公开(公告)号：JP2014037975A

公开(公告)日：2014-02-27

申请号：JP2012178778

申请日：2012-08-10

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： ITO MASASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  HIROSE MAKI ,  MARUYAMA YOSHIHIRO

IPC: G01N21/65

CPC classification number: G01N21/658 ,  B82Y40/00 ,  G01N21/03 ,  G01N2201/068

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface enhanced Raman scattering unit capable of stabilizing characteristics of surface enhanced Raman scattering.SOLUTION: An SERS (surface enhanced Raman scattering) unit 1 comprises: a conductor layer 6 formed on a fine structural part 8 of a molded layer 5; and an optical functional part 10 inducing surface enhanced Raman scattering. In particular, the thickness of the molded layer 5 is controlled to be relatively large in a center portion 5a of a fine structural area A5 and relatively small in an outer edge portion 5b. Thereby, in a process of forming the molded layer 5 by a nano-imprint method, for example, when a mold M is released from the molded layer 5, the molded layer 5 is smoothly released from the mold M in the outer edge portion 5b while the molded shape is easily maintained in the center portion 5a. This suppresses generation of damages on a projection 81 of the center portion 5a, and can stabilize characteristics of surface enhanced Raman scattering.

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够稳定表面增强拉曼散射特性的表面增强拉曼散射单元。解决方案：SERS（表面增强拉曼散射）单元1包括：导体层6，形成在微结构部分8上 模制层5; 以及引起表面增强的拉曼散射的光学功能部件10。 特别地，在精细结构区域A5的中心部分5a中，模制层5的厚度被控制得相对较大，并且在外边缘部分5b中相对较小。 因此，在通过纳米压印法形成模制层5的过程中，例如，当模制品M从模制层5释放时，模制层5在外边缘部分5b中从模具M中平滑地释放 而模制形状容易地保持在中心部分5a中。 这抑制了对中心部分5a的突起81的损伤的产生，并且可以稳定表面增强拉曼散射的特性。

公开(公告)号：JP2014037973A

公开(公告)日：2014-02-27

申请号：JP2012178771

申请日：2012-08-10

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： ITO MASASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  YOSHINO TAKAFUMI ,  HIROSE MAKI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OFUJI KAZUTO ,  MARUYAMA YOSHIHIRO

IPC: G01N21/65

CPC classification number: G01N21/658 ,  B82Y40/00

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface enhanced Raman scattering unit capable of suppressing reduction in reliability.SOLUTION: In a SERS unit 1, a fine structure section 8 including a pillar 81 is formed integrally with a support section 7 extending along a surface 4a of a substrate 4. Therefore, peeling of the pillar 81 from the substrate 4 is suppressed. In the SERS unit 1, the support section 7 and the fine structure section 8 are enclosed with a frame section 9. Therefore, damage of a part of the substrate 4 or the like is blocked by the frame section 9, and hence does not affect the fine structure section 8. In the SERS unit 1, thus, peeling of the pillar 81 can be suppressed, the influence of damage on the fine structure section 8 can be prevented, and reduction in reliability can be suppressed.

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够抑制可靠性降低的表面增强拉曼散射单元。解决方案：在SERS单元1中，包括柱81的精细结构部分8与沿着表面4a延伸的支撑部分7一体地形成 因此，能够抑制柱81从基板4的剥离。 在SERS单元1中，支撑部7和精细结构部8被框架部9包围。因此，基板4的一部分的损坏被框架部9阻挡，因此不影响 精细结构部分8.在SERS单元1中，可以抑制柱81的剥离，可以防止对精细结构部分8的损伤的影响，并且可以降低可靠性。

公开(公告)号：JP2014037969A

公开(公告)日：2014-02-27

申请号：JP2012178763

申请日：2012-08-10

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： ITO MASASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  MARUYAMA YOSHIHIRO

IPC: G01N21/65

CPC classification number: G01N21/658 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10S977/781

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface enhanced Raman scattering unit capable of enhancing the intensity of surface enhanced Raman scattering by a suitable nanogap.SOLUTION: An SERS (surface enhanced Raman scattering) unit 1 comprises: a substrate 4; a support part 8 formed on a surface 4a of the substrate 4; a molded layer 5 including a fine structural part 7 formed on the support part 8; and a conductor layer 6 deposited on the fine structural part 7 and constituting an optical functional part 10 to induce surface enhanced Raman scattering. The fine structural part 7 includes a plurality of pillars 71 disposed to stand on the support part 8. The support part 8 is provided with a plurality of counter parts 11a opposing to side surfaces 71b of the pillars 71; and the counter part 11a is positioned at the substrate 4 side with respect to a top end 71a of the pillar 71 in a direction where the pillar 71 protrudes.

