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公开(公告)号：FR3074358B1
公开(公告)日：2022-02-04
申请号：FR1761274
申请日：2017-11-28
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE , GIROUD SOPHIE
Abstract: Procédé de réalisation d'un système d'encapsulation comportant : - la fabrication d'un premier élément comprenant, à partir d'un premier substrat, les étapes de formation d'une zone fragilisée de sorte définir une couche mince et une couche support, - l'assemblage du premier élément avec un deuxième élément de sorte que la couche mince soit disposée entre le deuxième élément et la couche support, - le retrait de la couche support par séparation de la couche support et de la couche mince au niveau de la zone fragilisée.
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公开(公告)号：FR3105415A1
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：FR1915477
申请日：2019-12-23
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： POLIZZI JEAN-PHILIPPE , ROBERT PHILIPPE , LOI SARA , PAGANI ALBERTO
IPC: G01L9/00
Abstract: Capteur autonome à membrane L’invention concerne un capteur autonome à membrane déformable comprenant un boitier (10) en deux parties (11, 12) assemblées entre elles et configurées pour former une cavité (100) étanche, un détecteur (20) configuré pour détecter une déformation de la membrane (13, 13a, 13b) déformable, un système de communication (21) sans fil configuré pour communiquer une donnée de déformation de la membrane (13, 13a, 13b) en dehors du boitier (10), et un système d’alimentation électrique (22) configuré pour alimenter le détecteur (20) et/ou le système de communication (21), le capteur étant caractérisé en ce que l’une au moins parmi les première et deuxième parties (11, 12) comprend une première zone (z1) présentant une épaisseur e1 et une deuxième zone (z2) présentant une épaisseur e2 telle que e2
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公开(公告)号：FR3060551B1
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：FR1662469
申请日：2016-12-15
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： COUTIER CAROLINE , FANGET STEPHANE , ROBERT PHILIPPE
IPC: B81B7/00 , H01L21/762
Abstract: La présente invention concerne un dispositif microélectronique comprenant un support 1 et au moins une membrane 3 suspendue sur une face 21 du support 1 au-dessus d'une cavité 34 par une zone d'ancrage 31, caractérisé par le fait qu'il comporte au moins une portion diélectrique 83 de raccordement de la membrane 3 au support 1, faite d'un matériau distinct de celui d'une partie principale de la membrane 3.
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34.发明专利
公开(公告)号：FR3075772A1
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：FR1763159
申请日：2017-12-22
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE
Abstract: Assemblage entre un composant (20) électromécanique MEMS et/ou NEMS et un boitier (1), le composant (20) électromécanique comportant au moins une structure suspendue (26) et mobile dotée d'au moins une zone (26a) de fixation sur laquelle une régions d'accueil (3) du boitier est fixée, la structure suspendue étant formée au moins partiellement dans un capot de protection (29) du composant ou dans une couche (25) distincte de celle dans laquelle l'élément sensible du composant est formé.
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公开(公告)号：FR3060200B1
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：FR1662276
申请日：2016-12-12
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE , LOUWERS STEPHANUS
IPC: B81B7/00 , H01L21/762 , B81C1/00 , H01L41/02
Abstract: La présente invention concerne un dispositif microélectronique comprenant : - un substrat (1) comportant en empilement une portion de base (10), une portion diélectrique (11) et une couche supérieure (12) à base de matériau semi-conducteur, - au moins un élément de raccordement électrique en un matériau électriquement conducteur situé au-dessus de la couche supérieure (12) et isolé électriquement de la couche supérieure au moins par une couche diélectrique (40), la couche diélectrique (40) étant au contact de la surface de la couche supérieure (12), - au moins un élément diélectrique comprenant au moins une tranchée (21) formant un contour fermé en périphérie ou au droit d'au moins une partie de l'élément de raccordement électrique élément diélectrique (2), située au moins en partie dans la couche supérieure (12) et délimitant une zone fermée de ladite couche supérieure, l'au moins un élément diélectrique (2) ayant une partie exposée à la surface de la couche supérieure, dispositif dans lequel la couche diélectrique (40) recouvre totalement la partie exposée de l'au moins un élément diélectrique (2).
