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公开(公告)号：CN207037328U
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201720919522.0
申请日：2017-07-27
Applicant: 南通大学
Inventor： 张华丽 , 陈科 , 冒卫星 , 黄明宇
IPC: G03F7/20
Abstract: 本实用新型揭示了一种光刻机专用基片定位装置，包括基座，支撑杆，光源定位杆及基片定位杆，其中：基座通过螺栓固定在底座上，而支撑杆固定在基座上表面，所述光源定位杆固定在支撑杆顶端，其自由端具有半圆环卡在光刻机的光源上，所述基片定位杆固定在基座侧面，其自由端具有基片定位环，且基片定位杆与光源定位杆平行，同时基片定位环圆心与半圆环圆心及光源中心在同一垂直线上。
