , A01G9/22 , A01G9/24 , A01C23/04
CPC classification number: Y02A40/254 , Y02A40/258 , Y02A40/264 , H04N7/185 , A01C23/047 , A01G9/02 , A01G9/16 , A01G9/227 , A01G9/247 , G05D27/02 , G08C17/02 , H04L67/025 , H04L67/12
Abstract: 本发明涉及盆栽的养护系统,具体为一种基于互联网+的盆栽远程监控和养护系统,包括图像拾取单元、多传感器检测单元、无线通信单元和主控单元;图像拾取单元为摄像头,摄像头可根据需求转动视角,多传感器检测单元包括温度传感模块、湿度传感模块、紫外线传感模块,土壤成分分析传感模块,各传感器模块通过有线或无线的方式与主控单元连接,主控单元还和图像拾取单元连接,所述的无线通信单元为无线收发装置。本发明能保证盆栽的生长状态可被盆栽主人实时观测可控制,同时也可借助网络数据将盆栽“托管”给养护系统,使盆栽在远离其主人的情况下能茁壮生长。
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公开(公告)号:CN106525217A
公开(公告)日:2017-03-22
申请号:CN201611093334.3
申请日:2016-12-02
Applicant: 中北大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及光学领域和微纳系统领域,具体为基于回音壁模式的垂直耦合光栅芯片级多环波导腔级联矢量高灵敏声传感器,包括中心环形波导腔,中心环形波导腔四周均匀耦合有方位环形波导腔,中心环形波导腔上还耦合有纳米垂直耦合输入光栅,每个方位环形波导腔上还耦合有纳米垂直耦合输出光栅,每个纳米垂直耦合输出光栅都和光电探测器连接,光电探测器和AD采集模块连接,AD采集模块和FPGA处理器连接,FPGA处理器再与PC机连接。本发明与传统声探测系统相比,解决了传统声探测系统存在的灵敏度低、信号传输损耗大、抗电磁干扰能力差等问题,实现高灵敏度、长探测距离、能够在强电磁干扰等极端环境正常工作的声信号探测。
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公开(公告)号:CN105468873A
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201510988227.6
申请日:2015-12-24
Applicant: 中北大学
IPC: G06F17/50
CPC classification number: G06F17/5018
Abstract: 本发明属于集成光学领域和材料表面工程领域,尤其涉及采用激光以降低波导侧壁粗糙度的方式降低硅光波导散射损耗的仿真模拟方法,具体为一种硅基光波导激光表面光滑化仿真方法,解决了使用激光对硅基光波导做表面粗糙度处理过程中,凭经验设置工艺参数的不准确,成功率低等关键问题。该数值仿真方法可以重现任何工艺制作的波导侧壁产生的粗糙表面。根据还原的侧壁真实形貌,结合相变要求的熔深、时长数据,获得相应的激光能量密度、入射角、脉冲时长参数。为工艺过程提供了准确可靠的参数数据。本发明分析结果准确性、精度高,极大地缩短了工艺参数获得的周期,为光波导器件的大规模生产和自适应加工奠定了坚实的基础。
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公开(公告)号:CN105445494A
公开(公告)日:2016-03-30
申请号:CN201510910685.8
申请日:2015-12-10
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/097 , B81C1/00
Abstract: 本发明属于光学领域和微机电系统领域,具体为一种基于平面环形腔的MOEMS加速度计及其制造方法。加速度计包括:基底、悬臂梁、光栅、直波导和微环谐振腔。该加速度计的基本工作原理:首先入射光通过光栅耦合进直波导,在直波导中传输的光以倏式场的形式耦合进微环谐振腔,满足谐振条件的光在微环谐振腔内发生谐振产生与之相对应的透射峰。当系统受外力冲击时,在加速度的作用下,悬臂梁受惯性力的作用发生形变,使集成在悬臂梁上的微环谐振腔产生微小的变形,进而使微环谐振腔的有效折射率改变,导致微环谐振腔的谐振峰发生偏移,通过测量谐振点产生的偏移量,就可以对相应的加速度值进行标定。
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