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公开(公告)号：KR1020150050770A
公开(公告)日：2015-05-11
申请号：KR1020130131480
申请日：2013-10-31
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B01F5/00 , B01J19/00 , G01N37/00 , H01L21/027
Abstract: 본원발명에서는다층미세구조의제조방법으로상부미세구조를제조하는단계, 하부미세구조를제조하는단계, 상기하부미세구조상에상기상부미세구조를부착하는단계, 상기부착된상부미세구조와하부미세구조를관통하는제 1 홀(Hole)을형성하여다층미세구조틀을형성하는단계, 상기다층미세구조틀 상부에제 1 기판을부착하는단계, 상기제 1 기판상에상기상부미세구조형상의오목부분과관통되도록제 2 홀(Hole)을형성하는단계및 상기제 2 홀(Hole)이형성된다층미세구조틀의하부에제 2 기판을부착하는단계를포함한다. 또한, 본원발명의다층미세구조제조방법에의해제조된다층구조는미세형상으로제조하는것이가능하며, 하나의기판을사이에두고두 개이상의미세구조를붙이는적층과정을통해기본다층구조를형성하며, 형성된미세구조에유체가이동할수 있는홀(Hole)을형성하여복층미세구조에유체가자유롭게이동하는것을가능하게한다. 이러한다층미세구조는유연한표면의재질에의부착성을향상시켰다. 또한, 두번의단계를거쳐상기미세구조를경화시키는단계를적용함으로써직물등의흡수성이있는표면에도적용이용이하다.
Abstract translation: 根据本发明，包括多层结构的精细结构的制造方法包括以下步骤：制造精细结构的上部; 制造精细结构的下部; 将精细结构的上部附着在精细结构的下部; 形成多层细微结构框架，由此形成穿过安装的上部和下部精细结构的第一孔; 将所述第一基板安装在所述多层结构框架的上部; 形成第二孔，其中穿过第一基板上的上部微细结构形状的凹部; 将第二基板附接到形成有第二孔的多层细微结构的下部。 此外，通过本发明的多层微细结构的制造方法制造的多层结构可以制造成精细的形状，其中基本的多层结构通过沉积工艺形成，其中两个或更多个精细结构 安装在放置在中间的基板中的一个上，从而形成流体可以在所形成的精细结构中移动的孔，使得流体可以自由移动通过多层结构。 这种多层细微结构改善了柔性表面材料上的粘附特性。 此外，施加通过两个步骤硬化精细结构的步骤，从而可以容易地应用具有诸如织物等吸收剂的表面。
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公开(公告)号：KR1020130102902A
公开(公告)日：2013-09-23
申请号：KR1020120024094
申请日：2012-03-08
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L31/042 , H01L31/0236 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521 , H01L31/042 , H01L31/0224 , H01L31/0236 , H01L31/18
Abstract: PURPOSE: A solar cell and a method for fabricating the same are provided to obtain a large-sized substrate by maintaining a plasmon formation distance. CONSTITUTION: A first conductive electrode includes a concave-convex part. Nanoparticles are in contact with the first conductive electrode. A photoactive layer (140) covers the nanoparticles. An anti-reflective coating (150) is formed on the photoactive layer. A second conductive electrode (160) is formed on the anti-reflective coating.
Abstract translation: 目的：提供一种太阳能电池及其制造方法，以通过维持等离子体激元的形成距离来获得大尺寸的基板。 构成：第一导电电极包括凹凸部。 纳米颗粒与第一导电电极接触。 光敏层（140）覆盖纳米颗粒。 在光敏层上形成抗反射涂层（150）。 在抗反射涂层上形成第二导电电极（160）。
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公开(公告)号：KR1020090092412A
公开(公告)日：2009-09-01
申请号：KR1020080017645
申请日：2008-02-27
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: G03F7/70091 , H01L21/0274
Abstract: An apparatus of exposure, a method of exposure and a fabrication method of a pattern thereof are provided to form a polymer mold of various uniform patterns by using a rotating stage which is inclined by a certain degree. In an apparatus of exposure, a method of exposure and a fabrication method of a pattern thereof, a transport unit(100) transfers a substrate arranged with a mask to a stage(310). An inclination adjuster(200) controls the angle of inclination of the stage in which mask and substrate are transferred. A rotating unit(300) rotates the stage where the angle of inclination is controlled. An illuminating unit(400) radiates a light to a mask and a substrate which is rotated.
Abstract translation: 提供曝光装置，曝光方法及其图案的制造方法，通过使用倾斜一定程度的旋转台来形成各种均匀图案的聚合物模具。 在曝光装置，曝光方法及其图案的制造方法中，传送单元（100）将布置有掩模的基板传送到台（310）。 倾斜调节器（200）控制掩模和基底传送的台阶的倾斜角度。 旋转单元（300）旋转倾斜角度被控制的台。 照明单元（400）将光照射到旋转的掩模和基板。
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公开(公告)号：KR102242980B1
公开(公告)日：2021-04-21
申请号：KR1020190139762
申请日：2019-11-04
Abstract: 본발명의일 실시예에따른나노구조체가제공된다. 나노구조체는표면, 및상기표면으로부터돌출된복수의나노필러들을포함하는나노구조체층; 및상기나노구조체층상에형성된이온성고분자로이루어진기능층을포함한다.
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公开(公告)号：KR1020210001479A
公开(公告)日：2021-01-06
申请号：KR1020190077640
申请日：2019-06-28
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명의실시예에따른미세유체장치제조용사출성형장치는일면에유체가흐르는유로가형성되고, 타면에상기유로와연통되어상기유로를통해흐르는유체를안내하여액적형태로낙하시키도록구성되는노즐부가형성되는미세액적생성장치등과같이표면에미세패턴이형성되는미세유체장치를제조하기위해사용되는미세유체장치제조용사출성형장치로서, 내측에적어도하나의채널을구비하는스탬프가설치되어, 사출시 사출물의일면에상기유로를형성하는제1 금형; 상기제1 금형에대향배치되고, 내측에사출시 상기사출물의타면에상기노즐부를형성하는사출홈이형성되는제2 금형; 및상기제1 금형의평면상에서상기스탬프의위치를 X축방향및 Y축방향으로조정가능한정렬부;를포함한다. 본발명의실시예에따르면, 스탬프가금형에설치된경우, 금형에충격을가하거나, 스탬프를재설치하지않고, 스탬프의외면을가압하여스탬프를 X축방향및 Y축방향으로미세하게이동시켜스탬프의위치를조정함으로써, 스탬프를정확한설정위치에배치시킬수 있음은물론, 작업시간을단축시킬수 있고, 금형의변형및 파손을예방할수 있다.
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