光敏树脂组合物及由其制备的有机绝缘膜

    公开(公告)号:CN101206403B

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN200710300668.8

    申请日:2007-12-19

    CPC classification number: G03F7/0397

    Abstract: 提供了一种光敏树脂组合物。该组合物含有丙烯酸共聚物、光致酸产生剂和溶剂。丙烯酸共聚物含有在说明书中描述的式1、2、3和4表示的结构单元。该组合物在机械和热性能、透光率、绝缘性能、透明性、可显影性、残膜率、耐热性、平坦度等方面显示出优异的性能特征。具体地,该组合物的使用促进了形成作为层间绝缘膜的图案。该组合物还可用来制备具有高透光率的厚膜。因此,该组合物有效地用作LCD生产过程中层间绝缘层的材料。还提供了使用该组合物制备的有机绝缘膜。

    抛光组合物
    39.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1131288C

    公开(公告)日:2003-12-17

    申请号:CN99111114.1

    申请日:1999-07-23

    Abstract: 本发明涉及包含30-99wt%的去离子水、0.1-50wt%的金属氧化物粉末和0.01-20wt%的环胺的抛光组合物。该抛光组合物可用于制备集成电路用的薄膜进行化学机械抛光,并具有抛光后在薄膜上留下的微小划痕减至最少的效果。因此它可应用于高度集成电路如浅槽隔离的制备工艺。

    适用于半导体化学机械抛光的金属氧化物浆料的制备方法

    公开(公告)号:CN1113945C

    公开(公告)日:2003-07-09

    申请号:CN99800657.2

    申请日:1999-03-19

    CPC classification number: C09G1/02 C09K3/1463

    Abstract: 本发明公开了一种适用于半导体器件的金属氧化物CMP浆料的制备方法,其中将含有1~50重%的金属氧化物和50~99重%的水的混合物在一个预混合罐中进行混合,借助于一个传输泵通过用高压泵加压以使流动速度不低于100米/秒,将混合物传输至一个分散室中,并在分散室中通过两个孔口进行反方向碰撞分散。本发明的浆料的颗粒具有更窄的颗粒分布,并且显示出30~500纳米的超细颗粒大小。此外,本发明的浆料在其制备的全过程中几乎没有或根本没有污染,并且不表现出尾料现象,从而避免了μ-划痕。因此本发明的浆料可用于通过CMP工艺使浅沟隔离、层间绝缘和中间金属绝缘的平面化。

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