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公开(公告)号:KR101766854B1
公开(公告)日:2017-08-23
申请号:KR1020150169103
申请日:2015-11-30
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
Inventor: 박순홍
IPC: H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/268
Abstract: 레이저를이용하여금속증착장비내부에묻은오염물질을보다효과적으로제거할수 있도록, 금속증착공정장치의공정챔버내부에형성된금속또는금속반응생성물을포함하는오염물질을제거하기위한장비내부세정장치로, 오염물질이묻은공정챔버내면에국부적으로피코초이하의초단펄스를가지는레이저를조사하는레이저조사부를포함하여상기레이저조사부로부터조사되는레이저를통해공정챔버내부표면에초단펄스의피크에너지를가해오염물질을세정하는구조이고, 상기레이저조사부는상기공정챔버내부에배치되어인라인상태에서상기공정챔버내부에부착된오염물질을세정하는구조의장비내부세정장치를제공한다.
Abstract translation: 为了更有效地利用激光以除去金属气相沉积装置内的附着的污染物,以清洁装置内的设备去除污染物包括形成在所述金属蒸加工设备的处理腔室中的金属或金属的反应产物,污染 材料到处理室的内表面染色的包括本地皮秒或具有通过激光从激光照射部照射的超短脉冲部分的激光束的更小的激光照射施加到峰值能量的超短脉冲到工艺腔室的污染的内表面 并且激光照射单元设置在处理室内部,以在线状态清洁附着在处理室内部的污染物。
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公开(公告)号:KR101766856B1
公开(公告)日:2017-08-09
申请号:KR1020150148148
申请日:2015-10-23
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
Abstract: 몰드의형태에관계없이균일한코팅층을형성할수 있도록, 레이저를이용하여코팅용분말을용융냉각시켜용사코팅층을형성하는단계를포함하는연주설비의몰드코팅방법으로, 상기몰드는주편과접하는표면이평면과평면에대한돌출된경사면을형성하고, 상기용사코팅층형성단계는몰드의평면에용사코팅층을형성하는단계와, 몰드의경사면에용사코팅층을형성하는단계, 몰드의평면과경사면의연결부를따라용사코팅층을형성하는단계를포함하는연주설비의몰드코팅방법을제공한다.
Abstract translation: 一种用于性能设施的模具涂覆方法,包括使用激光熔化并冷却涂层粉末以形成均匀的涂层,而不管模具的形状如何, 面和平面形成的倾斜面,所述热喷涂涂层形成步骤沿着形成在模具面上的热喷涂层,并且形成热喷涂涂层与模具倾斜表面,所述模具面的步骤和所述连接部的倾斜面突出上 并在模具表面形成喷涂层。
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公开(公告)号:KR1020170063155A
公开(公告)日:2017-06-08
申请号:KR1020150169199
申请日:2015-11-30
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
Inventor: 박순홍
IPC: H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/268
Abstract: 휴대상태에서보다안정적으로레이저포커스를소재표면에정확히조사할수 있도록, 전원을공급하는전원컨트롤유닛과, 상기전원컨트롤유닛으로부터전원선으로연결되어자유롭게이동되며소재표면에레이저를조사하여금속또는금속반응생성물을포함하는오염물질을세정하는휴대레이저부를포함하는포터블소재표면세정장치로, 상기휴대레이저부는오염물질이묻은소재의표면에국부적으로피코초이하의초단펄스를가지는레이저를조사하여소재표면에초단펄스의피크에너지를가해오염물질을세정하는구조의포터블소재표면세정장치를제공한다.
Abstract translation: 被照射了稳定的激光焦点更上移动状态正好到材料表面,并且所述电源控制单元供电,是通过照射激光在材料表面上连接以从所述功率控制模块的电源线自由地移动,和金属或金属反应 材料表面具有包括便携式激光清洁污染物,并用具有小于皮秒本地超短脉冲激光束的附着污染物材料的表面将含有产物的照射的便携式激光部分的便携式材料表面清洁装置 施加到超短脉冲峰值能量提供结构材料来清洁污染物的便携表面清洁装置。
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公开(公告)号:KR1020170063080A
公开(公告)日:2017-06-08
申请号:KR1020150169044
申请日:2015-11-30
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
Inventor: 박순홍
IPC: H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/268
Abstract: 레이저포커스위치를정확히검출하고, 소재표면에대해레이저포커스길이를안정적으로유지할수 있도록, 소재의표면에형성된금속또는금속반응생성물을포함하는오염물질을제거하기위한소재세정장치로, 오염물질이묻은소재의표면에국부적으로피코초이하의초단펄스를가지는레이저를조사하여소재표면에초단펄스의피크에너지를가해오염물질을세정하는레이저조사부, 상기레이저조사부에서조사되는레이저의포커스위치를검출하는검출부를포함하는소재표면세정장치를제공한다.
