公开(公告)号：CN103022110B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201210559190.1

申请日：2012-12-20

Applicant: 清华大学

Inventor： 付军 ,  王玉东 ,  崔杰 ,  赵悦 ,  张伟 ,  刘志弘 ,  许平

IPC: H01L29/73 ,  H01L29/10 ,  H01L21/331

Abstract: 本发明公开一种金属硅化物抬升外基区全自对准双极晶体管及其制备方法，为解决现有产品及方法不能有效减小基极电阻RB的缺点而发明。本发明金属硅化物抬升外基区全自对准双极晶体管包括衬底、埋层集电区、轻掺杂外延层、集电极引出区、场区介质层、选择注入集电区、本征基区外延层、发射区-基区隔离介质区、重掺杂多晶发射区、重掺杂单晶发射区、抬升外基区、以及氧化硅隔离介质层。抬升外基区包括抬升外基区低电阻金属硅化物层、Si/SiGe/Si多晶层和重掺杂多晶硅层。本发明金属硅化物抬升外基区全自对准双极晶体管及其制备方法在保持现有技术所具有的优点的同时进一步地减小了RB，优化了器件性能。

公开(公告)号：CN102945798B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201210426177.9

申请日：2012-10-30

Applicant: 清华大学

Inventor： 严利人 ,  刘志弘 ,  张伟 ,  周卫 ,  韩冰

IPC: H01L21/268

Abstract: 本发明公开一种超薄氧化层的激光处理生长方法，为解决现有超薄氧化层生长厚度难以精确控制等问题而发明。本发明超薄氧化层的激光处理生长方法为在硅片的浅表面引入氧化剂后对该硅片进行激光照射，通过激光给能促使化学反应发生而形成超薄氧化层。氧化剂的引入方法为：将硅片放置在氧化性气氛中；或，对硅片浅表面进行低能离子注入氧元素；亦或，在硅片浅表面内低能离子注入氧元素后将该硅片放置在氧化性气氛中。本发明超薄氧化层的激光处理生长装置包括进气孔、出气孔、密封工艺腔室、载片台、激光器和透明窗口。本发明超薄氧化层的激光处理生长方法及装置结构合理，使用方便，可生成质量好的薄氧化层，适用于多种半导体器件中薄氧化层的制备。

公开(公告)号：CN103000676B

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201210535471.3

申请日：2012-12-12

Applicant: 清华大学

Inventor： 王玉东 ,  付军 ,  崔杰 ,  赵悦 ,  张伟 ,  刘志弘 ,  吴正立 ,  李高庆

IPC: H01L29/73 ,  H01L29/08 ,  H01L29/10 ,  H01L21/331

Abstract: 本发明公开一种侧向双极晶体管及其制备方法，为解决现有器件中收集区面积过大的缺陷而设计。本发明侧向双极晶体管包括发射区、本征基区、收集区、发射极介质层、外基区、基区介质层和衬底介质层。衬底介质层环绕发射区并延伸进入发射区。本征基区位于基区介质层的下方，且位于衬底介质层的上方。收集区位于衬底介质层的上方。本发明侧向双极晶体管的制备方法实现了本发明侧向双极晶体管。本发明侧向双极晶体管有效地减小了收集区的面积，降低了器件的收集区寄生电容，有助于减少辐照对于器件的影响。本发明侧向双极晶体管的制备方法工艺步骤简明，对设备等技术条件要求低，适于大规模的产线生产。

公开(公告)号：CN102956638B

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201210452249.7

申请日：2012-11-13

Applicant: 清华大学

Inventor： 严利人 ,  刘道广 ,  刘志弘 ,  张伟 ,  周卫 ,  崔杰

IPC: H01L27/082 ,  H01L29/739 ,  H01L21/8222

CPC classification number: H01L27/0823 ,  H01L29/0696 ,  H01L29/404 ,  H01L29/7395

Abstract: 本发明公开一种连体IGBT器件，为解决现有器件开关速度不够高的问题而发明。本发明连体IGBT器件包括至少漂移区互相连通的两个IGBT器件，各IGBT器件独立引出电极。连体IGBT器件也可由四个漂移区互相连通的IGBT器件组成。连体IGBT器件也可以具体实现为一承担较大电流主开关器件的IGBT器件和一起到加速主器件开关切换作用的辅助IGBT器件的两个IGBT器件相连。本发明连体IGBT器件的加工方法通过增加开槽工艺得到了本发明连体IGBT器件。本发明连体IGBT器件及其加工方法加工成本低，简单易行，利用两个IGBT器件开关速度相互促进获得工作速度进一步提高的有益效果。

公开(公告)号：CN102779739B

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201210242463.X

申请日：2012-07-12

Applicant: 清华大学 ,  上海集成电路研发中心有限公司

Inventor： 张伟 ,  严利人 ,  刘志弘 ,  许平 ,  周伟 ,  全冯溪

IPC: H01L21/265 ,  H01L21/331

Abstract: 本发明公开一种功率半导体器件背面制造工艺，为解决现有工艺中杂质激活率低等问题而设计。本发明功率半导体器件背面制造工艺至少包括下述步骤：将正面结构加工完毕的硅片减薄；在硅片背面进行晶格预损伤处理；离子注入掺杂；在550℃以下进行杂质推进处理；用激光退火完成晶格修复处理。晶格预损伤处理的方法为：在硅片的背面进行离子注入，注入浓度在1015至1016之间。用于晶格预损伤处理的离子注入的离子为硅离子、锗离子或氢离子。本发明功率半导体器件背面制造工艺利用离子注入损伤产生的增强扩散效应，通过离子注入晶格预损伤处理、低温推进和激光退火的结合，达到离子注入杂质的有效推进和激活，适用于多种功率器件的生产制造。

