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公开(公告)号：KR101270260B1
公开(公告)日：2013-05-31
申请号：KR1020110081475
申请日：2011-08-17
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 특정한 편광성분을 갖고 있는 광이 시료에 입사되었을 때 입사광이 시료에 의해 반사 또는 투과되면서 발생하는 편광상태의 변화를 다수의 파장들에 대하여 측정 및 분석함으로써 시료의 물성 및 나노 패턴 형상 등의 정보를 실시간으로 얻어낼 수 있는 실시간 분광타원계측기에 관한 것이다. 본 발명에 따른 실시간 분광타원계측기는 종래의 광소자 회전형 다채널 분광타원계측기들에서 광원 및 광검출기의 편광 의존성, 보상기의 파장 의존성, 노광량 측정횟수를 고정하여 사용함에 따른 적분시간 변경 제약의 문제점 등을 해결하기 위해 안출된 것으로서 종래의 기술 보다 정확하고 정밀하며 빠르게 시료의 특성을 측정할 수 있도록 구조와 기능이 개선된 장점을 갖고 있다. 본 발명에 따른 다채널 분광타원계측기는 종래 기술의 편광자 회전형 다채널 분광타원계측기들의 광경로 중에서 광원 이후에 정지상태의 편광자를 추가함으로서 광원을 선편광으로 만들어서 광원의 잔류편광 문제를 해결하고자 하였으며 종래 기술의 검광자 회전형 다채널 분광타원계측기들의 광경로 중에서 다채널 분광기 이전에 정지상태의 편광자를 추가로 설치하여 선편광된 광을 광검출기에 전달함으로써 광검출기의 편광 의존성 문제를 해결하고자 고안된 것이다. 또한, 본 발명은 측정주기 및 측정 주기당 노광량 측정수를 컴퓨터 소프트웨어로 빠르고 용이하게 변경할 수 있도록 디지털 신호 변조장치를 포함하며 측정된 푸리에 계수들 중에서 상대적으로 신호 대 잡음 비가 우수한 것을 제한적으로 선택하여 타원계측함수를 얻도록 함으로서 측정 정밀도가 향상되는 것을 특징으로 하는 다채널 분광타원계측기이다.
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公开(公告)号：KR1020130019495A
公开(公告)日：2013-02-27
申请号：KR1020110081475
申请日：2011-08-17
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N21/211 , G01N2021/213 , G06F17/141
Abstract: PURPOSE: An optical diode-rotary type ellipsometer and a method for measuring properties of a specimen using the same are provided to measure a Fourier coefficient with respect to the intensity of a waveform more easily by controlling the number of the measurement of integral time and exposure according to the intensity of lights. CONSTITUTION: An ellipsometer comprises a light source(110), a polarization modulating unit, a specimen holder(210), a polarization analyzing unit, and a digital signal modulating device. The digital signal modulating device is connected to an optical diode unit of the polarization modulating unit or polarization analyzing unit, thereby controlling the number of the exposure measurement of an optical detector.
Abstract translation: 目的：提供一种光二极管旋转型椭偏仪和用于测量使用其的样本的性质的方法，通过控制积分时间和曝光的测量次数来更容易地测量相对于波形强度的傅里叶系数 根据灯光的强度。 构成：椭偏仪包括光源（110），偏振调制单元，样本保持器（210），偏振分析单元和数字信号调制装置。 数字信号调制装置连接到偏振调制单元或偏振分析单元的光二极管单元，从而控制光学检测器的曝光测量的数量。
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公开(公告)号：KR101105328B1
公开(公告)日：2012-01-16
申请号：KR1020090113164
申请日：2009-11-23
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N33/483 , G01N21/21 , G01N35/00
CPC classification number: G01N21/211 , B01L3/502715 , B01L2300/0654 , B01L2400/086 , Y10T436/143333 , Y10T436/144444
Abstract: 본 발명은 액침 미세유로 환경하에서 유전체 박막에 형성된 바이오물질의 흡착층에 편광된 입사광을 p파 무반사 조건에 만족되도록 입사시킴으로써 완충용액에 의한 굴절률 변화에 거의 영향을 받지 않고 저분자 바이오물질의 흡착 및 해리 동특성을 고감도로 측정할 수 있는 장치 및 이를 이용한 측정방법에 관한 것이다. 이를 위해, 지지대와, 지지대상에 형성된 반도체 또는 유전체로 이루어진 기판과, 기판상에 형성된 유전체 박막과, 입사창과 반사창이 일측과 타측에 각각 구비되어 지지대상에 설치된 덮개부로 이루어지고, 지지대 및 지지대와 덮개부 사이에 미세유로가 형성된 미세유로 구조체; 미세유로에 저분자 바이오물질의 시료가 포함된 완충용액을 주입하여 유전체 박막에 시료의 흡착층을 형성시키는 시료주입부; 입사창을 통해 편광된 입사광을 p파 무반사 조건에 만족되는 입사각으로 흡착층에 조사하는 편광발생부; 및 흡착층의 반사광이 반사창을 통해 입사되고, 반사광의 편광 변화를 검출하는 편광검출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 분자 흡착 및 해리 동특성 측정장치가 제공된다.