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够通过合适的纳米胶增强表面增强拉曼散射强度的表面增强拉曼散射单元。解决方案：SERS（表面增强拉曼散射）单元1包括：基板4; 形成在基板4的表面4a上的支撑部8; 包括形成在支撑部8上的精细结构部7的模制层5; 以及沉积在精细结构部分7上并构成光学功能部分10以引起表面增强的拉曼散射的导体层6。 精细结构部件7包括多个支柱71，其设置成支撑在支撑部分8上。支撑部分8设置有与支柱71的侧表面71b相对的多个相对部分11a; 并且对置部11a相对于柱71的顶端71a在柱71突出的方向上位于基板4侧。

公开(公告)号：JP2014196981A

公开(公告)日：2014-10-16

申请号：JP2013073444

申请日：2013-03-29

Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 ,  Hamamatsu Photonics Kk

Inventor： ITO MASASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  OFUJI KAZUTO ,  OYAMA YASUO ,  MARUYAMA YOSHIHIRO

IPC: G01N21/65

CPC classification number: G01N21/658

Abstract: 【課題】多量の試料を用いることなく測定への悪影響を抑制可能な表面増強ラマン散乱ユニット、及びそのような表面増強ラマン散乱ユニットを用いたラマン分光分析方法を提供する。【解決手段】 SERSユニット1Aは、測定時に用いられる測定用基板3を備えているSERSユニット1Aは、基板21と、基板21上に形成され表面増強ラマン散乱を生じさせる光学機能部20とを有し、測定用基板3に固定されたSERS素子2を備える。SERSユニット1Aは、SERS素子2の周縁部2aに接触してSERS素子2を測定用基板3側に押さえる環状の接触部41を有し、測定用基板3に固定された押さえ部材4を備える。【選択図】図4

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够在不使用大量样品的情况下抑制对测量的不利影响的表面增强拉曼散射单元，并且提供使用表面增强拉曼散射单元的拉曼光谱法。解决方案：表面增强拉曼 散射（SERS）单元1A包括在测量期间使用的测量基板3。 SERS单元1A包括SERS元件2，其具有形成在基板21上的基板21和光学功能部20，以引起表面增强的拉曼散射并固定到测量基板3.SERS单元1A包括按压构件4 其具有与SERS元件2的周边边缘2a接触的环状接触部41，以将SERS元件2朝向测量基板3按压，固定在测量基板3上。

公开(公告)号：JP2014037974A

公开(公告)日：2014-02-27

申请号：JP2012178773

申请日：2012-08-10

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI ,  MARUYAMA YOSHIHIRO ,  ITO MASASHI

IPC: G01N21/65

CPC classification number: G01N21/658 ,  B82Y40/00 ,  G01N2021/651

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface enhanced Raman scattering unit capable of enhancing the intensity of surface enhanced Raman scattering by a suitable nanogap.SOLUTION: An SERS (surface enhanced Raman scattering) unit 1 comprises: a substrate 4; a fine structural part 7 formed on a surface 4a of the substrate 4 and having a plurality of pillars 11; and a conductor layer 6 formed on the fine structural part 7 and constituting an optical functional part 10 to induce surface enhanced Raman scattering. A groove is formed on a side surface of the pillar 11. The conductor layer 6 intrudes into the groove, and thereby, a gap G is formed in the conductor layer 6.

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够通过合适的纳米胶增强表面增强拉曼散射强度的表面增强拉曼散射单元。解决方案：SERS（表面增强拉曼散射）单元1包括：基板4; 形成在基板4的表面4a上并具有多个支柱11的精细结构部分7; 以及形成在微细结构部分7上并构成光学功能部分10以引起表面增强的拉曼散射的导体层6。 在柱11的侧面形成有槽。导体层6侵入槽内，从而在导体层6中形成间隙G.

