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公开(公告)号：CN111566933A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201880081223.1
申请日：2018-12-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25 , H03H3/08 , H01L21/301
Abstract: 本发明提供一种能够更可靠地提高生产率的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电性基板(2)，具有支承基板(3)和直接或间接地设置在支承基板(3)上的压电体层(5)，且具有作为压电体层(5)侧的主面的第1主面(2a)和作为支承基板(3)侧的主面的第2主面(2b)；IDT电极(7)，直接或间接地设置在第1主面(2a)上；支承构件(8)，设置在支承基板(3)上；覆盖构件(9)，设置在支承构件(8)上；贯通过孔电极(17)，设置为贯通支承基板(3)，并与IDT电极(7)电连接；第1布线电极(15)，设置在压电性基板(2)的第2主面(2b)上，并与贯通过孔电极(17)电连接；以及保护膜(16)，设置在第2主面(2b)上，使得覆盖第1布线电极(15)的至少一部分。在从第2主面(2b)的法线方向观察时，保护膜(16)设置在比支承构件(8)靠内侧。
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公开(公告)号：CN106464232B
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201580027543.5
申请日：2015-06-24
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够谋求更进一步的小型化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板(2)；功能电极(3)，设置在压电基板(2)上；支承层(5)，具有框状的形状，设置在压电基板(2)上，并设置为包围功能电极(3)；以及覆盖构件(6)，设置在支承层(5)上，并设置为对支承层(5)的开口部进行密封，覆盖构件(6)具有作为支承层(5)侧的主面的第一主面(6A)和第一主面(6A)的相反侧的第二主面(6B)。在覆盖构件(6)形成有在第二主面(6B)开口的凹部(6c)。形成有过孔(7)，形成为贯通支承层(5)，进而到达覆盖构件(6)的凹部(6c)的底面，并具有在该底面开口的开口部(7a)。过孔(7)的开口部(7a)的面积为覆盖构件(6)的凹部(6c)的底面的面积以下。还具备：第一过孔导体部(8a)，设置在过孔(7)；以及第二过孔导体部(8b)，设置在覆盖构件(6)的凹部(6c)。
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公开(公告)号：CN107615657A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680027933.7
申请日：2016-06-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 甲斐诚二
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供一种在具有中空构造的弹性波装置中难以产生压电薄膜的裂纹或缺损、且难以产生层叠膜内的界面剥离、能够通过泄露检测容易挑选出不合格品的弹性波装置。弹性波装置(1)具备支承基板(2)、包含压电薄膜(4)的层叠膜(3)、和IDT电极(5)，在俯视下，在设置有IDT电极(5)的区域的外侧的区域，层叠膜(3)局部地不存在，还具备：支承层(8)，在支承基板(2)上，被设置在层叠膜(3)局部地不存在的区域(R)的至少一部分，并且被配置为在俯视下包含层叠膜(3)被设置的区域；盖部件(9)，被设置在支承层(8)上，与压电薄膜(4)以及支承层(8)一起构成IDT电极(5)所面对的中空空间(7)。
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公开(公告)号：CN107210726A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201680006223.6
申请日：2016-02-01
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 声表面波装置集合体(1)具备：集合基板(2)；多个第1电路部(3A)，被设置于集合基板上，具有第1高压端子(6a)以及第1接地端子(7a)；第2电路部(4A)，被设置于集合基板上，具有第2高压端子(6b)以及第2接地端子(7b)；和供电布线(13)，被设置于集合基板上以使得包围多个第1电路部以及第2电路部的周围。各第1电路部构成作为带通型滤波器的声表面波装置(3)。第2电路部构成带通型滤波器。多个第1接地端子(7a)以及第1高压端子(6a)还有第2接地端子(7b)连接于供电布线(13)，第2高压端子(6b)未连接于供电布线(13)，各声表面波装置(3)的通频带与由第2电路部(4A)构成的带通型滤波器的通频带相同。
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公开(公告)号：CN106464232A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580027543.5
申请日：2015-06-24
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够谋求更进一步的小型化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电基板层(5)，具有框状的形状，设置在压电基板(2)上，并设置为包围功能电极(3)；以及覆盖构件(6)，设置在支承层(5)上，并设置为对支承层(5)的开口部进行密封，覆盖构件(6)具有作为支承层(5)侧的主面的第一主面(6A)和第一主面(6A)的相反侧的第二主面(6B)。在覆盖构件(6)形成有在第二主面(6B)开口的凹部(6c)。形成有过孔(7)，形成为贯通支承层(5)，进而到达覆盖构件(6)的凹部(6c)的底面，并具有在该底面开口的开口部(7a)。过孔(7)的开口部(7a)的面积为覆盖构件(6)的凹部(6c)的底面的面积以下。还具备：第一过孔导体部(8a)，设置在过孔(7)；以及第二过孔导体部(8b)，设置在覆盖构件(6)的凹部(6c)。(2)；功能电极(3)，设置在压电基板(2)上；支承
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公开(公告)号：CN103460599B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201180069710.4
申请日：2011-12-22
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H05K1/182 , H03H3/08 , H03H9/1071 , H05K3/3431 , H05K2201/0999 , H05K2201/10083 , H05K2201/2018 , Y10T29/49124 , Y10T29/49128 , Y10T29/49147 , Y10T29/49165
Abstract: 本发明提供一种电子部件，能够抑制中空部的泄漏不良因此在耐气候性方面优越。该电子部件(1)在基板(2)的一个主面上形成有由热固性树脂构成、包围功能部(3)且从基板(2)的周围向内侧隔开的框状的支撑体(4)，在支撑体(4)固定盖体(5)以密封框状的支撑体(4)的开口部。框状的支撑体(4)具有框状的支撑体主体(4a)、从支撑体主体(4a)向内侧突出的第1突出部(4b)、和在支撑体主体(4a)与第1突出部(4b)相连的部分从支撑体主体(4a)向外侧突出的第2突出部(4c)。
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公开(公告)号：CN105409120A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201480042253.3
申请日：2014-07-29
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/725 , H03H9/0057 , H03H9/1042 , H03H9/1071 , H03H9/1092 , H03H9/64
Abstract: 提供难以出现弹性波元件部所面对的中空部的泄漏不良的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在压电基板(2)上构成具有IDT电极的多个弹性波元件部，在压电基板(2)上设置包围弹性波元件部的支承层(16)，从而形成各弹性波元件部所面对的中空部，在该支承层(16)上层叠封盖构件来构成弹性波元件部所面对的各中空部，支承层(16)具有第1支承层(17)和第2支承层(18)，第1支承层(17)沿着压电基板(2)的外周缘，第2支承层(18)位于被第1支承层(17)包围的区域内，设置在弹性波元件部的周围，以使得具有各弹性波元件部所存在的中空部，中空路径(19)设置在第1支承层(17)与第2支承层(18)间，且将中空路径(19)设置成连通至少2个中空部。
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