光刻胶组合物
    32.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102023482A

    公开(公告)日:2011-04-20

    申请号:CN201010283695.0

    申请日:2010-09-14

    CPC classification number: G03F7/0397 G03F7/0045 G03F7/0046

    Abstract: 本发明提供一种光刻胶组合物,包含产酸剂和树脂,所述树脂含有衍生自式(I)表示的单体的结构单元:其中R1表示氢原子等,R2表示氢原子或C1-C4烷基,A1表示单键等,B1表示:式(1a)表示的基团:其中R3、R4和R5各自独立地表示C1-C16脂肪族烃基,并且R4和R5可以相互键合以与键合R4和R5的碳原子一起形成C3-C18环,具有内酯结构的C4-C20饱和环状基团,或者具有至少一个羟基的C5-C20饱和环烃基。

    胶粘剂
    35.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1958703B

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN200610142588.X

    申请日:2006-10-30

    Abstract: 本发明涉及胶粘剂。本发明提供在高湿条件下和高热条件下以及重复加热·冷却时,不产生光学叠层体的外观变化的耐久性优异的胶粘剂,该胶粘剂是含有丙烯酸树脂(1)和(2)的胶粘剂,其中,胶粘剂的THF不溶成分X(%)和式(III)所示的Y(%)满足(I)和(II);40≤X≤70 (I);-0.15X+41<Y<0.45X+24 (II);Y=B-(100-X)×C/100 (III)。式中,B表示(1)和(2)的混合物中的分子量大于或等于300000的成分的重量百分率,C表示胶粘剂的THF可溶成分中的分子量大于或等于300000的成分的重量百分率;(1):重均分子量为50000~250000的丙烯酸树脂;(2):含有(b)的丙烯酸树脂,该树脂的重均分子量为1000000~1500000;(b):含有极性官能团和烯属双键的单体。

    制造抗蚀图案的方法
    36.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101834121A

    公开(公告)日:2010-09-15

    申请号:CN201010133044.3

    申请日:2010-03-10

    Abstract: 本发明提供了一种制造抗蚀图案的方法,所述图案足够微型化且具有优异形状,所述方法包括重复进行形成图案化抗蚀膜的工序,且所述工序包括步骤(1)(形成抗蚀膜,并将所述形成的抗蚀膜曝光)等,以通过n个循环形成图案化抗蚀膜,从而得到抗蚀图案。其中在形成所述图案化抗蚀膜工序的n个循环中,至少一个循环的步骤(1)中曝光的所述抗蚀膜是通过将抗蚀组合物成层而形成的膜。所述抗蚀组合物含有树脂(B)、光生酸剂(A)和交联剂(C),其中所述树脂(B)因酸的作用可溶于碱性水溶液中,且具有7000~10000的重均分子量和150~200℃的玻璃化转变温度。

    胶粘剂
    37.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1958703A

    公开(公告)日:2007-05-09

    申请号:CN200610142588.X

    申请日:2006-10-30

    Abstract: 提供在高湿条件下和高热条件下以及重复加热·冷却时,不产生光学叠层体的外观变化的耐久性优异的胶粘剂,该胶粘剂是含有丙烯酸树脂(1)和(2)的胶粘剂,其中,胶粘剂的THF不溶成分X(%)和式(III)所示的Y(%)满足(I)和(II);40≤X≤70 (I);-0.51X+41<Y<0.45X+24 (II);Y=B-(100-X)×C/100 (III);式中,B表示(1)和(2)的混合物中的分子量大于或等于300000的成分的重量百分率,C表示胶粘剂的THF可溶成分中的分子量大于或等于300000的成分的重量百分率;(1):重均分子量为50000~250000的丙烯酸树脂;(2):含有(b)的丙烯酸树脂,该树脂的重均分子量为1000000~1500000;(b):含有极性官能团和烯属双键的单体。

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