公开(公告)号：JP2015166314A

公开(公告)日：2015-09-24

申请号：JP2015131222

申请日：2015-06-30

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  北原 江梨子 ,  鈴木 光一

IPC: C30B15/10 ,  C30B29/06 ,  C03B20/00

CPC classification number: C03B19/095

Abstract: 【課題】シリカガラスルツボの設計データに対する三次元形状の一致度が高い回転モールド法でのシリカガラスルツボを製造することのできるモールドを得る。 【解決手段】当初の物性パラメータに基づいて得られたシミュレーションデータおよび測定データの三次元形状の一致度が所定の水準を下回っている場合には、その一致度が所定の水準以上となる改善物性パラメータを設定する。また、所定の水準を下回っている場合には、シリカガラスルツボの設計データとの一致度が所定の水準以上となるシミュレーションデータが得られる改善モールド設計データを設定する。その結果、シリカガラスルツボの設計データおよび測定データの三次元形状の一致度を所定の水準以上に高めることができる。すなわち、シリカガラスルツボの設計データに対する三次元形状の一致度がさらに高いシリカガラスルツボを回転モールド法で製造することのできるモールドが得られる。 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够以旋转成型方法制造石英玻璃坩埚的模具，使得三维形状与石英玻璃坩埚上的设计数据高度一致。解决方案：当模拟数据的三维形状 基于初始属性参数获得的测量数据具有低于预定水平的一致性，将用于提高一致的改进的属性参数设置为或高于预定水平。 当一致性低于预定水平时，设置用于获得与石英玻璃坩埚的设计数据一致的模拟数据的改进的模具设计数据等于或高于预定水平。 因此，可以将石英玻璃坩埚上的设计数据和测量数据的三维形状的一致性提高到或高于预定水平。 也就是说，可以获得能够以旋转成型方法制造具有三维形状的一致性的石英玻璃坩埚与石英玻璃坩埚的设计数据的模具。

公开(公告)号：JP5773866B2

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：JP2011290488

申请日：2011-12-31

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  鈴木 江梨子 ,  鈴木 光一

IPC: C30B29/06 ,  C30B15/10 ,  C03B20/00

CPC classification number: C03B19/095

公开(公告)号：JP5773382B2

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：JP2010294593

申请日：2010-12-29

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 山▲崎▼ 眞介 ,  須藤 俊明 ,  池端 修一 ,  庄内 学 ,  佐藤 平 ,  西 卓二 ,  佐藤 孝也

IPC: C30B15/10 ,  C30B29/06 ,  C03B20/00

CPC classification number: C30B35/002 ,  C30B15/00 ,  Y10T117/10

公开(公告)号：JP5749147B2

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：JP2011271759

申请日：2011-12-12

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  鈴木 江梨子

IPC: C30B29/06 ,  C03B20/00

CPC classification number: C03B19/095 ,  G01J5/0003 ,  G01J5/0044 ,  G01J5/047

公开(公告)号：JP2015127287A

公开(公告)日：2015-07-09

申请号：JP2013273685

申请日：2013-12-28

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  北原 江梨子

IPC: C30B15/10 ,  C03B20/00 ,  C30B29/06

CPC classification number: C03B19/095 ,  Y02P40/57

Abstract: 【課題】高温下での変形が抑制された石英ガラスルツボ及びその製造方法を提供する。 【解決手段】石英ガラスルツボ1は、上端に開口部を有する円筒状の直胴部10aと、直胴部10aの下端に形成されたコーナー部10cと、コーナー部10cを介して直胴部10aに接続された底部10bとを有している。また、石英ガラスルツボ1は、ルツボの外層を構成する気泡を内包する不透明層11と、ルツボの内層を構成する気泡が除去された透明層12とを備えている。不透明層11は、外表面Soから内表面Siに向かって気泡の平均直径が徐々に小さくなる気泡分布を有する。 【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种抑制高温变形的石英玻璃坩埚及其制造方法。解决方案：石英玻璃坩埚1具有圆柱形直的主体部分10a，其在上端具有开口部分 ; 形成在直线主体部10a的下端的角部10c; 以及通过角部10c连接到直线主体部10a的底部10b。 此外，石英玻璃坩埚1具有形成坩埚外层的不透明层11，内部具有气泡; 以及形成坩埚内层并除去气泡的透明层12。 不透明层11具有气泡分布，使得气泡从外表面So平均直径逐渐减小到内表面Si。

公开(公告)号：JP5709737B2

公开(公告)日：2015-04-30

申请号：JP2011282411

申请日：2011-12-22

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  鈴木 江梨子

IPC: C30B29/06 ,  C30B15/20

公开(公告)号：JP6405827B2

公开(公告)日：2018-10-17

申请号：JP2014193115

申请日：2014-09-22

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  飛田 修司 ,  北原 江梨子

IPC: C30B15/10 ,  C03B20/00 ,  C30B29/06

公开(公告)号：JP6204560B2

公开(公告)日：2017-09-27

申请号：JP2016199466

申请日：2016-10-07

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  北原 賢 ,  相場 秋廣 ,  奥州谷 和司 ,  吉田 文枝 ,  旭岡 真喜子 ,  北原 江梨子 ,  佐藤 忠広

IPC: C30B15/10 ,  C03B20/00 ,  C30B29/06

CPC classification number: Y02P40/57

公开(公告)号：JP6200057B2

公开(公告)日：2017-09-20

申请号：JP2016205663

申请日：2016-10-20

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  大原 真美

IPC: C30B15/10 ,  C03B20/00 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/65 ,  C30B29/06

公开(公告)号：JP2017160123A

公开(公告)日：2017-09-14

申请号：JP2017117368

申请日：2017-06-15

Applicant: 株式会社SUMCO

Inventor： 須藤 俊明 ,  佐藤 忠広 ,  北原 賢 ,  北原 江梨子

IPC: C30B29/06

Abstract: 【課題】シリカガラスルツボのコーナー部においてもシリコン単結晶の引き上げを適切に行うことを可能にするシリコン単結晶の製造方法を提供する。 【解決手段】本発明は、円筒状の側壁部と、湾曲した底部と、コーナー部とを備えるシリカガラスルツボ内に保持されたシリコン融液からシリコン単結晶を引き上げる工程を備える。シリカガラスルツボの内表面の三次元分布は、内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、内表面反射光を検出することによって決定される。この際、内部測距部と内表面との最大近接位置を設定しておき、内部測距部と内表面との距離を変化させてもピークが観測されない場合、内部測距部を最大近接位置よりも内表面に近づけないようにする。シリコン単結晶を引き上げ速度は、シリコン融液の液面が側壁部に位置している場合は一定であり、コーナー部に到達した後は三次元形状に基づく液面の下降速度に基づいて決定される。 【選択図】図1