公开(公告)号：CN203636513U

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201420004200.X

申请日：2014-01-03

Applicant: 吉林大学

Inventor： 赵宏伟 ,  韩磊 ,  金明骏 ,  高景 ,  闫纪旺 ,  佟达 ,  李烁 ,  鲁帅 ,  杨倚寒 ,  邵明坤

IPC: B24B1/04

Abstract: 本实用新型涉及一种超声波振动辅助研磨/抛光的超精密加工系统，属于精密、超精密加工领域。xyz三轴运动工作台用来调整超声波振动发生器与工件夹持单元间的相对位置；超声波振动发生器将确定频率的交流电信号转换成相应频率的振动微位移；传感器检测单元用于监控加工过程；摇臂机构用来保证工件夹持单元在研磨/抛光加工过程中始终处于确定位置。本实用新型可用于硬脆材料的超精密平坦化加工，具有结构紧凑、操作简单、效率高、适用性强等优点。本实用新型能够通过改善研磨/抛光条件（降低研磨/抛光力、减少切削热、消除或抑制振动等）显著地提高工件的加工精度和表面质量，降低试件加工表面损伤，改进精密与超精密研磨/抛光加工工艺。

公开(公告)号：CN203337493U

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：CN201320415860.2

申请日：2013-07-12

Applicant: 吉林大学

Inventor： 赵宏伟 ,  邵明坤 ,  程虹丙 ,  杨倚寒 ,  李士兵 ,  刘宏达 ,  张霖 ,  佟达 ,  鲁帅 ,  张鹏

IPC: G01N3/40 ,  G01N3/38 ,  G01N3/08

Abstract: 本实用新型涉及一种基于拉压、疲劳复合载荷模式下的原位压痕力学测试装置，属于精密测试仪器领域。主要由精密驱动单元、拉压、疲劳复合载荷单元、压痕载荷单元、精密传感检测单元组成。其中精密驱动单元可实现准静态加载，拉压、疲劳复合载荷单元使试件中心基本保持不变，结合高分辨率的成像系统可进行材料的原位力学性能观测。疲劳模块加载在拉压模块之上，采用精密的压电驱动技术进行材料的疲劳性能测试。压痕载荷单元布置于试件正上方，竖直压入试件，由丝杆步进电机带动压痕柔性铰链直线进给，嵌入其中的压痕压电叠堆则进行精密压入驱动，可进行跨尺度原位压痕力学测试。具有结构紧凑、体积小、响应迅速、精度高、成本低等优点。

公开(公告)号：CN203337492U

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：CN201320341794.9

申请日：2013-06-14

Applicant: 吉林大学

Inventor： 赵宏伟 ,  袁英堃 ,  李烁 ,  邹青 ,  马志超 ,  黄虎 ,  史成利 ,  崔涛 ,  佟达 ,  张攀峰

IPC: G01N3/40 ,  G01N3/08 ,  G01N3/20

Abstract: 本实用新型涉及一种基于可调式拉伸-弯曲预载荷的原位纳米压痕测试仪，属于机电一体化精密科学仪器领域。包括原位纳米压痕测试模块、拉伸预载荷加载模块和弯曲预载荷加载模块，所述原位纳米压痕测试模块由精密位移/力加载单元和载荷/位移信号检测单元组成；拉伸预载荷加载模块由精密驱动单元A、精密传动单元A、载荷/位移信号检测及控制单元A以及夹持单元A组成；弯曲预载荷加载模块由精密驱动单元B、精密传动单元B、载荷/位移信号检测及控制单元B组成；优点在于：体积小巧，结构紧凑，测试精度高，可提供的测试内容丰富、变形/位移/载荷速率可控，可安装于各种主流电子显微镜真空腔体的载物平台上，与成像设备兼容使用，应用范围广。