公开(公告)号：JP2009251372A

公开(公告)日：2009-10-29

申请号：JP2008100462

申请日：2008-04-08

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI ,  ITO MASASHI ,  AOSHIMA SHINICHIRO

IPC: G02B5/18

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a grating element of high reliability. SOLUTION: The grating element 1 is provided, on a surface 2a of a substrate 2, with a plurality of projecting parts 3 extended in a predetermined direction, and projecting parts 4 extended in a direction almost orthogonal to the predetermined direction on both sides of the projecting parts 3 in the predetermined direction and connected to the ends of the respective projecting parts 3. The projecting parts 3 are thereby firmly reinforced by the projecting parts 4 to prevent the damage of the projecting parts 3 constituting a grating part 6. Further, since the surface 5a of a substrate 5 is bonded to the top parts 3a, 4a of the projecting parts 3, 4, particles are suppressed from entering between the projecting parts 3. Furthermore, the projecting parts 3 are formed integrally with the substrate 2, and the top parts 3a of the projecting parts 3 are bonded to the surface 5a of the substrate 5 by direct bonding. An optical loss in the grating part 6 comprising the projecting parts 3 and substrates 2, 5 can thereby be reduced. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供高可靠性的光栅元件。 解决方案：光栅元件1在基板2的表面2a上设置有沿预定方向延伸的多个突出部分3，并且在与两个预定方向几乎正交的方向上延伸的突出部分4 突出部3的两侧在预定方向上连接到各突出部3的端部。由此，突出部3被突出部4牢固地增强，以防止构成光栅部6的突出部3的损坏。 此外，由于基板5的表面5a与突出部分3,4的顶部3a，4a接合，所以抑制了颗粒进入突出部分3之间。此外，突出部分3与基板一体地形成 2，突出部3的顶部3a通过直接接合与基板5的表面5a接合。 由此，能够减少包括突出部3和基板2,5的光栅部6的光损失。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2015014547A

公开(公告)日：2015-01-22

申请号：JP2013142165

申请日：2013-07-05

Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 ,  Hamamatsu Photonics Kk

Inventor： MARUYAMA YOSHIHIRO ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  ITO MASASHI

IPC: G01N21/65 ,  G01N21/01

Abstract: 【課題】設計の自由度の低下を抑制可能であると共に、ナノギャップを安定して形成可能な表面増強ラマン散乱素子、及び、表面増強ラマン散乱素子を製造する方法を提供する。【解決手段】SERS素子2は、表面21aを有する基板21と、表面21a上に形成され、複数のピラー27を有する微細構造部24と、表面21a及び微細構造部24を連続的に覆うように表面21a及び微細構造部24上に形成された第1の導電体層31と、表面増強ラマン散乱のための複数のギャップG1,G2を形成するように第1の導電体層31上に形成された第2の導電体層32と、を備え、第1の導電体層31及び第2の導電体層32は、互いに同一の材料から構成されている。【選択図】図5

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种表面增强拉曼散射元件，其可以抑制设计自由度的降低并且可以稳定地形成纳米隙，并且提供制造表面增强拉曼散射元件的方法。解决方案：SERS元件2 包括：具有表面21a的基板21; 精细结构部分24，其形成在表面21a上并且包括多个柱27; 第一导体层31，其形成在表面21a和细结构部24上，以连续地覆盖表面21a和细结构部分24; 以及形成在第一导体层31上以形成用于表面增强拉曼散射的多个间隙G1和G2的第二导体层32。 第一导体层31和第二导体层32由相同的材料制成。

公开(公告)号：JP2015014545A

公开(公告)日：2015-01-22

申请号：JP2013142163

申请日：2013-07-05

Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 ,  Hamamatsu Photonics Kk

Inventor： SHIBAYAMA KATSUMI ,  ITO MASASHI ,  MARUYAMA YOSHIHIRO

IPC: G01N21/65

Abstract: 【課題】好適なナノギャップによって表面増強ラマン散乱の強度を増大させることができる表面増強ラマン散乱素子、及びそのような表面増強ラマン散乱素子の製造方法を提供する。【解決手段】SERS素子2は、表面21aを有する基板21と、表面21a上に形成され、複数のピラー27を有する微細構造部24と、微細構造部24上に形成され、表面増強ラマン散乱を生じさせる光学機能部20を構成する導電体層23と、を備える。導電体層23は、表面21aに沿うように形成されたベース部28と、ピラー27のそれぞれに対応する位置においてベース部28から突出する複数の突出部29と、を有する。ベース部28の厚さは、ピラー27の高さよりも大きくなっている。【選択図】図5

