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    二种以上树脂原料液的混合方法及其混合装置
    33.
    发明授权
    二种以上树脂原料液的混合方法及其混合装置 失效

    公开(公告)号：CN1088615C

    公开(公告)日：2002-08-07

    申请号：CN96104933.2

    申请日：1996-04-24

    Applicant: 株式会社理光

    Inventor： 佐藤明夫

    IPC: B01F11/02

    CPC classification number: B05B17/0623 ,  B01F11/02 ,  B05B7/00

    Abstract: 本发明涉及二种以上树脂原料液的混合方法，其特征是使输送通过反应才能固化的二种以上树脂原料液的各输送管6、7的树脂流出口6a、7a临近超声波传送用固体喇叭的侧表面3b，并且将超声波振动传给各树脂原料液，同时使各树脂原料液沿着上述侧表面3b流下，导向到上述超声波传送用固体喇叭3的顶端面3a时，在空中状态下混合各树脂原料液。

    基板処理方法、基板処理システムおよび記憶媒体
    35.
    发明专利
    基板処理方法、基板処理システムおよび記憶媒体 有权
    基板处理方法，基板处理系统和存储介质

    公开(公告)号：JP2015046442A

    公开(公告)日：2015-03-12

    申请号：JP2013175966

    申请日：2013-08-27

    Applicant: 東京エレクトロン株式会社 ,  Tokyo Electron Ltd

    Inventor： KANEKO MIYAKO ,  ORII TAKEHIKO ,  SUGANO ITARU

    IPC: H01L21/304

    CPC classification number: H01L21/02068 ,  B05B7/00 ,  B05B7/2497 ,  B05B12/14 ,  B05B13/0228 ,  B05B15/1207 ,  H01L21/02063 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/6715

    Abstract: 【課題】ドライエッチング後またはアッシング後に基板上に残存する反応生成物を基板へのダメージを抑えつつ除去すること。【解決手段】実施形態に係る基板処理方法は、処理液供給工程と、除去液供給工程とを含む。処理液供給工程は、ドライエッチング後またはアッシング後の基板に対し、揮発成分を含み基板上に膜を形成するための処理液を供給する。除去液供給工程は、揮発成分が揮発することによって基板上で固化または硬化した処理液に対して処理液を除去する除去液を供給する。【選択図】図8

    Abstract translation: 要解决的问题：在干蚀刻或灰化之后除去残留在基板上的反应产物，同时抑制基板上的损坏。解决方案：基板处理方法包括：工艺液体供给步骤; 和去除液体供给步骤。 在工艺液体供给步骤中，在干蚀刻或灰化之后，将含有挥发性成分并用于在基板上形成膜的处理液供给到基板。 在去除液体供给步骤中，用于除去处理液的去除液体通过挥发性成分的挥发被供给到在基板上固化或固化的处理液。

    Continuous in-line manufacturing process for high-speed coating welding by dynamic spray treatment
    36.
    发明专利
    Continuous in-line manufacturing process for high-speed coating welding by dynamic spray treatment 审中-公开
    通过动态喷雾处理进行高速涂层焊接的连续制造工艺

    公开(公告)号：JP2006116532A

    公开(公告)日：2006-05-11

    申请号：JP2005272700

    申请日：2005-08-23

    Applicant: Delphi Technologies Inc ,  デルファイ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド

    Inventor： HAN TAEYOUNG ,  ZHAO ZHIBO ,  GILLISPIE BRYAN A ,  SMITH JOHN R ,  ROSEN JOHN S JR

    IPC: B05D1/12 ,  B05B7/04 ,  B05B7/14 ,  B05D3/12 ,  C23C24/08

    CPC classification number: C23C24/04 ,  B05B7/00

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an improved dynamic spray system and a method for using the same in a high-speed manufacturing environment. SOLUTION: The improved dynamic spray nozzle system is equipped with a gas/powder exchange chamber 49 connected to a first end of a powder/gas adjusting chamber 80 and a convergent diffusion ultrasonic wave nozzle 54. The ultrasonic wave nozzle has a convergent compartment separated from a diffusion compartment by a throat section 58, and the diffusion compartment is provided with a first section 59A and a second section 59B, and the diffusion compartment is connected to a second end opposed to the first end of the powder/gas adjustment chamber. The method includes the use of the disclosed nozzle system by adding hard particles capable of maximizing a particle temperature while the nozzle is not being plugged, controlling a particle supply speed so as to match a desired very high supply speed and preheating a substrate to wash the substrate and to increase the connectivity of the particles. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种改进的动态喷雾系统及其在高速制造环境中的使用方法。 解决方案：改进的动态喷嘴系统配备有连接到粉末/气体调节室80和会聚扩散超声波喷嘴54的第一端的气体/粉末更换室49.超声波喷嘴具有会聚 隔间通过喉部58与扩散室隔开，并且扩散室设置有第一部分59A和第二部分59B，并且扩散室连接到与粉末/气体调节的第一端相对的第二端 室。 该方法包括通过在喷嘴未被堵塞的同时添加能够最大化颗粒温度的硬颗粒来使用所公开的喷嘴系统，控制颗粒供应速度以匹配期望的非常高的供应速度并预热基板以洗涤 底物并增加颗粒的连接性。 版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