公开(公告)号：CN104494564A

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201410800655.7

申请日：2014-12-22

Applicant: 清华大学苏州汽车研究院(吴江)

Inventor： 张伟 ,  赵君兰 ,  陈睐 ,  童小鸣

IPC: B60R25/25

CPC classification number: B60R25/045 ,  B60R25/102 ,  B60R25/104 ,  B60R25/25 ,  B60R2325/10 ,  B60R2325/205

Abstract: 本发明公开了一种基于人脸识别的车辆防盗系统，通过人脸检测终端与移动设备相连的远程信息传输技术、活体检测技术等，不仅可以实现通过人脸识别进行车辆防盗的功能，而且可完成数据库自动添加、远程自动预警、盗贼照片取证等操作，防治照片欺骗行为，提升了车辆防盗技术的研发水平与人脸识别技术的应用能力。

公开(公告)号：CN103779195A

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN201410043683.9

申请日：2014-01-29

Applicant: 上海集成电路研发中心有限公司 ,  清华大学

Inventor： 周伟 ,  张伟 ,  严利人 ,  刘志弘 ,  韩冰 ,  王全

IPC: H01L21/268 ,  B23K26/00 ,  B23K26/08 ,  B23K26/04 ,  B23K26/70

CPC classification number: H01L21/268 ,  H01L21/67115

Abstract: 本发明涉及一种激光退火方法，用于以激光对晶圆进行退火工艺，其包括如下步骤：将晶圆置于工件台上，以激光束经由一激光匀化整形器投射于晶圆表面形成线形激光束斑；其中，工件台具有垂直及水平方向运动导轨；使线形激光束斑与晶圆表面第一切割道方向形成一夹角，以使线形激光束斑的两个端部分别位于晶圆表面的切割道内；使线形激光束斑相对于晶圆沿第一切割道方向或沿第二切割道方向运动，匀速扫描晶圆表面以对晶圆进行退火工艺。其仅通过简单的机械结构实现，利于实现对晶圆的均匀退火。

公开(公告)号：CN103745192A

公开(公告)日：2014-04-23

申请号：CN201310624554.4

申请日：2013-11-27

Applicant: 苏州清研微视电子科技有限公司 ,  清华大学苏州汽车研究院(吴江)

Inventor： 张伟 ,  成波

IPC: G06K9/00 ,  G06K9/62

Abstract: 本发明公开了一种计算机基于层叠式主成分分析法智能识别视频中人眼状态的方法，包括以下步骤：（1）采集人眼训练图像，对人眼训练图像进行主成分分析，获得特征眼子空间和系数子空间；（2）将视频中每幅待测人眼图像投影到特征眼子空间和系数子空间中得到另一组新系数向量；取出所有新系数向量的第一个值作为系数值；以视频中的帧数为x轴，相应帧人眼图像对应的系数值为Y轴构建一条帧数-系数值的原始数据曲线；（3）获得一条与原始数据曲线相对应的基准曲线以及差值曲线；（4）将差值曲线上的差值与预设的系数阈值作比较；判断视频中人眼状态。该方法具有很强的自适应性，能够有效克服不同人眼睛的差别带来的影响。

公开(公告)号：CN103714698A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201310731444.8

申请日：2013-12-26

Applicant: 苏州清研微视电子科技有限公司 ,  清华大学苏州汽车研究院(吴江)

Inventor： 张伟 ,  成波

IPC: G08G1/04

Abstract: 本发明公开了一种基于距离图像的公交车辆客流量统计系统，包括图像采集装置、图像处理装置、定位服务装置、数据传输装置和远程数据管理装置，其特征在于所述图像采集装置设置在每辆公交车前门和后门处，至少包括1个距离图像传感器和2个红外摄像头，用于实时获取上下公交车辆的乘客距离图像，并将采集的乘客距离图像传输给图像处理装置；所述位置定位装置用户获取公交车辆的实时位置信息，并将实时位置信息发送给图像处理装置；所述图像处理装置用于根据乘客距离图像获取公交车辆实时的客流量数据，并将公交车辆实时的客流量数据和公交车辆实时位置信息通过数据传输模块传输给远程数据管理装置；所述远程数据管理装置用于接收公交车辆发送的客流量数据信息，按不同需求生成统计信息。该系统应用在公共交通方面，提高公共交通的运营管理的效率。

公开(公告)号：CN103714604A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201310731619.5

申请日：2013-12-26

Applicant: 苏州清研微视电子科技有限公司 ,  清华大学苏州汽车研究院(吴江)

Inventor： 张伟 ,  成波

IPC: G07C9/00

Abstract: 本发明公开了一种基于超声波传感器的公交车客流统计系统，其特征在于所述系统包括超声波传感器模块、数据处理模块和GPS定位模块，所述超声波传感器模块，用于探测公交车进门和出门处物体的数据信号，并将采集到的数据信号传输给数据处理模块；所述GPS定位模块用于实时获取公交车的位置信息，并将公交车的位置信息发送给数据处理模块；所述数据处理模块根据超声波传感器模块提供的数据信号进行处理分析，获取公交车在指定时间、指定位置进出公交车的上下车人数。该系统采用超声波传感器的原理来实现客流数据的采集，提高客流数据统计的精确性和鲁棒性，为公交车的运营分析理念、客流规划、调度、管理技术提供切实可行的解决方案。