公开(公告)号：KR1019960018646A

公开(公告)日：1996-06-17

申请号：KR1019940029763

申请日：1994-11-14

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: G02F1/015

CPC classification number: B81C1/00214 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/042 ,  B81C1/00174 ,  B81C2201/0109 ,  G02B26/0858 ,  H04N9/30

Abstract: 본발명은광로조절장치의제조방법에관한것으로, 액티브매트릭스기판(50)상에희생층(62)을형성하고, 그희생층에서상기액티브매트릭스기판상의신호전극패드(42) 부분에대응하는상기희생층의부분을제거한다음전체면상에하부전극(52)을적층하며, 상기전체면상에변형재료로서의압전재료를사용하는제1변형부(54)를적층하고, 상기신호전극패드(42) 부분상에서상기압전재료와하부전극및 상기매트릭스기판(50)을제거하여상기신호전극패드를노츨시키며, 상기노출된신호전극패드(42)와전기적으로접속되도록금속제의중간전극(56)을형성하고, 그중간전극상에상기제1변형부와동일한재료의제2변형부(58)를형성하며, 그제2변형부(58)상에상기하부전극과전기적으로접속되면서반사막으로작용하는상부전극(60)을형성하고, 화소간분리를위한화소패더닝공정을행하여상기희생층(62)을제거하는단계에의해상기제1변형부와제2변형부는 ZnO로형성됨과더블어상기중간전국(56)은상기신호전극패드(42)와접속된신호전극으로작용하는광로조절장치를제조함으로써고온의열처리공정을배제한것이다.

Abstract translation: 涉及在本发明的银矿制造的控制装置，在有源矩阵基板50上，以形成牺牲层62，在所述牺牲层的有源矩阵基板上的相应信号电极垫42部分的方法， 和下部电极52层压到下一个整表面，以去除在整个表面上使用压电材料作为可变形材料的牺牲层，信号电极垫42被层压到第一修正部54，及部分的部分 上sikimyeo去除压电材料和下部电极和矩阵基板50 nocheul信号电极垫，以及形成在信号电极垫42露出的误传术语中间电极56，以进行连接到金属的， 形成第一修改单元的与中间电极相同的材料，并且，前天第二变形部58与上部电极（60用作反射膜的第二变形部58连接到下电极和所述电相位 ）它被形成，并进行像素大号deoning处理像素之间的间隔 这通过去除62 deobeuleo充当连接到该组牺牲层中间的国家56 eunsanggi信号电极垫42的信号电极和所述第一变换单元的ZnO和第二变换单元的形成光路控制 通过使该装置以排除高温的热处理。

公开(公告)号：KR1019950033612A

公开(公告)日：1995-12-26

申请号：KR1019940009768

申请日：1994-05-04

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 광로조절장치(100)의 제조방법에 관한 것으로, 패터닝(patterning)이 되어 있는 유리 또는 실리콘 웨이퍼 재질의 패턴기판(800)상에 염화계열의 분리층(700)을 형성하는 공정과, 분리층(700)상에 반사특성이 양호하고 전도성의 금속재질을 도포하여 거울(600)을 형성하는 공정과, 거울(600)상에 전왜 세라믹 또는 압전 세라믹의 재질을 도포하여 변형부(560)을 형성하는 공정과, 변형부(560)상에 전도성의 금속 재질로 이루어진 멤브레인(520)을 형성하는 공정과, 유리 또는 실리콘의 반도체 재질로 이루어지며 다수의 트랜지스터들이 매트릭스(matrix)형태로 내장하는 구동기판(100)상에 전도성의 금속재질을 접합하여 지지부(300)를 형성하는 공정과, 지지부(300)와 멤브레인(520)을 저융점 금속을 이용한 융착법으로 접합하는 공정과, 분리층(700)을 용제를 사용하 제거하는 공정을 수행함으로써, 제조공정이 용이하다.
그러므로, 간단하고 안정된 공정을 이용하여 양산성이 있고 신뢰성이 높은 광로조절장치를 구현할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019950023533A

公开(公告)日：1995-08-18

申请号：KR1019940000803

申请日：1994-01-18

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 제조공정을 용이하게 하며 광효율을 높게 하기에 적합한 투사형 화상표시장치의 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로, 특히, 보강대(140)을 형성시킴으로써 거울(110)의 휨을 방지하고 또한 거울(110)의 반사면을 편평하게 구동시킬 수 있어 더욱 광효율을 높일 수 있는 개선된 광로조절장치의 제조방법에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR1019950016307A

