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公开(公告)号:CN114982129A
公开(公告)日:2022-08-30
申请号:CN202080092557.6
申请日:2020-12-29
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够提高耐电力性且能够抑制损耗的增大的弹性波装置。弹性波装置(1)在压电体层(6)上设置有IDT电极(8),IDT电极(8)具有多根第1、第2电极指(12、13),多根第1、第2电极指(12、13)由合金膜构成,该合金膜包含Al和从由Cu、Mg、Ag以及Nd构成的组选择的至少一种,在弹性波传播方向上观察多根第1、第2电极指(12、13)时相互重叠的区域为交叉区域(K),交叉区域(K)具有中央区域(C)和位于中央区域(C)的第1、第2电极指(12、13)延伸的方向两外侧的第1、第2边缘区域(E1、E2),在多根第1、第2电极指(12、13)之中的至少一根第1、第2电极指(12、13)中,第1、第2边缘区域(E1、E2)的至少一部分中的Cu、Mg、Ag以及Nd的至少一种的浓度比中央区域(C)中的该浓度高。
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公开(公告)号:CN114731147A
公开(公告)日:2022-07-08
申请号:CN202080080738.7
申请日:2020-12-02
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 抑制极化反转的发生。在弹性波装置(1)中,多个第1电极指(61)及多个第2电极指(62)设置在压电体层(5)上。多个第3电极指(63)及多个第4电极指(64)设置在压电体层(5)上。连接部包含第2汇流条(82)和第3汇流条(83)。第2汇流条(82)设置在压电体层(5)上,与多个第2电极指(62)的一端连接。第3汇流条(83)设置在压电体层(5)上,与多个第3电极指(63)的一端连接。应力缓解层(9)设置在连接部与压电体层(5)之间。在从支承基板(2)的厚度方向(D0)的俯视下,应力缓解层(9)不到达多个第1电极指(61)与第2汇流条(82)之间的缝隙(102)和多个第4电极指(64)与第3汇流条(83)之间的缝隙(103)。
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公开(公告)号:CN108292913B
公开(公告)日:2021-08-31
申请号:CN201680069692.2
申请日:2016-12-13
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供一种能够减小IDT电极的交叉区域中的膜厚的偏差的影响并且能够充分地抑制横模乱真的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:第1质量附加膜(5a),被设置在第1电介质膜(4)上以使得在俯视的情况下与IDT电极(3)的多根第1以及第2电极指(3a2、3b2)重叠,沿着各第1以及第2电极指(3a2、3b2)延伸的方向延伸,并且被设置于中央区域(A1);和第2以及第3质量附加膜(5b、5c),被设置在第1电介质膜(4)上,并且被设置于第1以及第2边缘区域(A2a、A2b),一部分在俯视的情况下与第1以及第2电极指(3a2、3b2)之中的至少一方重叠。第2以及第3质量附加膜(5b、5c)的沿着弹性波传播方向的尺寸比第1质量附加膜(5a)的沿着弹性波传播方向的尺寸长。
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公开(公告)号:CN111758219A
公开(公告)日:2020-10-09
申请号:CN201980014467.2
申请日:2019-03-13
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供能够对横模纹波和阻带上端处的响应这两者进行抑制的弹性波装置。弹性波装置(1)具有:串联臂谐振器(S1~S4),具有第1IDT电极;和并联臂谐振器(P1~P3),具有第2IDT电极,在第1IDT电极中,作为通过将多个第1电极指的顶端相连而形成的虚拟线的第1包络线相对于弹性波传播方向而倾斜地延伸,作为通过将多个第2电极指的顶端相连而形成的虚拟线的第2包络线相对于弹性波传播方向而倾斜地延伸,第2IDT电极具有:中央区域;第1低声速区域,声速低于中央区域中的声速;第2低声速区域,声速低于中央区域中的声速;第1高声速区域,声速高于中央区域中的声速;和第2高声速区域,声速高于中央区域中的声速。
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公开(公告)号:CN111656685A
公开(公告)日:2020-09-11
申请号:CN201980007835.0
申请日:2019-01-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 大门克也
Abstract: 提供能够更加可靠地抑制横模式的弹性波装置。弹性波装置(1)具备反向速度面为凸的压电性基板(2)、设置在压电性基板(2)上的IDT电极(7)、以及层叠于IDT电极(7)的质量附加膜(8)。IDT电极(7)具有中央区域(B)、第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)、位于这两个边缘区域的外侧的第一间隙区域(Da)、第二间隙区域(Db)、第一内侧汇流条区域(Ea)、第二内侧汇流条区域(Eb)、第一外侧汇流条区域(Ha)、第二外侧汇流条区域(Hb)。质量附加膜(8)至少层叠在第一边缘区域(Ca)、第二边缘区域(Cb)及第一内侧汇流条区域(Ea)、第二内侧汇流条区域(Eb)。
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公开(公告)号:CN111164888A