Abstract translation: 为了准确地检测,并稳定地保持激光焦距于材料表面上的激光的聚焦位置,作为材料清洗装置用于去除污染物包括形成在材料的表面上的金属或金属的反应产物,附着污染物 激光照射部,用于检测从所述激光照射部照射的激光被照射具有小于皮秒到该材料的表面上的局部的超短脉冲激光的焦点位置检测部,污染物的清洁加入到超短脉冲的峰值能量在材料表面上 并有一个材料表面清洁装置。
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公开(公告)号:KR1020160078736A
公开(公告)日:2016-07-05
申请号:KR1020140188838
申请日:2014-12-24
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
CPC classification number: H01M10/39 , H01M10/38 , H01M10/3909
Abstract: 나트륨유황전지의나트륨주입시나트륨사이또는나트륨과전해질사이에기체가존재하는것을최소화할수 있고, 전지의사용에맞춰정확한양의나트륨을주입할수 있도록, 전지에주입될나트륨이수용되는보관용기, 상기보관용기와전지사이에연결되어나트륨이이송되는주입관, 상기보관용기와전지에열을가하는가열로, 및상기보관용기에연결되어주입관을통해전지내부가스를제거하는진공부를포함하는나트륨유황전지의나트륨주입장치를제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种钠钠电池钠的注入装置及其注射方法,其特征在于,包括:储存容器,当注入钠硫电池钠时,能够使钠之间或钠与电解液之间的气体最小化, 钠用于注射电池以根据使用电池注入精确量的钠; 注入管,其通过与存储容器和电池之间的间隙连接而传送钠; 向储存容器和电池供给热量的加热槽; 以及通过连接到存储容器通过喷射管去除电池的内部气体的真空单元。
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公开(公告)号:KR1020160025482A
公开(公告)日:2016-03-08
申请号:KR1020150120523
申请日:2015-08-26
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
Abstract: 레이저에의한열 영향을최소화하여소재의열변형을방지하면서소재표면에묻은오염물질을보다효과적으로제거할수 있도록, 소재의표면에형성된금속또는금속반응생성물을포함하는오염물질을제거하기위한소재세정장치로, 오염물질이묻은소재의표면에국부적으로피코초이하의초단펄스를가지는레이저를조사하는레이저조사부를포함하여, 상기레이저조사부로부터조사되는레이저를통해소재표면에초단펄스의피크에너지를가해오염물질을세정하는구조의소재표면세정장치를제공한다.
Abstract translation: 用于清洁材料表面的装置,其去除在材料表面上形成的金属或金属反应性材料的污染物,以有效地去除在材料表面上污染的污染物,同时通过最小化热影响来防止材料的热变形 通过激光。 用于清洁材料表面的装置包括激光照射部分,其用至少为皮秒的超短脉冲激光部分地照射被污染物污染的材料的表面,从而通过将具有超短脉冲的峰值能量施加到 通过从激光照射部照射的激光的材料的表面。
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公开(公告)号:KR101483512B1
公开(公告)日:2015-01-28
申请号:KR1020080132645
申请日:2008-12-23
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원
IPC: B82B3/00
Abstract: 본 발명은 산화아연(ZnO) 나노막대 및 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로서, 산화아연 나노막대 및 박막을 상온, 상압하에서 대량으로 제조하는 방법을 제공하고자 하는데, 그 목적이 있다.
본 발명은 산화아연 나노막대 및 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로서,
아연도금기판 및 DI (Deionize) Water 1L내에 NaCl을 35∼75g 녹인 NaCl 수용액을 준비하는 단계; 상기 NaCl 수용액을 25∼40℃의 온도범위에서 일정하게 유지하는 단계; 상기 항온유지된 NaCl 수용액내에 아연도금기판을 장입하여 2시간 30분 ∼ 5시간 동안 유지하여 산화아연 나노막대를 성장시키거나 또는 3시간 ∼ 24시간 동안 유지하여 앞서 성장된 나노막대의 일부 또는 전부를 산화아연 박막으로 변화시키는 단계; 및 상기와 같이 산화아연 나노막대 및 산화아연 박막을 형성한 후, 상기 아연도금기판을 수용액내에서 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 산화아연 나노막대 및 박막의 제조방법을 그 요지로 한다.
