一种柔性压力传感器与薄膜晶体管的集成器件及制备方法

    公开(公告)号:CN105841849A

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201610181526.3

    申请日:2016-03-25

    CPC classification number: G01L1/16 G01L9/08

    Abstract: 一种柔性压力传感器与薄膜晶体管的集成器件及其制备方法,属于传感器领域。包括底层柔性衬底,位于底层柔性衬底之上的栅电极和压力传感器电极,位于栅电极之上的有源层,位于部分栅电极、部分底层柔性衬底、传感器电极之上的敏感层,位于有源层之上的绝缘层,位于绝缘层之上的源漏电极,覆盖源漏电极和敏感层的顶层封装层。本发明将压力传感器与薄膜晶体管集成在一起,压力传感器对压力的响应带来了电流值的改变,薄膜晶体管通过输出的电流值即可实现对压力的检测,该集成器件既实现了压力的检测,又能将信号进行放大输出,有效实现了传感器与电路的结合,且具有低成本、高灵敏度、低驱动电压、响应快、放大检测信号等优点。

    一种无线测量泵叶轮叶片表面压力的系统及方法

    公开(公告)号:CN105823581A

    公开(公告)日:2016-08-03

    申请号:CN201610313161.5

    申请日:2016-05-12

    Applicant: 江苏大学

    CPC classification number: G01L1/16 G08C17/02

    Abstract: 本发明水泵技术领域,具体公开了一种无线测量泵叶轮叶片表面压力的系统及方法。本系统包括无线压电薄膜传感器、信号接收装置、数据采集和监控系统、计算机;具体工作过程为:无线压电薄膜传感器贴在泵叶轮叶片工作面和叶片背面,每个无线压电薄膜传感器上布置N个压力探测器,并将测量的压力信号转换为数字信号,再由无线信号发出装置发送到信号接收装置,进而将数字信号传输到数据采集和监控系统;所有数字信号采集完毕之后,传输到计算机进行压力信号分析。本发明对叶轮叶片的损坏较小,不仅能解决现有的测量方法适用性低、安装复杂等问题,还具有精度高、抗干扰性能好等优点。

    一种压敏传感器阵列的信号处理电路及方法

    公开(公告)号:CN105628263A

    公开(公告)日:2016-06-01

    申请号:CN201610006038.9

    申请日:2016-01-01

    Inventor: 李晓

    Abstract: 本发明公开了一种压敏传感器阵列的信号处理电路,其包括一个M行N列的压敏传感器阵列,以及可以输出正负激励电压的激励源;所述传感器阵列的同一行的传感器单元的正输出短接作为该行的输出,所述传感器阵列同一列的传感器单元的负输出短接作为该列的输出,因此整个传感器阵列具有一个正激励输入、一个负激励输入、M个行输出信号,以及N个列输出信号。该信号处理电路及方法可以显著减少传感器输出信号线的个数,减小连线面积、提高可靠性、降低后续芯片的输入通道、减少模拟信号转数字信号的转换次数,降低整个系统成本和体积。

    应力检测元件、传感器组件以及电子设备

    公开(公告)号:CN102809451B

    公开(公告)日:2016-02-03

    申请号:CN201210177719.3

    申请日:2012-05-31

    CPC classification number: G01L1/16 G01L1/26 G01L5/228

    Abstract: 本发明提供一种应力检测元件,传感器组件以及电子设备。该应力检测元件具备:传感器基板,具备具有相互平行的第一直线部及第二直线部的开口部;支撑膜,用于封闭开口部;第一压电元件,在俯视图中,以沿第一直线部且跨开口部的内外的方式设置在支撑膜上;第一弹性部,在俯视图中,以沿第一直线部且跨开口部的内外的方式设置在支撑膜上;第二弹性部,在俯视图中,以沿第二直线部且跨开口部的内外的方式设置在支撑膜上,第一弹性部的第一弹性端部以及第二弹性部的第二弹性端部之间存在间隔。

    数字电荷放大器及将电荷信号转换成数字信号的方法

    公开(公告)号:CN102668372B

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201080053394.7

    申请日:2010-11-18

    CPC classification number: H03F3/70 G01L1/16 G01L9/08 H03F1/304

    Abstract: 本发明涉及一种电荷放大器电路,该电荷放大器电路将由压电测量元件输出的正负电荷信号Q转换成数字信号D,该数字信号D与测量元件处存在的测量值成比例。该电路包括将所检测的电荷Q转换成电压U2的电荷放大器V1,电荷放大器V1具有电荷输入端和电压输出端,其中包括两个输出端的补偿电路K连接在电荷放大器V1的电压输出端的下游,并且其中第一输出端连接至电荷放大器V1的电荷输入端,以及第二输出端连接至具有两个输入端Z+、Z-的计数器Z。一方面,补偿电路K能够分别产生补偿电荷Qk+或Qk-,补偿电荷Qk+或Qk-与所述电压U2成比例,并且为了补偿所述输入信号Q,补偿电荷Qk+或Qk-能够通过第一输出端被传输到电荷放大器V1的电荷输入端,以及另一方面,补偿电路能够产生多个与所产生的每一个补偿电荷Qk+或Qk-的大小成比例的脉冲P+、P-,并且所述多个脉冲能够通过第二输出端被传输到与特定补偿电荷Qk+或Qk-的符号相反的计数器Z的输入端Z-、Z+,其中与之前输入的所述电荷量的总和成比例的理想的数字信号D在计数器Z的输出端处为可用的。本发明还涉及一种在这样的电路上执行的方法。

Patent Agency Ranking