公开(公告)号：CN100520290C

公开(公告)日：2009-07-29

申请号：CN200710102312.3

申请日：2007-04-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 尾内敏彦 ,  笠井信太郎

IPC: G01B15/00 ,  G01N21/00 ,  G01N22/00

CPC classification number: G01N21/3581

Abstract: 一种检查装置包括：用于传播电磁波的传输线；用于向传输线提供太赫兹波的电磁波提供单元；用于检测来自传输线的太赫兹波的电磁波检测单元；导电区域；检查对象提供单元；以及沉积单元。导电区域布置在包括通过传输线传播的电磁波的电场分布所延伸到的范围的至少一部分的位置上。检查对象提供单元保持检查对象并向外提供该检查对象，沉积单元通过静电力将检查对象选择性地沉积在导电区域上。由电磁波检测单元检测从电磁波提供单元提供并通过传输线传播的电磁波，以获得该检查对象的信息。

公开(公告)号：CN101196467A

公开(公告)日：2008-06-11

申请号：CN200710196483.7

申请日：2007-12-05

Applicant: 佳能株式会社 ,  独立行政法人理化学研究所

Inventor： 尾内敏彦 ,  笠井信太郎 ,  米山春子 ,  山下将嗣

IPC: G01N21/17 ,  G01N21/01 ,  G01N33/02 ,  G01N23/00

CPC classification number: G01N21/3581 ,  G01N21/3563

Abstract: 提供一种能够不管有无太赫兹波的频带的固有振动波谱都使用太赫兹波检测物质状态的变化的检测方法以及装置。检测装置具有保持物质8的待检物保持部；照射部件1、6；检测部件1、7；计算部件、评价部件。照射部件1、6在保持于待检物保持部上的物质8上照射太赫兹波。检测部件1、7检测从物质8透射或者反射来的太赫兹波。计算部件求得针对所照射的太赫兹波的物质8的性质的频率依赖性，算出物质8的性质的频率依赖性的拟合直线时的直线斜率或者直线斜率。评价部件对预先求得的基准状态的物质的性质的频率依赖性的直线斜率和用计算部件算出的物质8的直线斜率进行比较，评价物质状态的变化。