    耐磨耗性が向上されたシフトフォーク及びその製造方法
    38.
    发明专利
    耐磨耗性が向上されたシフトフォーク及びその製造方法 审中-公开
    具有改进的耐磨性及其制造方法的转台

    公开(公告)号：JP2016050673A

    公开(公告)日：2016-04-11

    申请号：JP2014228293

    申请日：2014-11-10

    Applicant: 現代自動車株式会社 ,  HYUNDAI MOTOR COMPANY

    Inventor： 鄭 民 均 ,  安 正 ウク

    IPC: F16H63/30

    CPC classification number: F16H63/32 ,  B05B7/00 ,  B32B15/01 ,  C23C4/06

    Abstract: 【課題】シフトフォークのパッド部に高耐磨耗性、低摩擦のコーティング層を形成し、既存のシフトフォークより耐磨耗性が向上されたシフトフォーク及びその製造方法を提供する。 【解決手段】モリブデン(Mo)の溶射コーティング層110と銅(Cu)の溶射コーティング層120とが交互に形成されたコーティング層100の2層以上が、パッド部200の表面に形成され、前記コーティング層100において、パッド部200に接する層は、モリブデン(Mo)の溶射コーティング層110であり、外部に露出されるコーティング層は、銅(Cu)の溶射コーティング層120であることを特徴とする。 【選択図】図2

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种在换档拨叉的衬垫部分形成具有高耐磨性和低摩擦力的涂层的换档叉，并且比现有的换档叉具有更高的耐磨性，并提供了一种换挡的制造方法 叉形件。在衬垫部件200的表面上形成两层或多层涂覆层100，其中由钼（Mo）制成的喷涂层110和由铜（Cu）制成的喷涂层120交替形成 在涂层100中，与焊盘部200相邻的层是由钼（Mo）制成的喷涂层110，暴露于外部的涂层是由铜（Cu）制成的喷涂层120。 ：图2

    成膜装置および成膜方法
    40.
    发明专利
    成膜装置および成膜方法 审中-公开
    膜沉积装置和膜沉积方法

    公开(公告)号：JP2016172889A

    公开(公告)日：2016-09-29

    申请号：JP2015052742

    申请日：2015-03-16

    Applicant: 株式会社東芝

    Inventor： 三田 浩史 ,  南雲 英一 ,  齋藤 誠

    IPC: B05B12/10 ,  B05B7/22 ,  B05B12/08 ,  H05H1/26 ,  H05H1/00 ,  C23C4/12

    CPC classification number: B05B7/00 ,  B05B7/22 ,  C23C4/134

    Abstract: 【課題】成膜の再現性がより向上する成膜装置および成膜方法を提供する。 【解決手段】実施形態によれば、成膜装置は、プラズマガンと、検知部と、制御部と、を備える。プラズマガンは、プラズマガスを噴出し、プラズマガスが晒される加工対象物に膜を形成することが可能とされる。検知部は、プラズマガスが噴出される方向におけるプラズマガス中の温度または発光強度を検知する。制御部は、検知部から取得した温度または発光強度に基づいて、温度が第1温度以上第2温度以下の範囲にあるプラズマガス、または、発光強度が第1発光強度以上第2発光強度以下の範囲にあるプラズマガスが加工対象物に照射されるように、加工対象物とプラズマガンとの距離を制御する。 【選択図】図1

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种提高膜沉积再生性和成膜方法的成膜装置。解决方案：根据一个实施方案，成膜装置包括等离子体枪，检测部分和控制部分。 等离子体枪能够发射等离子体气体并在暴露于等离子体气体的工件上形成膜。 检测部检测等离子体气体排出方向上的等离子体气体的温度或发光强度。 控制部分控制工件和等离子体枪之间的距离，使得基于从检测部分获得的温度或发光强度，等离子体气体被发射到工件，该等离子体气体的温度在 第一温度以上且第二温度以下，或者发光强度的等离子体气体处于第一发光强度以上且第二发光强度以下的范围内。图1

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