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公开(公告)号：CN1487602A
公开(公告)日：2004-04-07
申请号：CN03155529.2
申请日：2003-08-28
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L31/103
Abstract: 本发明公开了一种光接收元件及其制造方法以及具有内建电路的光接收元件，其中该元件包括：衬底；以及，外延层，设置在衬底上并包括从外延层的表面延伸至预定深度的杂质扩散层。该预定深度为小于等于约0.3μm。杂质扩散层包括浓度小于约1×1020cm－3的杂质。
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