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公开(公告)号：CN103363973B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201310089719.2
申请日：2013-03-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供振动片及其制造方法、陀螺仪传感器、电子设备及移动体，能够在不降低输出信号的强度的情况下提高输出信号的S/N比。振动片(15)具备检测用振动臂（26a、26b）。在检测用振动臂(26a、26b)上设置有电极(41a、41b)。与电极(41a、41b)连接着布线(45a、45b)。布线(45a、45b)配置在基部(25)的压电体上。布线(45a、45b)的至少一部分是调整用电极(54a、54b)。调整用电极(54a、54b)生成与检测用振动臂(26a)的泄漏振动的输出信号相反相位的电信号。
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公开(公告)号：CN103363974B
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201310094984.X
申请日：2013-03-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5607 , G01C19/5621 , H01L41/08 , H01L41/0825 , H01L41/094 , H01L41/1132 , H01L41/1136
Abstract: 本发明提供振动片、陀螺仪传感器、电子设备和移动体。作为课题，如果仅通过1对悬臂来支撑基部，则无法最大限度地引起第2振动臂的运动。驱动系统的布线和检测系统的布线混合安装在1对悬臂上，振动片的噪声特性和温度特性劣化。作为解决手段，第1振动臂（26a、26b）从基部（25）起沿着第1方向（D1）延伸。第2振动臂（27a、27b）从基部（25）起沿着第2方向（D2）延伸。第1悬臂（32a、32b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第1连接部（34）连接。第2悬臂（33a、33b）从固定部（19）起延伸，并与基部（25）的第2连接部（37）连接。
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公开(公告)号：CN103575261B
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201310308770.8
申请日：2013-07-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5621 , G01C19/5628
CPC classification number: G01C19/5607 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , G01P9/04 , Y10T29/49 , Y10T74/12
Abstract: 本发明提供一种振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体，其能够防止由相互向相反方向延伸的驱动振动臂的锤层的大小或质量的不同而引起的温度漂移。振动片具备：一对第一以及第二驱动振动臂（441、442），其从基部（41）起相互向相反方向延伸；第一锤部（12a、12b），其以从第一以及第二驱动振动臂中的至少一方的顶端向基部侧隔开间隔的方式，而被设置在至少一个驱动振动臂的第一区域内；第二锤部（11a、11b），其被设置在第一锤部的顶端与至少一个驱动振动臂的顶端之间的区域即第二区域内，在将第一区域的面积设为A1，将第一锤部的质量设为B1，并将第二区域的面积设为A2，将第二锤部的质量设为B2时，B1/A1＞B2/A2。
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公开(公告)号：CN107046410A
公开(公告)日：2017-08-15
申请号：CN201611226911.1
申请日：2016-12-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 菊池尊行
CPC classification number: H03B5/32 , H03B2200/0018 , H03B2200/0022 , H03H3/02 , H03H9/02157 , H03H9/0547 , H03H9/10 , H03H9/1021 , H03H9/13 , H03H9/19 , H03L1/028 , H03H9/132
Abstract: 提供振动片及其制造方法、振荡器、电子设备、移动体及基站，该振动片能够减少基于副振动的振荡。振动片具有：具有厚度t的SC切石英基板；以及激励电极，其配置于石英基板的主面，主面为方形或者矩形，当设主面的一边的长度为L时，满足28≤L/t≤60的关系。
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公开(公告)号：CN104880180A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510237883.2
申请日：2011-11-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: H01L41/253 , G01C19/5607 , H01L41/0475 , H01L41/09 , H01L41/107 , H03H9/21 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供振动片、传感器单元及其制造方法、电子设备。振动陀螺元件(11)具有基部(21)、以及从基部(21)的Y轴方向的两端部起分别延伸的一对驱动用振动臂(22a、22b)和一对检测用振动臂(23a、23b)。并且，从由基部(21)的X轴方向的两端部起分别延伸的连接臂(24a、24b)各自的末端部起，设有与驱动用振动臂(22a、22b)并行延伸的调节用振动臂(125a、125b)。在各调节用振动臂(125a、125b)的末端侧具有作为加宽部的施重部(127a、127b)。在各调节用振动臂(125a、125b)的主面设有用于对振动陀螺元件(11)的泄漏输出进行调节的作为膜体的调节用电极(145a、145b)。