액침, 미세유로, 바이오물질, 흡착 및 해리 동특성, 흡착, 해리, p파 무반사, 반도체 기판, 유전체 박막, 반도체 산화막-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101091967B1
公开(公告)日：2011-12-09
申请号：KR1020100005358
申请日：2010-01-20
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은주기적으로변하는광신호세기에대해적분형광검출기(integrating photometric detector)로실시간측정하였을때에그 파형을분석하는종래의방법에서연산식의복잡성, 판독시간(read time)에대한근사보정, 적분시간(integration time)의제한적가변성등의문제점들을개선하기위하여안출된것으로, 임의의적분시간과특정한판독시간에대해서온전하게보정된노광량계산법과이산푸리에변환(discrete Fourier transform)을사용함으로써근사없이정규화된푸리에계수(normalized Fourier coefficient)를구하는방법을제시한다. 본발명을반도체및 디스플레이산업체에서많이사용되고있는광부품회전형타원계측기에적용한다면광세기에따라서적분시간이조절가능하여최적의조건에서측정할수 있으며약 2배정도빠른측정이가능하다. 본발명을산업체에서활용할경우에고속측정이가능하므로생산성이증대되며보다정확한데이터획득방법을사용하였으므로종래의기술보다신뢰성이향상되는장점들이있다.
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公开(公告)号：KR101036455B1
公开(公告)日：2011-05-24
申请号：KR1020090053593
申请日：2009-06-16
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N21/211 , G02B27/143
Abstract: 본 발명은 하프 미러(half mirror)를 이용한 타원계측기(Ellipsometer using Half Mirror)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 종래의 수직 입사형 초점 타원계측기에서 처럼 빛의 일부는 투과시키고 일부는 반사시키는 사각 프리즘형 또는 유리평판형 등의 광분할기를 사용하는 대신에 하프미러로 대물렌즈의 반쪽으로 빛을 전부 반사시키고 대물렌즈 초점의 반쪽으로부터 반사된 빛이 광분할기를 통과하지 않고 바로 광검출기로 검출되도록 함으로써 광분할기에 의한 광간섭 현상이 제거되고 광량은 최대 4배 정도 증가됨으로써 나노 박막 또는 나노 패턴 등의 시편들의 물성을 보다 정확하고 정밀하게 측정 및 분석할 수 있도록 하는 하프 미러를 이용한 타원계측기에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명의 하프 미러를 이용한 타원계측기는 평행광을 방출하는 광원장치(210); 상기 광원장치(210)로부터 방출된 평행광을 선편광 상태로 만드는 선편광자(220); 상기 선편광자(220)를 투과한 빛을 반사하는 하프 미러(230); 상기 하프 미러(230)로부터 반사된 빛을 시편(250)에 집중 조사시키는 대물렌즈(240); 상기 시편(250)으로부터 반사된 후 상기 대물렌즈(240)를 통과한 빛에서 특정 방향의 선편광 상태의 빛만 투과하는 검광자(260); 상기 검광자(260)를 투과한 빛의 세기를 전압 또는 전류와 같은 전기적 신호로 검출하는 광검출기(270); 상기 광검출기(270)에 의해 검출된 전기적 신호를 각각의 입사각들에 대해서 180°의 다중 입사면 경로를 따라 상기 광검출기(270)의 단위소자(pixel)에 해당되는 값으로 보정 하여 연산처리하는 연산처리장치(280)를 포함하여 이루어진다.
