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公开(公告)号：CN102802813A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201080026557.2
申请日：2010-06-11
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor： 生岛和正
CPC classification number: H01L21/563 , B05D7/22 , H01L24/743 , H01L2224/16225 , H01L2224/32225 , H01L2224/73203 , H01L2224/73204 , H01L2924/01004 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种在不变更吐出装置的移动速度的情况下，能够修正吐出量的变化，并且能够使涂布形状稳定的液体材料的填充方法、其装置及其程序。本发明的液体材料的填充方法对基板与工件的间隙中利用毛细管现象填充液体材料，包括：制成由连续的多个涂布区域所构成的涂布图案的工序；对各涂布区域，将以既定比率组合吐出脉冲数与暂停脉冲数的吐出周期进行多个分配的工序；以及在修正周期计测吐出量，并计算吐出量的修正量的工序。此外还包括：根据计算出的修正量，调整涂布图案中所含有的吐出脉冲与暂停脉冲数的工序；和/或针对至少与一涂布区域连续的其它涂布区域的长度，在不改变各涂布区域中每单位时间的吐出量的情况下，进行调整的工序。
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公开(公告)号：CN101583434B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN200780044575.1
申请日：2007-11-13
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor： 生岛和正
IPC: B05C5/00
CPC classification number: B05C5/02
Abstract: 本发明提供一种能够仅将接液部安全且容易地从本体部上拆卸的液体材料排出装置。本发明的液体材料排出装置包括接液部和本体部，该接液部具有直接或间接固设喷嘴和储存容器的外壳、以及插设于外壳的排出用构件；该本体部具有安装有外壳的保持部、以及使排出用构件动作的驱动部。该液体材料排出装置的特征在于，排出用构件与驱动部通过连结构件形成可装卸的构造，并且外壳与保持部形成可装卸的构造，从而接液部与本体部可装卸。
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公开(公告)号：CN102717596A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201210186764.5
申请日：2008-02-21
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor： 生岛和正
CPC classification number: B41J2/16552
Abstract: 本发明涉及一种喷墨制膜方法，通过多个喷射步骤施行制膜；其中在第二喷射动作以后，在向与通过在前喷射动作所滴落的液滴接触位置或重叠位置喷射液滴时，是在等待工件上的液滴达到不流动程度的干燥状态之后才进行喷射。
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公开(公告)号：CN101878071B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN200880118404.3
申请日：2008-09-29
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor： 生岛和正
CPC classification number: H01L21/6715 , B05C5/0216 , B05C5/0225 , B05C11/1005
Abstract: 本发明提供一种即使未预先准备多数控制数据也能够解决诸如液体材料响应时间延迟、经时粘度变化等问题的液体材料的涂布装置、涂布方法以及程序。本发明的液体材料的涂布方法、涂布装置以及程序为，涂布方法具有使工件与工件相对向的螺杆式配料器以一定速度相对移动，当将液体材料吐出量设为不固定并连续涂布时，计算出涂布开始前使吐出量变化时的响应延迟时间的响应时间算出步骤，该响应时间算出步骤包括：在将移动速度设为一定的涂布途中，对配料器发送使吐出量变化的信号，并存储该时间的第1步骤；通过测量所涂布的液体材料而计算出吐出量的变化开始时间，并存储该时间的第2步骤；以及将第1步骤所存储的时间与第2步骤所存储的时间的差分值，作为使吐出量变化时的响应延迟时间加以存储的第3步骤。
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公开(公告)号：CN101107079B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN200680002567.6
申请日：2006-01-18
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor： 生岛和正
CPC classification number: B05C5/02 , B05C11/10 , H05K13/0469 , Y10T137/87885
Abstract: 本发明提供一种可减少设置工时数、不需要接头等的连接器、且装置本体的尺寸较小的液体排出装置。该液体排出装置，其特征为，具备有：可调节加压气体压力的减压阀；可供给已调压的加压气体的压力供给接头；可连通或切断减压阀和压力供给接头的电磁阀；在内部具有流路的歧管一体配置有电磁阀及减压阀，且电磁阀及减压阀配置在歧管的外表面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102574148A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201080041381.8
申请日：2010-09-22
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor： 生岛和正
CPC classification number: B05C5/0225 , B05D1/26
