公开(公告)号：US08477316B2

公开(公告)日：2013-07-02

申请号：US12743964

申请日：2008-10-01

Applicant: Wolfgang Holzapfel

Inventor： Wolfgang Holzapfel

IPC: G01B11/02

CPC classification number: G01B9/0207 ,  G01B9/02027 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/60 ,  G01N21/3504 ,  G01N21/3554 ,  G01N2201/023

Abstract: In an interferometer system and a method for its operation, the interferometer system includes an interferometer having an interferometer light source whose emitted radiation is able to be split into a measuring arm and a reference arm, an object to be measured being disposed in the measuring arm, and the interferometer delivering interferometer signals as a function of the position of the object to be measured. In addition, a detecting device is provided for detecting fluctuations in the refractive index of the air in the measuring arm and/or reference arm. The detecting device includes a spectrometer unit; the spectrometer unit has at least one spectrometer light source, as well as at least one spectrometer detector unit. The bundles of rays emitted by the spectrometer light source are superimposed on the bundles of rays from the interferometer light source, the spectrometer light source emitting radiation having a wavelength which lies in the range of an absorption line of at least one specific air component. The spectrometer detector unit is used to generate spectrometer signals which characterize the absorption of the air component in terms of the spectrometer light-source wavelength in the measuring arm and/or reference arm.

Abstract translation: 在干涉仪系统及其操作方法中，干涉仪系统包括具有干涉仪光源的干涉仪，其发射的辐射能够被分裂成测量臂和参考臂，待测量物体设置在测量臂 并且干涉仪将干涉仪信号作为待测量物体的位置的函数传递。 此外，提供了一种用于检测测量臂和/或参考臂中的空气的折射率的波动的检测装置。 检测装置包括光谱仪单元; 光谱仪单元具有至少一个光谱仪光源，以及至少一个光谱仪检测器单元。 由光谱仪光源发射的光线束被叠加在来自干涉仪光源的光束上，发射辐射的光谱仪光源具有位于至少一个特定空气分量的吸收线范围内的波长。 光谱仪检测器单元用于产生表征测量臂和/或参考臂中的光谱仪光源波长的空气分量的吸收的光谱仪信号。

公开(公告)号：US08154728B2

公开(公告)日：2012-04-10

申请号：US12347368

申请日：2008-12-31

Applicant: Xuejiao Hu ,  Alfred Feitisch

Inventor： Xuejiao Hu ,  Alfred Feitisch

IPC: G01N21/00 ,  H01S3/04

CPC classification number: G01N21/39 ,  G01N2201/022 ,  G01N2201/023 ,  G01N2201/0231

Abstract: Thermally controlled enclosures that can be used with gas analyzers are described. The enclosures incorporate one or more phase changing materials that buffer ambient and internal heat loads to reduce the power consumption demand of mechanical or electronic heating apparatus. Maintenance of gas analyzer equipment at a consistent temperature can be important to achieving stable and reproducible results. Related systems, apparatus, methods, and/or articles are also described.

Abstract translation: 描述了可用于气体分析仪的热控制外壳。 外壳采用缓冲环境和内部热负荷的一种或多种相变材料，以减少机械或电子加热设备的功耗需求。 在一致的温度下维护气体分析仪设备对于获得稳定和可重现的结果是重要的。 还描述了相关系统，装置，方法和/或制品。

公开(公告)号：US20050231719A1

公开(公告)日：2005-10-20

申请号：US11151218

申请日：2005-06-13

Applicant: Allan Rosencwaig ,  Lanhua Wei

Inventor： Allan Rosencwaig ,  Lanhua Wei

IPC: G01J4/04 ,  G01N21/21 ,  G01N21/95 ,  H01L21/00 ,  H01L21/306 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/02046 ,  G01N21/211 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/0227 ,  G01N2201/023 ,  H01L21/02054 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67115 ,  H01L22/20

Abstract: A method for improving the measurement of semiconductor wafers is disclosed. In the past, the repeatability of measurements was adversely affected due to the unpredictable growth of a layer of contamination over the intentionally deposited dielectric layers. Repeatability can be enhanced by removing this contamination layer prior to measurement. This contamination layer can be effectively removed in a non-destructive fashion by subjecting the wafer to a cleaning step. In one embodiment, the cleaning is performed by exposing the wafer to microwave radiation. Alternatively, the wafer can be cleaned with a radiant heat source. These two cleaning modalities can be used alone or in combination with each other or in combination with other cleaning modalities. The cleaning step may be carried out in air, an inert atmosphere or a vacuum. Once the cleaning has been performed, the wafer can be measured using any number of known optical measurement systems.