타원계측기, 하프 미러, 대물렌즈, 초점, 반쪽, 광간섭, 방지-
公开(公告)号：KR1020100061038A
公开(公告)日：2010-06-07
申请号：KR1020080119912
申请日：2008-11-28
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N21/552 , G01N21/25 , G01N21/00
CPC classification number: G01N21/553 , G01N2021/212
Abstract: PURPOSE: A surface plasmon resonance sensor using beam profile ellipsometry is provided to measure the junction characteristic and dynamic characteristic of bio materials in real time through simultaneous measurement of surface plasmon resonance and ellipsometer phase change. CONSTITUTION: A surface plasmon resonance sensor using beam profile ellipsometry comprises a vertical beam profile ellipsometry, a surface plasmon resonance sensor(40), and a fluid path(1). The vertical beam profile ellipsometry detects polarized light by polarizing light and collecting a part of the polarized light to a metallic foil(42). The surface plasmon resonance sensor unit is provided in a condenser lens(40) of the beam profile ellipsometry and generates surface plasmon resonance by the angular variation of the polarized light. The fluid path provides the metallic foil with a buffer solution including bio materials to induce adsorption or desorption. The vertical beam profile ellipsometry comprises a light source(10), a polarized light device(20), a beam splitter(30), the condenser lens, a light analyzer(50), an optical detector(60), and an arithmetic processing unit(70).
Abstract translation: 目的：提供使用光束轮廓椭偏仪的表面等离子体共振传感器，通过同时测量表面等离子体共振和椭偏仪相位来实时测量生物材料的结特性和动态特性。 构成：使用光束轮廓椭偏仪的表面等离子体共振传感器包括垂直光束轮廓椭偏仪，表面等离子体共振传感器（40）和流体路径（1）。 垂直光束轮廓椭偏仪通过偏振光检测偏振光并将偏振光的一部分收集到金属箔（42）。 表面等离子体共振传感器单元设置在光束轮廓椭偏仪的聚光透镜（40）中，并通过偏振光的角度变化产生表面等离子体共振。 流体路径为金属箔提供包括生物材料的缓冲溶液以诱导吸附或解吸。 垂直光束轮廓椭偏仪包括光源（10），偏振光装置（20），分束器（30），聚光透镜，光分析器（50），光学检测器（60）和算术处理 单元（70）。
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公开(公告)号：KR100941980B1
公开(公告)日：2010-02-11
申请号：KR1020070116340
申请日：2007-11-14
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명은 고속 대면적 정밀측정 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초점 타원계측부에서 시편의 특성을 고속으로 측정한 후에, 특이점이 나타나는 위치를 정밀측정부에서 보다 상세하게 측정하는 고속 대면적 정밀측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 편광된 빛을 시편에 집중 조사한 후, 상기 시편으로부터 반사된 빛을 검출하여 상기 시편의 광학적 특성을 고속으로 측정하는 초점 타원계측부; 및 상기 시편의 광학적 특성 중 특이점이 나타나는 위치를 다시 원자 단위까지 측정하는 정밀측정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 고속 대면적 정밀측정 장치를 제공한다. 상기 고속 대면적 정밀측정 장치는 초점 타원계측부에서 고속으로 시편의 광학적 특성을 측정한 후에, 특이점이 나타나는 위치를 정밀측정부에서 다시 세밀하게 측정함으로써 시편의 광학적 특이점을 신속하고 정밀하게 측정할 수 있는 효과가 있다.
타원계측기, SPM, 탐침-
公开(公告)号：KR100742982B1
公开(公告)日：2007-07-26
申请号：KR1020060056275
申请日：2006-06-22
Abstract: A focused-beam ellipsometer is provided to relatively improve measuring precision and the drive speed of an optical detector by remove errors of rotation of optical parts and signal noises of motor vibration. A focused-beam ellipsometer includes light source(110), a light source unit module(120), a beam splitter(130), an objective lens(140), a light-receiving unit module(160), an optical detector(170), and an operation processing unit(180). The light source unit module has a linear polarizer linear-polarizing light emitted from the light source. The beam splitter splits the polarized light from the light source unit module. The objective lens illuminates some of the light from the beam splitter to a sample. The light-receiving unit module receives the reflected light from the sample. The optical detector detects the light received by light-receiving unit module to pixels. The operation processing unit compensates the strength of the light detected by the optical detector.
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