公开(公告)日：1995-06-17

申请号：KR1019930025876

申请日：1993-11-30

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: H04N5/74

Abstract: 본 발명은 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 구동기판 상부의 소정부분에 희생막을, 나머지 부분에 접촉단자들을 덮도록 지지부들을 각기 형성한 후 상기 접촉단자들이 노출되도록 지지부들에 홈들을 파고 플러그를 형성한다. 그리고, 상술한 구조의 전표면에 신호전극, 변형부, 바이어스전극 및 포토레지스트를 도포하고, 상기 포토레지스트를 노광 및 형상한 후 이 포토레지스트를 마스크로 이용하여 바이어스 전극, 변형부, 신호전극 및 희생막을 순차적으로 제거하여 구동 기판의 소정부분을 노출시키며, 거울의 몸체들을 이격되게 형성하고 이 거울의 몸체의 표면에 거울면들을 형성한다. 따라서 변형부를 박막 공정으로 형성하므로 구동기판에 실장할 때 손상을 방지하며 별도의 정렬을 필요로 하지 않아 쉽게 형성할 수 있으며, 또한 변형부를 압전 세라믹으로 형성하여도 박막을 이루므로 분극공정을 필요로 하지 않으며, 액츄에이터들을 분리하므로 구동시 상호간섭을 줄일 수 있다.

公开(公告)号：KR1019950016304A

公开(公告)日：1995-06-17

申请号：KR1019930024395

申请日：1993-11-16

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: H04N5/74

Abstract: 본 발명은 광 효율을 높이기에 적합한 투사형 화상 표시 장치의 광로 조절 장치 제조 방법에 관한 것으로, 종래에는 장 시간 구동시, 거울을 지지하는 지지부가 열화되므로써 거울의 동작이 함께 불량하게 되므로 광효율이 저하하며 회질이 저하했고, 각 액츄에이터를 구성하는 각 픽셀이 완전히 분리되지 않기때문에 각 픽셀은 전기적으로 서로 간섭하였으나, 본 발명에서는 거울(27)이 금속으로 이루어졌기 때문에 바이어스 전극(25)을 구동 기판(20)에서 공통으로 접지시킬 수 있으므로써 각 픽셀을 완전히 분리할 수 있으므로 각 픽셀은 서로 간섭하지 않기 때문에 화질이 개선되며, 박막형성 등 반도체 공정을 이용함으로 대량생산에 유리하다.

公开(公告)号：KR1019950016299A

公开(公告)日：1995-06-17

申请号：KR1019930023728

申请日：1993-11-09

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 채송 ,  민용기

IPC: H04N5/74

Abstract: 본 발명은 제조 공정을 용이하게 하기에 적합한 투사형 화상 표시 장치의 광로 조정 장치 제조 방법에 관한 것으로, 종래에는 웨이퍼를 얇게 폴리싱하기가 어려우며, 신호 전극 하부에 구동 기판을 접속하기가 난해하고 구동 시간이 길어짐에 따라 지지부가 열화될 경우, 그 지지부 상부의 거울에 금이 생겨 화질이 저하하였으나, 본 발명에서는 바이어스 전극(26)이 거울을 형성하는 금속(28)에 접속되어 있으므로써 구동 기판(20)내에서 바이어스 전극(26)을 공통으로 접지시킬 수 있으므로 각 구동 기판(20)위의 액츄에이터를 완전히 분리할 수 있으며, 구동 기판(20) 위에 광로 조절 장치를 차례로 제조하므로써 구동 기판(20)을 접속할 필요가 없으므로 광로 조절 장치의 제조가 용이해져 상기 결점을 개선 시킬 수 있는 것이다.

公开(公告)号：KR1019940022131A

公开(公告)日：1994-10-20

申请号：KR1019930004519

申请日：1993-03-23

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: G02F1/13

Abstract: 본 발명은 투사형화상표시장치용 거울의 제조방법에 관한 것으로, 유리기판상에 분리층과 거울의 크기로 한정된 금속층을 형성하고 접착층을 형성한 후 액츄에이터를 접착시키며, 분리층을 제거하여 기판을 분리시킨 다음 금속층들 사이의 접착층을 제거하여 거울을 만든다, 따라서, 접착층에 의해 거울의 두께를 조절할 수 있어 이용되는 하나의 금속층을 형성하므로 제조가 간단하며, 또한, 분리층과 금속층상의 전표면에 접착층을 형성한 후 액츄에이터 상부들을 동시에 부착하므로 접착이 쉽다.

