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公开(公告)号：CN115189226B
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202210782463.2
申请日：2022-07-05
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种Si‑GaN悬空波导单模激光器及制备方法、电调控系统及方法，激光器以硅基氮化物晶片为载体，从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝层、N型氮化镓层，量子井层，P型氮化镓层和设置在氮化镓层上表面的电极。悬臂梁和两侧电极支架构成器件主体，电极结构则采用悬臂梁配合电极正下方支撑体的结构。本发明在硅衬底上的氮化物材料上，利用光刻蚀工艺和ICP刻蚀工艺，实现两侧引脚支持结构的上下分层，以达到控制电流导通的目的，并用蒸镀方法制备Au电极结构。本发明在光激发条件下通过光谱仪对出射激光进行光谱分析协同电源对电流的调节引入焦耳热构成负反馈机制，实现对出射激光的模式的调控。
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公开(公告)号：CN113624992B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202110847839.9
申请日：2021-07-27
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01P15/093 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种电泵加速度传感器及其制备方法，所述加速度传感器包括质量块和悬空波导结构，质量块设置在悬空波导结构的中间位置；悬空波导结构包括从下到上依次设置的硅衬底层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、p型电极和n型电极，其中，量子阱层设置在n型氮化镓层上表面的一侧，硅衬底层支撑u型氮化镓层下方的两端。所述制备方法在硅衬底氮化物外延片上，利用光刻、ICP干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺制备悬空波导结构的氮化物微腔。本发明将光源与传感器件聚焦在一个氮化镓的悬空波导光学谐振腔上，制备的加速度传感器可以进行高密度的光电集成，具有更高的分辨率和灵敏度。
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公开(公告)号：CN117870847A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202310203589.4
申请日：2023-03-06
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于覆盖MoS2感光层的GaN悬臂梁发光二极管的声波传感器。包括硅衬底，硅衬底上设置有第一引脚支撑和第二引脚支撑，二者都通过硅柱固定在硅衬底上。第一引脚支撑和第二引脚支撑之间通过第一悬臂梁支撑和第二悬臂梁支撑连接，构成一个中间有长条状空腔的双桥结构。第一引脚支撑侧及中间双桥结构部分由下至上依次设置有n‑GaN层，量子阱层，p‑GaN层，第一引脚电极，构成发光二极管。第二引脚支撑上设置有第二引脚电极。双桥结构长条状空腔顶部设置有MoS2薄膜。本发明利用MoS2薄膜随声波振动的物理特性和在发光二极管激发下的发光特性，通过光电探测器监测MoS2发出的光功率变化，并汇总到电源控制和监测模块上，实现声波传感功能。
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公开(公告)号：CN117606753A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311429789.8
申请日：2023-10-31
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种程控式空间光谱分布测试系统，包括包括彼此通信连接的控制模块（1）、多维运动模块、光谱采集模块和载物台；控制模块（1）用于对多维运动模块发出控制信号，并接收光谱采集模块所采集的光谱信息；光谱采集模块包括光谱采集探头，光谱采集探头用于面向载物台上方的自发光待测物进行光谱采集工作。本发明使用电脑一键式控制全部过程：由LabView程序统一控制系统实现PC端给出信号、待测物电源接通、样品发光、CCD辅助成像、样品采集位置调整，对自发光待测物外边缘的不同角度进行全面光谱采集，以及后续的具体数值数据对比和保存等功能。
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公开(公告)号：CN114256735B
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202111355966.3
申请日：2021-11-16
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开一种电泵氮化物悬空圆环光频梳激光器及其制备方法，激光器以硅基氮化物外延片为载体，包括自下而上依次设置的硅衬底层、设置在硅衬底底层上表面的n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、设置在p型氮化镓层上的二硫化钼层、p型电极、设置在n型氮化镓层上表面中心的n型电极；激光器具有圆环微腔结构，圆环微腔结构的下方由硅衬底层支撑。制备方法在硅衬底氮化物外延片上，利用光刻、ICP氮化物干法刻蚀、硅湿法刻蚀、电子束蒸镀工艺制备悬空圆环结构的氮化物微腔，将二维材料沉积在p型氮化镓表面，作为频梳的发光区，在圆环发光区和环形微腔增益区重合的表面蒸镀Ni/Au，在圆环中心的n型氮化镓表面蒸镀Ni/Au，最终制备电泵浦光频梳激光器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116499460A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310470161.6
申请日：2023-04-27
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于氮化镓的八梁结构惯导系统及其制备方法，该惯导系统以硅基氮化物为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝层、n型氮化镓层、量子肼层、p型氮化镓层、设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层边缘的n型电极，硅衬底层进行悬空，形成一个位于氮化铝层下方的上窄下宽的梯形底座。整个惯导系统由4个p型和4个n型电极首尾相连，构成一个正八边形，分别测量东西南北以及东北、东南、西北、西南八个方向的角速度和线速度。
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公开(公告)号：CN116477562A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310472870.8
申请日：2023-04-27
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于电泵浦片上InGaN量子肼梁三轴加速度计的设计及其制备方法，该三轴加速度计以硅基氮化物为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝层、n型氮化镓层、量子肼层、p型氮化镓层、设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层边缘的n型电极，硅衬底层进行悬空，形成一个位于氮化铝层下方的上窄下宽的梯形底座。整个三轴加速度计由2个p型和2个n型电极首尾相连，构成一个正四边形，可以测量水平方向x轴和y轴以及垂直方向z轴的加速度。
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公开(公告)号：CN113418519A
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：CN202110643418.4
申请日：2021-06-09
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种电泵浦光学陀螺及其制备方法，包括：探测器、外形波导和光学陀螺；外形波导包括从上至下依次设置的第一p型磷化铟层、第一量子阱层和n型磷化铟层，第一p型磷化铟层和第一量子阱层为渐变式结构；探测器包括探测器正电极和探测器负电极；光学陀螺包括从上至下依次设置的环形电极、第二量子阱层和第二p型磷化铟层。优点：本发明的外形波导采用了渐变设计，便于产生的激光在波导中的传输，降低了光学损耗。本发明采用了磷化铟外延片，并在刻蚀完成后，用饱和溴水对侧壁进行了光滑修饰，这样易于光学陀螺中产生更好的激光。
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公开(公告)号：CN112134140A
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN202010929131.3
申请日：2020-09-07
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种电调控的有源耦合腔激光器，包括硅衬底；所述硅衬底上设置有第一有源耦合腔、第二有源耦合腔和硅衬底电极；所述第一有源耦合腔和第二有源耦合腔均通过硅柱固定在硅衬底上；所述第一有源耦合腔、第二有源耦合腔的底部与硅柱之间均设置有氮化铝层；所述第二有源耦合腔的顶部设置有第一耦合腔电极和第二耦合腔电极；所述第一耦合腔电极和第二耦合腔电极均为半圆形结构且相对设置。本发明在光激发下通过三个电极的不同组合供电方式给有源腔提供横向和纵向电场，实现对发光模式的调控。
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公开(公告)号：CN110957406A
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201911232774.6
申请日：2019-12-05
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种电驱动光栅波分复用器件及其制备方法，器件以硅基氮化物晶片为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝、n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层的n型环形电极，两边刻至硅衬底层，等高等宽的光栅结构刻至p型氮化镓层中部。本发明是在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻刻蚀工艺和EBL刻蚀工艺制备电驱动光栅波分复用器件。
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