본 발명에 의하면, 종래보다 저렴하고 손쉬운 방법으로 균일하고 투명한 산화아연 박막 및 일방향 잘 배열된 산화아연 나노막대들을 얻을 수 있다.
산화아연, 나노막대, 박막, 상온, 상압, 아연도금강판-
公开(公告)号:KR101460280B1
公开(公告)日:2014-11-11
申请号:KR1020120117265
申请日:2012-10-22
Applicant: 주식회사 포스코 , 재단법인 포항산업과학연구원
Abstract: 긴급 상황 발생시 나트륨의 공급을 차단함으로써 나트륨과 유황의 추가 반응을 방지하여 전지의 안전성을 확보할 수 있도록, 나트륨을 담지하며 하부에 용융된 나트륨을 배출하는 배출공이 형성된 카트리지관, 상기 카트리지관을 수용하며 나트륨 이온을 통과시키는 고체 전해질관, 상기 고체 전해질관과 유황을 수용하는 양극용기, 상기 고체 전해질관과 상기 양극용기를 상호 접합하면서 상기 고체 전해질관과 상기 양극용기 사이의 공간을 폐쇄하는 절연부재, 상기 카트리지관 내부 또는 외부에 설치되며 상기 카트리지관과 고체 전해질관 사이 공간으로 공급되는 나트륨 양을 제어하는 안전부를 포함하는 나트륨 유황 전지를 제공한다.
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公开(公告)号:KR101460278B1
公开(公告)日:2014-11-11
申请号:KR1020120152570
申请日:2012-12-24
Applicant: 주식회사 포스코 , 재단법인 포항산업과학연구원
Abstract: 나트륨 유황 전지를 제공한다. 본 발명에 따르면, 나트륨을 담지하며 하부에 용융된 나트륨을 배출하는 나트륨 배출공이 형성된 카트리지관; 상기 카트리지관을 수용하며 나트륨 이온을 통과시키는 고체 전해질관; 상기 고체 전해질관과 유황을 수용하는 양극용기; 상기 고체 전해질관과 상기 양극용기 사이의 공간을 절연하는 절연부재; 상기 카트리지관 상부를 밀폐하게 설치되는 음극 덮개; 상기 나트륨 배출공을 차단하는 스토퍼부재; 상기 스토퍼부재를 상기 카트리지관의 하부에 고정하는 고정부재; 및 상기 스토퍼부재와 상기 고정부재를 접합하며 나트륨 유황 전지의 이상 작동온도에서 용융되는 접합부재를 포함한다.
Abstract translation: 钠硫电池。 根据本发明,提供一种盒,其包括:具有用于支撑钠并在底部排出熔融钠的钠排出孔的盒管; 一种固体电解质管,用于接收盒式管并使钠离子通过; 包含固体电解质管和硫的阴极容器; 绝缘部件,用于绝缘固体电解质管和正极容器之间的空间; 一个密封安装在墨盒管上部的负极盖; 一个阻挡钠排放孔的止动件; 固定构件,用于将止动构件固定到盒管的下部; 并且接合构件接合止动构件和固定构件并且在钠硫电池的异常操作温度下熔化。
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公开(公告)号:KR101419475B1
公开(公告)日:2014-07-16
申请号:KR1020120151401
申请日:2012-12-21
Applicant: 주식회사 포스코 , 재단법인 포항산업과학연구원
Abstract: 긴급 상황 발생시 나트륨의 공급을 차단함으로써 나트륨과 유황의 추가 반응을 방지하여 전지의 안전성을 확보할 수 있도록, 나트륨을 담지하며 하부에 용융된 나트륨을 배출하는 배출공이 형성된 카트리지관, 상기 카트리지관을 수용하며 나트륨 이온을 통과시키는 고체 전해질관, 상기 고체 전해질관과 유황을 수용하는 양극용기, 상기 고체 전해질관과 상기 양극용기를 상호 접합하면서 상기 고체 전해질관과 상기 양극용기 사이의 공간을 폐쇄하는 절연부재, 상기 카트리지관 내부 또는 외부에 설치되며 상기 카트리지관과 고체 전해질관 사이 공간으로 공급되는 나트륨 양을 제어하는 안전부를 포함하는 나트륨 유황 전지를 제공한다.
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