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够利用合适的纳米隙增加表面增强拉曼散射的强度的表面增强拉曼散射元件，并提供制造表面增强拉曼散射元件的方法。解决方案：SERS元件2包括： 具有表面21a的基板21; 精细结构部分24，其形成在表面21a上并且包括多个柱27; 以及导体层23，其形成在精细结构部分24上并构成导致表面增强的拉曼散射的光学功能部分20。 导体层23包括沿着表面21a形成的基部部分28以及从基部部分28在对应于各个支柱27的位置突出的多个突起29.基部28的厚度大于支柱的高度 27。

公开(公告)号：JP2014196974A

公开(公告)日：2014-10-16

申请号：JP2013073312

申请日：2013-03-29

Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 ,  Hamamatsu Photonics Kk

Inventor： ITO MASASHI ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  KAWAI TOSHIMITSU ,  OFUJI KAZUTO ,  OYAMA YASUO ,  MARUYAMA YOSHIHIRO

IPC: G01N21/65

Abstract: 【課題】物理的な干渉や異物の付着等に起因する光学機能部の劣化を抑制することができる表面増強ラマン散乱ユニットを提供する。【解決手段】SERSユニット1Aは、一体的に形成されたハンドリング基板2と、ハンドリング基板2の厚さ方向における一方の側に開口するようにハンドリング基板2に設けられた収容空間S内に固定されたSERS素子3と、を備えている。SERS素子3は、収容空間Sの内面S1上に配置された基板5と、基板5上に形成され、表面増強ラマン散乱を生じさせる光学機能部10と、を有している。【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够抑制由物理干扰或异物沉积引起的光学功能部分的劣化的表面增强拉曼散射单元。解决方案：表面增强拉曼散射（SERS）单元1A包括整体形成的处理 基板2和固定在容纳空间S中的SERS元件3，其设置在处理基板2中，以在处理基板2的厚度方向上的一侧开放.SERS元件3包括：基板5，其设置在内表面 S1和形成在基板5上的光学功能部分10，以产生表面增强的拉曼散射。

公开(公告)号：JP2014037970A

公开(公告)日：2014-02-27

申请号：JP2012178765

申请日：2012-08-10

Applicant: Hamamatsu Photonics Kk ,  浜松ホトニクス株式会社

Inventor： MARUYAMA YOSHIHIRO ,  SHIBAYAMA KATSUMI ,  ITO MASASHI ,  HIROHATA TORU ,  KAMEI HIROKI

IPC: G01N21/65

CPC classification number: G01N21/658 ,  B82Y40/00 ,  G01N21/03 ,  G01N2201/068

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface enhanced Raman scattering unit capable of enhancing the intensity of surface enhanced Raman scattering by a suitable nanogap.SOLUTION: An SERS (surface enhanced Raman scattering) unit 1 comprises: a substrate 4; a fine structural part 7 having a plurality of pillars 11 formed on a surface 4a of the substrate 4; and a conductor layer 6 formed on the fine structural part 7 and constituting an optical functional part 10 to induce surface enhanced Raman scattering. The conductor layer 6 comprises: a base part formed along the surface 4a of the substrate 4; and a protruding part protruding from the base part at a position corresponding to the pillar 11. A gap G is formed by the base part and the protruding part in the conductor layer 6, in which the clearance in a direction perpendicular to the protruding direction of the pillar 11 gradually decreases.

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够通过合适的纳米胶增强表面增强拉曼散射强度的表面增强拉曼散射单元。解决方案：SERS（表面增强拉曼散射）单元1包括：基板4; 具有形成在基板4的表面4a上的多个支柱11的精细结构部件7; 以及形成在微细结构部分7上并构成光学功能部分10以引起表面增强的拉曼散射的导体层6。 导体层6包括：沿着基板4的表面4a形成的基部; 以及在与支柱11对应的位置处从基部突出的突出部。间隙G由导体层6中的基部和突出部形成，其中在与突起方向垂直的方向上的间隙 支柱11逐渐减少。