公开(公告)号：KR1020050104845A

公开(公告)日：2005-11-03

申请号：KR1020040030265

申请日：2004-04-29

Applicant: 강원대학교산학협력단 ,  전병희

Inventor： 김병희 ,  김헌영 ,  전병희 ,  전성건 ,  남권선

IPC: B24B1/04

CPC classification number: B24B1/04 ,  B24B55/06

Abstract: 본 발명은 초음파 가공기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가공물에 대한 미세 가공, 예를 들면 수십에서 수백 마이크로 가공이 가능한 마이크로 초음파 가공기에 관한 것이다.
본 발명에 따른 마이크로 초음파 가공기는 X·Y축으로 이송되는 이송 테이블과, 초음파가 방출되는 공구가 포함된 혼이 장착되어 있는 Z축 이송부, 및 각 축으로의 이송과 초음파 발생을 제어하는 컨트롤러를 포함하는 마이크로 초음파 가공기에 있어서, 상기 이송 테이블의 양측에는, 초음파 가공 시 화학 물질이 첨가된 슬러리 및 가공물과 공구 간의 초음파 충돌에 의해 발생되는 미세 입자 및 유해 가스를 외부로 배기하는 후드가 더 구비됨을 특징으로 한다.