Abstract: 本发明提供一种气泡混入防止机构，其在将液体物质填充至计量部内的情形时无需附加装置便可获得均匀且固定的填充状态，还提供具备该机构的液体物质排出装置和液体物质排出方法。一种气泡混入防止机构及具备该机构的液体物质排出装置和液体物质排出方法，该气泡混入防止机构位于具有计量部及于计量部的流路内进行往复移动的柱塞的排出装置中，并可安装于该计量部的与喷嘴呈相反侧的端部，该计量部具有与喷嘴连通的流路；其构成包括：第一孔，其与计量部的流路连通，且上述柱塞于其内部进行往复移动；第一密封构件，其设置于第一孔的喷嘴侧的端部；第二密封构件，其设置于第一孔的与喷嘴呈相反侧的端部；及第二孔，其连通于第一孔的侧面。
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公开(公告)号：CN102497937A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN201080038407.3
申请日：2010-08-30
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor： 生岛和正
Abstract: 课题：本发明提供一种既能够使用为具有工件搬送机构的全自动型作业用装置，也能够使用为以手动进行工件装卸的半自动型装置(桌上型机器人)，而能够灵活地应对生产量的作业装置。解决方法：本发明的作业装置中的全自动型作业装置，具备有：台架，配设有搬送工件的搬送单元；以及桌上型作业装置单元，装卸自如地配设于台架；所述作业装置的特征在于：桌上型作业装置单元具备有：保持工件的工件保持部、作业头、以及使工件保持部与作业头进行相对移动的相对移动机构；并且，能够单独地对工件保持部所保持的工件进行所需作业；以及工件保持部具有：与搬送单元连接的搬送位置、以及离开搬送单元并对工件进行所需作业的作业位置。
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公开(公告)号：CN101563764B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200780043546.3
申请日：2007-11-26
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor： 生岛和正
CPC classification number: H01L21/563 , H01L2224/73203 , H01L2924/01004 , H01L2924/01067
Abstract: 本发明提供一种装置构成的自由度高、无需进行复杂控制即可提供适当量液体材料的液体材料的填充方法及装置。本发明的液体材料的填充方法及其装置，是利用毛细管现象在衬底与其上所保持的工件的空隙填充从吐出部吐出的液体材料的方法；其特征在于包括：提供步骤，从吐出部向工件的边缘部提供液体材料；拍摄步骤，通过拍摄组件，对假定所述提供步骤中所提供的液体材料通过毛细管现象而渗出的区域的工件的边缘部的图像进行拍摄；判定步骤，根据所拍摄的图像，检测工件的边缘部是否存在液体材料，由此判定液体材料是否填充于衬底与工件的整个空隙；以及补充步骤，在判定为不良的情况，从吐出部向所述工件的边缘部提供液体材料。
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公开(公告)号：CN102458685A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201080026313.4
申请日：2010-06-11
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor： 生岛和正
CPC classification number: F04B23/02 , B05C5/0225 , B05C11/1007 , B05C11/101 , F04B15/02 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明提供一种即使为在高压下进行送液的高黏性粘性材料，也可精度良好地排出的高粘性材料的定量排出装置以及方法。该装置提供：排出单元400)、储存单元300)以及高压供应泵(100)，并定量排出高粘性材料，该排出单元为具有排出高粘性材料的排出口；该储存单元为具有储存区域、接受口及送出口，该储存区域为储存高粘性材料，该接受口为用于对该储存区域供应高粘性材料，该送出口为用于对上述排出单元送出高粘性材料；该高压供应泵为以第1压力将容器中所填充的高粘性材料供应至上述储存单元；其中，在连通上述高压供应泵(100)与上述储存单元300)的流路中，设有具备泵机构与阀机构的送液单元(200)，并利用该送液单元，通过经调整为低于上述第1压力的第2压力，将高粘性材料供应给上述储存单元。
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公开(公告)号：CN102448620A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201080023891.2
申请日：2010-06-02
Applicant: 武藏工业株式会社
Inventor： 生岛和正
CPC classification number: B05C11/1034 , B05D1/26 , H01L24/27 , H01L24/743 , H01L24/83 , H01L2224/838 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01019 , H01L2924/01033 , H01L2924/01043 , H01L2924/01082 , Y10T137/3118 , Y10T137/3127
Abstract: 本发明提供一种液体定量排出方法以及装置，与现有装置相比，能够以更高的精度进行液体材料的分配/分注。液体定量排出方法所使用的装置包括：减压阀，将由压缩气体源供应的压缩气体减压；排出阀，控制被减压阀减压的气体的通过量；液体储存容器，通过经由排出阀供应的气体的挤压，而从喷嘴将液体排出；以及缓冲罐，配置在减压阀和排出阀之间，具有比液体储存容器的容积大的容积；所述液体定量排出方法及其装置的特征在于，通过使连通所述缓冲罐与所述储存容器的流路的流动阻力大于连通所述缓冲罐与所述减压阀的流路的流动阻力，减少在所述减压阀动作时所产生的向所述液体储存容器供应压缩气体的流路的压力降低。
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