公开(公告)号：FR2848021B1

公开(公告)日：2005-05-06

申请号：FR0214946

申请日：2002-11-28

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE

IPC: H01H59/00 ,  B81B7/02

Abstract: The invention relates to an electrostatic microswitch which is intended to connect electrically two strip conductors which are disposed on an insulating support ( 21 ), the two strip conductors are connected electrically by conducting means ( 38 ) which are provided in the central part of deformable means ( 28 ) which can be deformed in relation to the support under the effect of an electrostatic force generated by control electrodes ( 25, 48; 26, 58 ). The control electrodes are distributed facing one another on the deformable means and the support, such as to form capacitive means around the aforementioned conducting means. The control electrodes are associated with insulating stop elements ( 35, 36 ) which are provided in order to prevent a short circuit between electrodes of the capacitive means during the deformation of the deformable means. The distance between the deformable means and the ends of the strip conductors is less than or equal to the distance between the insulating stop elements associated with the control electrodes and the control electrodes located opposite.

公开(公告)号：FR2848020B1

公开(公告)日：2005-01-07

申请号：FR0214944

申请日：2002-11-28

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE

IPC: H01H59/00 ,  B81B7/02

公开(公告)号：FR2831705B1

公开(公告)日：2004-08-27

申请号：FR0113796

申请日：2001-10-25

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE

IPC: H01G5/04 ,  H01G5/18 ,  H01G5/06 ,  H01G5/16

Abstract: A MEMS micro-capacitor having a variable capacity is disclosed. The MEMS micro-capacitor has at least one fixed electrode ( 3 ) positioned on one surface of a substrate ( 1 ); bending means with respect to the surface of the substrate including at least one moveable electrode ( 5 ) located opposite the fixed electrode ( 3 ); a layer of solid dielectric material interposed between the fixed electrode and the moveable electrode; and means ( 5, 6 and 7 ) for applying a bending force to the bending means. The bending force is intended to move the moveable electrode ( 5 ) with respect to the fixed electrode ( 3 ) in order to obtain, between these electrodes, a capacity that varies according to the applied bending force. The bending means are designed to clamp the layer of dielectric material between the moveable electrode and the fixed electrode so as to obtain a variable surface of the clamped layer of dielectric material.

公开(公告)号：AU2003299341A1

公开(公告)日：2004-07-14

申请号：AU2003299341

申请日：2003-12-18

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： MAEDER-PACHURKA CATHERINE ,  SILLON NICOLAS ,  ROBERT PHILIPPE ,  MICHEL FRANCE

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00

公开(公告)号：FR2757941B1

公开(公告)日：1999-01-22

申请号：FR9616198

申请日：1996-12-30

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE ,  MICHEL FRANCE ,  GRANGE HUBERT

IPC: G01P9/00 ,  B81C1/00 ,  G01L9/00 ,  G01P15/02 ,  H01L29/84 ,  G01D5/00 ,  G01P15/00 ,  G01L7/00

Abstract: A process for making at least one suspended element uses an etching technique for micro-machining a structure comprising a substrate covered in sequence by a first layer called a stop layer made of a first material, and a second layer made of a second material in which the suspended element is formed. The process uses a dry etching technique using a gas with sufficient selectivity to enable etching of the second layer without etching the stop layer, under conditions defined to enable anisotropic etching of the second material, the etching being carried out according to a first phase to delimit the suspended element as far as the level of the stop layer and being continued in a second phase during which the suspended element is released by etching of the surface layer of the suspended element delimited in the first phase and which is adjacent to the stop layer.

公开(公告)号：FR3074358B1

公开(公告)日：2022-02-04

申请号：FR1761274

申请日：2017-11-28

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE ,  GIROUD SOPHIE

IPC: H01L21/98 ,  H01L21/02 ,  H01L21/56

Abstract: Procédé de réalisation d'un système d'encapsulation comportant : - la fabrication d'un premier élément comprenant, à partir d'un premier substrat, les étapes de formation d'une zone fragilisée de sorte définir une couche mince et une couche support, - l'assemblage du premier élément avec un deuxième élément de sorte que la couche mince soit disposée entre le deuxième élément et la couche support, - le retrait de la couche support par séparation de la couche support et de la couche mince au niveau de la zone fragilisée.

