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公开(公告)号：CN108646402B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201810437283.4
申请日：2018-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B26/02
Abstract: 本发明公开一种基于双轴导向的可变光阑。该该装置包括4个独立控制的光阑片运动机构，每个光阑片运动机构均包括主动导轨、从动导轨以及相对应的驱动控制单元、预紧单元。通过主动、从动导轨的平行安装，构成了光阑片的运动支承和导向，通过磁性预紧与轴承预紧共同实现了对从动导轨的姿态调整和定位，实现了逆时针异位光阑片的正交运动解耦；4个光阑片运动机构首尾相接，形成的矩形光阑可以实现平面内任意范围的窗口扫描，并提高了窗口扫描的精度和效率。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的扫描曝光装置。
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公开(公告)号：CN108627968B
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201810437726.X
申请日：2018-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开一种多光阑共面的可变狭缝装置；该装置通过4只光阑片首尾相接并构成了矩形的狭缝式窗口，定位刀口平行安装在相邻的光阑片的运刀槽内，狭缝刀口平行安装在相邻的光阑片的定位刀槽内，实现了扫描窗口的4边共面，进而消除了由于边缘衍射对曝光均匀性的影响。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。
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公开(公告)号：CN109521650A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811349972.6
申请日：2018-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70358 , G03F7/70491 , G03F7/70725
Abstract: 本发明公开一种用于高速曝光的质量平衡方法和装置；过并联的弹簧和阻尼系统进行减振，进而对高速扫描所产生的质量冲量进行平衡性消除，而弹簧和阻尼系统所产生的平衡位移可以通过检测获得，并最终反馈至驱动单元进行再次定位直至满足要求，进而提高曝光系统的运行速度和精度。本发明可建立一种高速、高频、高精度曝光的质量平衡装置。
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公开(公告)号：CN108646402A
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810437283.4
申请日：2018-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B26/02
CPC classification number: G02B26/02
Abstract: 本发明公开一种基于双轴导向的可变光阑。该该装置包括4个独立控制的光阑片运动机构，每个光阑片运动机构均包括主动导轨、从动导轨以及相对应的驱动控制单元、预紧单元。通过主动、从动导轨的平行安装，构成了光阑片的运动支承和导向，通过磁性预紧与轴承预紧共同实现了对从动导轨的姿态调整和定位，实现了逆时针异位光阑片的正交运动解耦；4个光阑片运动机构首尾相接，形成的矩形光阑可以实现平面内任意范围的窗口扫描，并提高了窗口扫描的精度和效率。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的扫描曝光装置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107063319A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201610643884.1
申请日：2016-08-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D11/00
CPC classification number: G01D11/00
Abstract: 基于摩擦驱动的静压气浮水平直线运动基准装置属于精密测量与仪器技术领域；该装置包括基准部分、驱动部分，基准部分和驱动部分通过驱动连接单元和支架平行安装；基准部分包括光栅尺、光电读数头、通气管道、精密气浮导轨、气浮导套；驱动部分包括驱动导轨、运动检测部件、制动轮、制动单元、驱动电机、摩擦轮框架、从动轮、主动轮；基准部分的气浮导套和驱动部分的驱动导轨固定安装在支架上；基准部分的精密气浮导轨和驱动部分的摩擦轮框架通过驱动连接单元相连；本发明可建立一种高直线运动精度和高定位精度兼顾的直线运动基准装置。
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公开(公告)号：CN105958863A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201610480064.5
申请日：2016-06-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种高回转精度结构的超声电机及定子与转子预紧方法，它涉及一种超声电机及该电机的定子与转子预紧方法，以解决现有超声电机的支承轴承的轴承座孔分别在电机上盖和底座，两者分别加工，两个轴承座孔的同轴度很难达到较高的同轴要求，以及电机转子轴的支撑均采用深沟球轴承，转子轴的回转精度低的问题，它包括上盖、底座、转子轴、定子、转子、转子法兰、转子螺钉和两个角接触球轴承；两个角接触球轴承的角接触线同向且平行布置，转子轴安装在两个角接触球轴承上，定子安装在底座上，转子法兰与转子轴固接，定子的与底座相邻的端面上铺设有一层环形压电陶瓷。本发明用作超声电机，特别适合高回转精度应用场合。
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公开(公告)号：CN104440808B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201410591392.3
申请日：2014-10-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B25H1/00
Abstract: 基于周向力解耦的航空发动机转静子两自由度调整定位装置属于精密仪器及机械技术领域；该装置通过操纵装置对限位单元进行位置调整，使主导向部件和副导向部件与运动台的导向工作面接触，引导运动台沿X轴和Y轴运动；驱动杆旋进，通过近端轴承和远端轴承解耦周向力，将轴向驱动力传递至连接块，驱动运动台正向运动；驱动杆旋出，通过近端轴承和远端轴承解耦周向力，将轴向驱动力传递至X向连接块，驱动运动台反向运动,达到运动台沿X轴和Y轴高精度、高稳定性运动的目的；本发明建了立一种兼顾高精度、高稳定性的平面二维运动基准及平台。
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公开(公告)号：CN104400414A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201410591455.5
申请日：2014-10-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23P19/10
CPC classification number: B23P19/107
Abstract: 基于密珠滚动支承的航空发动机装配测量一体化调心方法与装置属于精密仪器及机械技术领域；该方法通过圆形底盘、夹层和运动台的复合运动实现，夹层布置在运动台和圆形底盘中间，夹层上布满小孔，小孔内嵌入球形滚动体；当运动台沿X方向运动时，圆形底盘和夹层均保持静止，圆形底盘和运动台之间进行滚动摩擦，X向导向系统与夹层上的导向槽配合起导向作用；当运动台沿Y方向运动时，底盘保持静止，夹层与运动台同步运动，圆形底盘和夹层之间进行滑动摩擦，Y向导向系统与夹层上的导向槽配合起导向作用；本发明建立了一种兼顾高精度、高稳定性和大承载的二维运动调整装置。
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公开(公告)号：CN104400375A
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：CN201410591476.7
申请日：2014-10-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: B25H1/18 , B25H1/0007
Abstract: 基于球面导向滑动支承的航空发动机转静子装配测量用调倾装置属于精密仪器及机械技术领域；该装置包括部件单元A和部件单元B两个部分，部件单元A包括工作台面和球环，工作台面上布置有支承面a1、支承面a2、支承面a3、支承面a4、定位孔a5和定位孔a6，支承面a1、支承面a2和支承面a3为平面结构，支承面a4为V型槽结构，定位孔a5和定位孔a6为孔状结构；部件单元B的底座上固定有弹性支承柱A、弹性支承柱B、X轴高度调整件、X轴高度回复装置、Y轴高度调整件和Y轴高度回复装置；且球环与底座接触配合，实现对工作台面的球面导向滑动支承；本发明装置可实现对大负载试件的无耦合倾斜调整。
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