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公开(公告)号：CN103575261A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310308770.8
申请日：2013-07-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5607 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , G01P9/04 , Y10T29/49 , Y10T74/12
Abstract: 本发明提供一种振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体，其能够防止由相互向相反方向延伸的驱动振动臂的锤层的大小或质量的不同而引起的温度漂移。振动片具备：一对第一以及第二驱动振动臂（441、442），其从基部（41）起相互向相反方向延伸；第一锤部（12a、12b），其以从第一以及第二驱动振动臂中的至少一方的顶端向基部侧隔开间隔的方式，而被设置在至少一个驱动振动臂的第一区域内；第二锤部（11a、11b），其被设置在第一锤部的顶端与至少一个驱动振动臂的顶端之间的区域即第二区域内，在将第一区域的面积设为A1，将第一锤部的质量设为B1，并将第二区域的面积设为A2，将第二锤部的质量设为B2时，B1/A1＞B2/A2。
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公开(公告)号：CN102457264A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201110255619.3
申请日：2011-08-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03K19/0175 , G01C19/5642
CPC classification number: H03F3/45179 , H03F1/26 , H03F3/08 , H03F3/45475 , H03F2200/261 , H03F2200/408 , H03F2200/411 , H03F2203/45528 , H03F2203/45594
Abstract: 信号电平转换电路、物理量检测装置以及电子设备。本发明提供可转换第1输入信号的信号电平而不会放大叠加在第2输入信号中的噪声的信号电平转换电路、使用该信号电平转换电路的物理量检测装置以及电子设备。信号电平转换电路(1)包括：第1差动放大电路(10)和第2差动放大电路(20)。第1差动放大电路(10)将第1输入信号与第2输入信号间的电位差变为G1倍并输出。第2差动放大电路(20)将第1差动放大电路(10)的输出信号与第2输入信号间的电位差变为G2倍并输出。这两个增益G1和G2满足G1×G2＜0且0＜-(G1+1)×G2＜2的关系。
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公开(公告)号：CN1746623B
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200510104015.3
申请日：2005-09-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C19/5628 , G01C19/5621
Abstract: 提供了一种用于支撑振动器1的结构。该结构包括基板12以及固定在基板12并与振动器1相连的连接线14A、14B。振动器1用连接线支撑，使得振动器1不直接接触基板12。“fd”和“fw”满足以下公式(1)。“fd”表示振动器的驱动振动模式的谐振频率，而“fw”表示在室温下连接线的振动模式的特征频率。(fd/2)×1.05≤fw，或者，(fd/2)×0.95 ……(1)
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公开(公告)号：CN111745633B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202010223324.7
申请日：2020-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 菊池尊行
Abstract: 提供能够实现小型化的水平多关节机器人及机器人系统。水平多关节机器人，其特征在于，具备：基座；第一臂，与所述基座连接并绕第一轴转动；第二臂，与所述第一臂连接并绕与所述第一轴平行的第二轴转动；第三臂，与所述第二臂连接并绕与所述第一轴平行的第三轴转动，且沿所述第三轴移动；电机，设置于所述第二臂并驱动所述第三臂；以及力检测部，设置在所述电机与所述第二臂之间，并检测由所述电机的驱动引起的反作用力。
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公开(公告)号：CN115213925A
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202210403404.X
申请日：2022-04-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供具有优异的检测精度的力检测装置及机器人系统。力检测装置具有第一力传感器和第二力传感器、第一惯性传感器以及第二惯性传感器，所述第一力传感器和所述第二力传感器具备具有力检测轴的力检测元件，所述第一惯性传感器配置在所述第一力传感器的附近，所述第一惯性传感器的惯性检测轴沿着所述第一力传感器的所述力检测轴，所述第二惯性传感器配置在所述第二力传感器的附近，所述第二惯性传感器的惯性检测轴沿着所述第二力传感器的所述力检测轴。
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