公开(公告)日:2020-05-15
申请号:CN201880063310.4
申请日:2018-09-27
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 大门克也
Abstract: 多工器(1)的第一滤波器(11)具有由多个串联谐振器(111s~114s)以及多个并联谐振器(111p~113p)构成的梯型滤波器构造。各谐振器(111s~114s、111p~113p)是具有由一对梳齿状电极构成的IDT电极的弹性波谐振器。串联谐振器(111s~114s)中的最靠近公共端子的串联谐振器(111s)以及最靠近公共端子的并联谐振器(111p)中的至少一者的反射器具有的反射电极指数比其余的谐振器(112s~114s、112p、113p)的反射器具有的反射电极指数少。
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公开(公告)号:CN111095795A
公开(公告)日:2020-05-01
申请号:CN201880060290.5
申请日:2018-09-19
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor: 大门克也
Abstract: 提供一种弹性波滤波器装置,能够将弹性波的能量有效率地封闭在压电体层侧,且能够抑制起因于阻带上端的响应。弹性波滤波器装置(1)具备压电体层、高声速构件、设置在高声速构件与压电体层之间的低声速膜、和设置在压电体层上的包含第1、第2IDT电极的多个IDT电极。由高声速构件、低声速膜、压电体层以及多个IDT电极构成了多个弹性波谐振器。串联臂谐振器部之中的配置在最靠天线端(X)侧的串联臂谐振器部(S1)的弹性波谐振器以及配置在最靠天线端(X)侧的并联臂谐振器部(P1)中的弹性波谐振器之中的至少一方具备具有第1、第2电极指的第1IDT电极,剩余的弹性波谐振器具备具有第3、第4电极指的第2IDT电极。在第1IDT电极中,沿着与弹性波传播方向正交的方向,中央区域、第1、第2低声速区域以及第1、第2高声速区域按该顺序配置。通过连结第2IDT电极的多个第3、第4电极指的前端而形成的第1、第2包络线相对于弹性波传播方向倾斜地延伸。
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公开(公告)号:CN110036564A
公开(公告)日:2019-07-19
申请号:CN201780071170.0
申请日:2017-10-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够进行小型化且能够抑制无用波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备:压电基板(2),由LiNbO3构成;IDT电极(3),设置在压电基板(2)上;以及第一电介质膜(4),设置在压电基板(2)上,使得覆盖IDT电极(3),且由氧化硅构成。IDT电极(3)具有由Pt、Cu、Mo、Au、W以及Ta中的一种金属构成的第一金属膜,压电基板(2)的欧拉角( θ,ψ)为欧拉角(0°±5°,-90°≤θ≤-70°,0°±5°),将由IDT电极(3)的电极指间距规定的波长设为λ,将通过波长λ进行了归一化的第一金属膜的膜厚设为hm/λ(%),此时,第一金属膜的金属以及膜厚hm/λ(%)为表1所示的任一组合。【表1】
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公开(公告)号:CN105284047B
公开(公告)日:2018-10-12
申请号:CN201480030215.6
申请日:2014-05-27
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供不会招致制造工序的烦杂以及成本的上升、能有效果地压抑横模脉动的弹性波装置。在弹性波装置(1)中,在压电基板(2)上设置IDT电极(3),在IDT电极(3)中,在第1、第2电极指(13、14)的至少一方,在比中央区域更靠基端侧以及前端侧当中至少一方侧设置相比于长度方向中央让宽度方向尺寸更大的加宽部(13a~13d、14a~14d),第1以及第2汇流条(11、12)的至少一方具有沿着汇流条长度方向分散配置的多个开口部(15),第1以及第2汇流条(11、12)的至少一方具有:内侧汇流条部(11A),其位于比开口部(15)更靠第1或第2电极指(13、14)侧的位置,在第1以及第2汇流条(11、12)的长度方向上延伸;中央汇流条部(11B),其设有开口部(15);和外侧汇流条部(11C)。
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公开(公告)号:CN103283147B
公开(公告)日:2016-09-21
申请号:CN201180062385.9
申请日:2011-12-12
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02535 , H01L41/18 , H01L41/1873 , H03H3/02 , H03H9/02228 , H03H9/02574 , Y10T29/42
Abstract: 提供利用了板波的弹性波装置,不需要空腔的形成,能谋求制造工序的简化,并且机械强度优良,处置容易,且改善了温度特性。弹性波装置(1)传播板波,在支承基板(2)上层叠声反射层(3)、压电体层(4)以及IDT电极(5),压电体层(4)的厚度小于IDT电极(5)的电极指的周期,其中,声反射层(3)具有低声阻抗层(3b、3d、3f、3h)和高声阻抗层(3a、3c、3e、3g),低声阻抗层由SiO2构成,所述高声阻抗层由从W、LiTaO3、Al2O3、AlN、LiNbO3、SiN以及ZnO所构成的群中选择的至少一种材料构成。
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