公开(公告)号：FR3105415A1

公开(公告)日：2021-06-25

申请号：FR1915477

申请日：2019-12-23

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： POLIZZI JEAN-PHILIPPE ,  ROBERT PHILIPPE ,  LOI SARA ,  PAGANI ALBERTO

IPC: G01L9/00

Abstract: Capteur autonome à membrane L’invention concerne un capteur autonome à membrane déformable comprenant un boitier (10) en deux parties (11, 12) assemblées entre elles et configurées pour former une cavité (100) étanche, un détecteur (20) configuré pour détecter une déformation de la membrane (13, 13a, 13b) déformable, un système de communication (21) sans fil configuré pour communiquer une donnée de déformation de la membrane (13, 13a, 13b) en dehors du boitier (10), et un système d’alimentation électrique (22) configuré pour alimenter le détecteur (20) et/ou le système de communication (21), le capteur étant caractérisé en ce que l’une au moins parmi les première et deuxième parties (11, 12) comprend une première zone (z1) présentant une épaisseur e1 et une deuxième zone (z2) présentant une épaisseur e2 telle que e2

公开(公告)号：FR3060551B1

公开(公告)日：2019-07-05

申请号：FR1662469

申请日：2016-12-15

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： COUTIER CAROLINE ,  FANGET STEPHANE ,  ROBERT PHILIPPE

IPC: B81B7/00 ,  H01L21/762

Abstract: La présente invention concerne un dispositif microélectronique comprenant un support 1 et au moins une membrane 3 suspendue sur une face 21 du support 1 au-dessus d'une cavité 34 par une zone d'ancrage 31, caractérisé par le fait qu'il comporte au moins une portion diélectrique 83 de raccordement de la membrane 3 au support 1, faite d'un matériau distinct de celui d'une partie principale de la membrane 3.

公开(公告)号：FR3075772A1

公开(公告)日：2019-06-28

申请号：FR1763159

申请日：2017-12-22

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  B82Y40/00

Abstract: Assemblage entre un composant (20) électromécanique MEMS et/ou NEMS et un boitier (1), le composant (20) électromécanique comportant au moins une structure suspendue (26) et mobile dotée d'au moins une zone (26a) de fixation sur laquelle une régions d'accueil (3) du boitier est fixée, la structure suspendue étant formée au moins partiellement dans un capot de protection (29) du composant ou dans une couche (25) distincte de celle dans laquelle l'élément sensible du composant est formé.

公开(公告)号：FR3060200B1

公开(公告)日：2018-12-14

申请号：FR1662276

申请日：2016-12-12

Applicant: COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE

Inventor： ROBERT PHILIPPE ,  LOUWERS STEPHANUS

IPC: B81B7/00 ,  H01L21/762 ,  B81C1/00 ,  H01L41/02

Abstract: La présente invention concerne un dispositif microélectronique comprenant : - un substrat (1) comportant en empilement une portion de base (10), une portion diélectrique (11) et une couche supérieure (12) à base de matériau semi-conducteur, - au moins un élément de raccordement électrique en un matériau électriquement conducteur situé au-dessus de la couche supérieure (12) et isolé électriquement de la couche supérieure au moins par une couche diélectrique (40), la couche diélectrique (40) étant au contact de la surface de la couche supérieure (12), - au moins un élément diélectrique comprenant au moins une tranchée (21) formant un contour fermé en périphérie ou au droit d'au moins une partie de l'élément de raccordement électrique élément diélectrique (2), située au moins en partie dans la couche supérieure (12) et délimitant une zone fermée de ladite couche supérieure, l'au moins un élément diélectrique (2) ayant une partie exposée à la surface de la couche supérieure, dispositif dans lequel la couche diélectrique (40) recouvre totalement la partie exposée de l'au moins un élément diélectrique (2).