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公开(公告)号：CN109641465B
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201780042259.4
申请日：2017-08-09
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 冈本裕司
Abstract: 去路(12)从油墨罐(11)将油墨输送至喷墨头(10)，回路(13)向其反方向输送油墨。旁通流路(18)不经由喷墨头(10)而从去路(12)向回路(13)输送油墨。清洗流路(15、16)向喷墨头(10)供给清洗液并从喷墨头(10)回收清洗液。切换部(30)切换如下状态：在包括去路(12)、喷墨头(10)、回路(13)及油墨罐(11)的循环路中使油墨循环的循环状态；以及在包括去路(12)、旁通流路(18)、回路(13)及油墨罐(11)的循环路中使油墨循环，并且通过清洗流路(15、16)向喷墨头(10)供给清洗液与从喷墨头(10)回收清洗液，由此进行喷墨头(10)的清洗的清洗状态。
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公开(公告)号：CN110446905A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201880005782.4
申请日：2018-03-19
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 冈本裕司
Abstract: 具有角部的基板支承于支承部上。摄像装置对视场角内的基板的一部分进行拍摄。处理部使基板或者摄像装置移动，以使摄像装置的视场角内所包含的基板的夹角部的两个边的长度成为规定值以上。基于移动之后拍摄摄像装置的视场角内而获取到的图像数据来检测基板的角部的位置。通过采用该结构，可以基于基板的角部的图像数据进行更加稳定的位置检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104345549B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201410338718.1
申请日：2014-07-16
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 冈本裕司
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种基板制造方法及基板制造装置，所述基板制造方法是在支承基板上形成用于形成厚金属图案的掩膜图案的方法。准备应形成第1线状图案及比第1线状图案粗的第2线状图案的支承基板。在支承基板的应形成第1线状图案及第2线状图案的区域，多次重复进行使薄膜材料液滴化后着落并使着落的薄膜材料固化的步骤。用于形成第1线状图案的步骤的重复次数多于用于形成第2线状图案的步骤的重复次数。
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公开(公告)号：CN103192602B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201210594007.1
申请日：2012-12-31
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 冈本裕司
Abstract: 本发明提供一种薄膜形成装置及薄膜形成方法，其目的在于要求缩减用于在阻焊抗蚀剂等薄膜上印字的工序数。本发明的薄膜形成装置及薄膜形成方法中，第1喷头及第2喷头对置于对象物。第1喷头及第2喷头分别吐出第1色及第2色的液状材料。移动机构使保持对象物的载物台相对于第1喷头及第2喷头向对象物的面内方向移动。控制装置控制第1喷头及移动机构而在对象物上以第1色液状材料形成第1薄膜，且控制第2喷头及移动机构而在对象物上以第2色液状材料形成第2薄膜。
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公开(公告)号：CN104907227A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201410683427.6
申请日：2014-11-24
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 冈本裕司
Abstract: 本发明提供一种膜形成方法及膜形成装置，该膜形成方法中，即使增加膜厚，侧面的倾斜也不易变平缓。沿着基板的表面的应涂布膜材料的被涂布区域的边缘，使膜材料液滴化后进行涂布并使该膜材料固化，从而形成外缘部，之后，通过在比外缘部更靠内侧的区域，使膜材料液滴化后进行涂布并使该膜材料固化来形成内侧部，由此形成由外缘部及内侧部构成且上表面凹陷的单元层。在单元层之上进一步堆积分别由外缘部及内侧部构成的其他单元层，且维持最上层的单元层的上表面呈凹陷形状。
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公开(公告)号：CN104345549A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201410338718.1
申请日：2014-07-16
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 冈本裕司
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种基板制造方法及基板制造装置，所述基板制造方法是在支承基板上形成用于形成厚金属图案的掩膜图案的方法。准备应形成第1线状图案及比第1线状图案粗的第2线状图案的支承基板。在支承基板的应形成第1线状图案及第2线状图案的区域，多次重复进行使薄膜材料液滴化后着落并使着落的薄膜材料固化的步骤。用于形成第1线状图案的步骤的重复次数多于用于形成第2线状图案的步骤的重复次数。
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公开(公告)号：CN102909954B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201210275135.X
申请日：2012-08-03
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种薄膜图案形成装置、薄膜图案形成方法及装置的调整方法。当产生喷嘴孔堵塞等不良情况时，不得不停止运转中的装置并更换喷头。期望缩减装置的运转停止时间的技术。本发明的薄膜图案形成装置中，设置有多个吐出薄膜材料的液滴的喷嘴孔的喷嘴单元与保持于载物台的基板对置。移动机构相对于喷嘴单元向基板的面内方向移动基板。第1拍摄装置检测由涂布于基板的薄膜材料形成的薄膜图案。控制装置使薄膜材料的液滴从喷嘴单元向基板吐出，由附着于基板的薄膜材料形成检查图案。另外，通过获取并分析用第1拍摄装置拍摄的检查图案的图像数据来判定喷嘴单元的喷嘴孔是否良好。
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