公开(公告)号：KR100251106B1

公开(公告)日：2000-05-01

申请号：KR1019960064440

申请日：1996-12-11

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: G02F1/015

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a thin film type light path controller is provided to preserve a reflection angle of a light incident from a light source consistently by forming a mirror having a flat surface. CONSTITUTION: The second sacrifice layer(165) is formed to make a deposition of a mirror easy and to improve a horizontal degree of the mirror after the first air gap is formed. The second sacrifice layer(165) is formed with a photoresist through a spin coating method and is coated with a specific thickness based on an upper electrode(145). The first air gap is filled with the second sacrifice layer(165) and a flat surface is formed.

Abstract translation: 目的：提供一种制造薄膜型光路控制器的方法，通过形成具有平坦表面的反射镜来一致地保持从光源入射的光的反射角度。 构成：第二牺牲层（165）形成为使得反射镜的沉积容易，并且在形成第一气隙之后改善反射镜的水平度。 第二牺牲层（165）通过旋涂方法由光致抗蚀剂形成，并且基于上电极（145）涂覆特定厚度。 第一气隙填充有第二牺牲层（165），并且形成平坦表面。

公开(公告)号：KR100229781B1

公开(公告)日：1999-11-15

申请号：KR1019940014154

申请日：1994-06-22

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명은 광로조절장치의 제조방법에 관한 것으로서, 기판의 상부에 분리막을 형성하는 공정과, 상기 분리막의 상부에 반사막, 변형부, 신호전극, 멤브레인, 회생막을 형성하는 공정과, 상기 희생막의 일부분을 제거하고, 상기 희생막이 제거된 부분에 지지부를 형성하는 공정과, 상기 신호전극의 일부가 노출되도록 상기 지지부와 멤브레인을 관통하는 개구를 형성하고, 상기 개구를 통해서 노출되는 신호전극과 접촉되도록 플러그를 형성하는 공정과, 상기 플러그가 구동기판에 형성된 패드와 접촉되도록 상기 구동기판의 상부와 상기 희생막의 표면을 부착하는 공정과, 상기 분리막을 제거하여 기판을 반사막으로 부터 분리하는 공정과, 상기 반사막으로부터 상기 멤브레인의 일측단을 상기 희생막이 노출되도록 제거하여 화소 단위로 분리하는 공� �과, 상기 희생막을 제거하는 공정을 포함하여 이루어지는 박막형 광로 조절 장치를 제공함으로써, 고온 공정이 수반되는 액츄에이터를 구동 기판과 별도로 형성함으로써, 구동기판(51)에 구비된 트랜지스터가 고온공정에 의해서 열화되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100209403B1

公开(公告)日：1999-07-15

申请号：KR1019940004523

申请日：1994-03-09

Applicant: 대우전자주식회사

Inventor： 민용기

IPC: G02F1/015

Abstract: 본 발명에 따른 광로조절장치는 트랜지스터가 매트릭스 형태로 내장되고 표면에 각각의 트랜지스터에 전기적으로 연결된 접속단자를 2 개씩 갖는 구동기판과, 상기 구동기판에 상기 접속단자를 각각 에워싸도록 분리되어 형성된 지지부와, 상기 지지부와 일단이 접촉되고 타단은 상기 구동기판과 소정 간격 이격된 제1멤브레인과, 상기 지지부와 제1멤브레인을 관통하여 상기 접속단자와 전기적으로 연결된 플러그와, 상기 제1멤브레인의 상부 전면에 형성되며, 상기 플러그와 전기적 접속을 이루는 신호전극과, 상기 신호전극의 상부 전면에 형성된 변형부와, 상기 변형부의 상부중에서 상기 지지부의 상측부분에 형성된 바이어스 전극, 상기 변형부의 상부중에서 상기 바이어스 전극이 형성되지 않은 부분에 형성된 제2멤브레인과, 상기 제2멤브레인의 상부에 형성된 반사막으로 이루어진 액츄에이터를 구비한다. 따라서, 액츄에이터가 구동될 때 구동기판과 이격된 자유단부가 펄럭이는 것이 방지되므로 화상신호에 따라 반사막의 기울기를 정확하게 조절할 수 있어 광특성을 향상시킬 수 있다.