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：FR3060844A1
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：FR1662470
申请日：2016-12-15
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： FANGET STEPHANE , COUTIER CAROLINE , ROBERT PHILIPPE
IPC: H01L21/768 , E04B1/74 , H01L29/40 , H01L41/00
Abstract: La présente invention concerne un dispositif microélectronique acoustique comprenant un support (1), un jeu d'au moins une membrane (3) suspendue sur une face (21) du support (1) au-dessus d'une cavité par une zone d'ancrage (31), et au moins une tranchée (62a,b,c,d ; 63a,b) d'isolation acoustique disposée de manière adjacente à la membrane (3), caractérisé par le fait qu'il comporte au moins un pont (64) raccordant des portions de deux bords opposés de la tranchée (62a,b,c,d ; 63a,b) et situé en surplomb d'au moins une zone de la tranchée (62a,b,c,d ; 63a,b) de sorte à former dans ladite zone de la tranchée un caisson d'isolation (65) acoustique en-dessous du pont (64).
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公开(公告)号：FR3060200A1
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：FR1662276
申请日：2016-12-12
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE , LOUWERS STEPHANUS
IPC: H01L21/762 , B81B7/00 , B81C1/00 , H01L41/02
Abstract: La présente invention concerne un dispositif microélectronique comprenant : - un substrat (1) comportant en empilement une portion de base (10), une portion diélectrique (11) et une couche supérieure (12) à base de matériau semi-conducteur, - au moins un élément de raccordement électrique en un matériau électriquement conducteur situé au-dessus de la couche supérieure (12) et isolé électriquement de la couche supérieure au moins par une couche diélectrique (40), la couche diélectrique (40) étant au contact de la surface de la couche supérieure (12), - au moins un élément diélectrique comprenant au moins une tranchée (21) formant un contour fermé en périphérie ou au droit d'au moins une partie de l'élément de raccordement électrique élément diélectrique (2), située au moins en partie dans la couche supérieure (12) et délimitant une zone fermée de ladite couche supérieure, l'au moins un élément diélectrique (2) ayant une partie exposée à la surface de la couche supérieure, dispositif dans lequel la couche diélectrique (40) recouvre totalement la partie exposée de l'au moins un élément diélectrique (2).
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公开(公告)号：FR3027389B1
公开(公告)日：2016-11-25
申请号：FR1460024
申请日：2014-10-17
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE , COUTIER CAROLINE
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公开(公告)号：FR3030739A1
公开(公告)日：2016-06-24
申请号：FR1462718
申请日：2014-12-18
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： FAIN BRUNO , ROBERT PHILIPPE , VERDOT THIERRY
Abstract: Capteur de pression de type MEMS et/ou NEMS comportant dans un substrat: - une partie fixe et une partie mobile par rapport à la partie fixe, la partie mobile comprenant un élément sensible (108) mobile dans le plan du capteur sous l'effet d'une variation de pression, - un jauge de contrainte (18) pour détecter le déplacement de l'élément sensible (108) dans le plan du capteur dû à la variation de pression, - des électrodes d'actionnement (24.1, 24.2,) de l'élément sensible, lesdites électrodes d'actionnement étant portées en partie par la partie fixe et par la partie mobile, lesdites électrodes d'actionnement étant commandées de sorte à asservir en position le déplacement de l'élément sensible (108), - des moyens de commande (C) des électrodes d'actionnement qui sont configurés, à partir des signaux émis par la jauge, pour polariser les électrodes d'actionnement de sorte à asservir en position le déplacement l'élément sensible.
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公开(公告)号：FR2992066B1
公开(公告)日：2014-07-11
申请号：FR1255597
申请日：2012-06-15
Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE
Inventor： ROBERT PHILIPPE , ETTELT DIRK , WALTHER ARNAUD
IPC: G01R33/02
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