Abstract translation: 公开了一种改善半导体晶片测量的方法。 在过去，由于在有意沉积的介电层上的污染层的不可预测的增长，测量的重复性受到不利影响。 在测量之前，通过去除这个污染层可以提高重复性。 通过使晶片进行清洁步骤，可以非破坏性地有效地去除该污染层。 在一个实施例中，通过将晶片暴露于微波辐射来进行清洁。 或者，可以用辐射热源清洁晶片。 这两种清洁方式可以单独使用或彼此组合使用或与其他清洁模式组合使用。 清洁步骤可以在空气，惰性气氛或真空中进行。 一旦执行了清洁，就可以使用任何数量的已知光学测量系统测量晶片。

公开(公告)号：WO2016208424A1

公开(公告)日：2016-12-29

申请号：PCT/JP2016/067391

申请日：2016-06-10

Applicant: 国立大学法人京都大学 ,  株式会社マサインタナショナル

Inventor： 田中　佑 ,  秋山　重之

IPC: G01N21/03

CPC classification number: G01N21/3504 ,  G01N21/03 ,  G01N33/004 ,  G01N33/0098 ,  G01N2201/023

Abstract: 応答性が高くノイズが低いＮＤＩＲ式のガスセンサを提供する。ガスセンサ５は、赤外線を放射する放射部５０と、放射部５０により放射された赤外線を検出する検出部５１と、赤外線の経路に沿って放射部５０及び検出部５１間に渡って設けられ、赤外線の経路周り全体を覆う試料セル６と、を備える。試料セル６は、赤外線の経路に沿ってのびる複数のセル要素６０、６１からなる。隣り合うセル要素６０、６１の側部は、互いに間隔をあけて重なっている。

Abstract translation: 提供了具有高响应度和低噪声水平的NDIR气体传感器。 该气体传感器5设置有：发射红外线的发射单元50; 检测由发光单元50发射的红外线的检测单元51; 以及沿着红外线的路径从发射单元50延伸到检测单元51并围绕红外线的路径覆盖整个周边的样品池6。 样品池6由沿着红外线的路径延伸的多个电池元件60,61构成。 彼此相邻的电池元件60和61的侧部在它们之间具有空间。

公开(公告)号：WO2015052118A1

公开(公告)日：2015-04-16

申请号：PCT/EP2014/071307

申请日：2014-10-06

Applicant: RUDOLPH TECHNOLOGIES GERMANY GMBH

Inventor： MÖLLMANN, Felix ,  DREWS, Dietrich ,  WENZ, Holger

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687

CPC classification number: H01L21/68707 ,  G01N21/01 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/023 ,  H01L21/68 ,  H01L21/6838 ,  H01L21/68721 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/68764

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Halte- und Drehvorrichtung für flache Objekte, die eine Objektebene definieren, mit einer um eine Rotationsachse drehbaren Greifer-Einrichtung, die eine Mehrzahl von Kantengreifern aufweist und die eingerichtet ist, das Objekt in einer in allen Raumrichtungen definierten Lage zu fixieren, in der die Objektebene senkrecht zur Rotationsachse ausgerichtet ist, und einem mit der Greifer-Einrichtung gekoppelten Rotationsantrieb, der eingerichtet ist, die Greifer-Einrichtung mit dem Objekt um die Rotationsachse in Drehung zu versetzen. Die Erfindung ist durch eine Einrichtung zur Abstandspositionierung gekennzeichnet, die eingerichtet ist, eine senkrecht zur Objektebene gerichtete Stützkraft berührungslos gegen das Objekt aufzubringen.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于平面物体，定义对象平面上的保持和旋转装置，其包括围绕旋转轴夹持器的可旋转的装置，具有多个边缘夹具并适于固定对象以在所有空间方向上定义的能够 其中，对象平面垂直于旋转轴线定向，并且耦接至夹持器旋转驱动装置的输出，其布置成与位移在绕旋转轴旋转所述物体的夹紧装置。 本发明的特征在于距离定位装置，其适于施加垂直指向物体面支持针对对象力而不接触。

公开(公告)号：WO2013048446A1

公开(公告)日：2013-04-04

申请号：PCT/US2011/054283

申请日：2011-09-30

Applicant: HEWLET-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P. ,  WU, Wei ,  LI, Zhiyong ,  KIM, Ansoon ,  HU, Min ,  STUKE, Michael Josef

Inventor： WU, Wei ,  LI, Zhiyong ,  KIM, Ansoon ,  HU, Min ,  STUKE, Michael Josef

IPC: G01N1/36 ,  G01N21/64 ,  G01N21/65 ,  G01N33/00

CPC classification number: G01N31/22 ,  B01L3/5085 ,  B01L3/50853 ,  B01L2200/141 ,  B01L2300/0636 ,  B01L2300/069 ,  B01L2300/0819 ,  B82Y15/00 ,  G01N21/648 ,  G01N21/658 ,  G01N2201/0227 ,  G01N2201/023 ,  Y10T436/25

Abstract: Devices to detect a substance and methods of producing such a device are disclosed. An example device to detect a substance includes a housing defining an externally accessible chamber and a seal to enclose at least a portion of the chamber. The example device also includes a substrate includes nanoparticles positioned within the chamber. The nanoparticles to react to the substance when exposed thereto. The example device also includes a non-analytic solution within the chamber to protect the nanoparticles from premature exposure.

Abstract translation: 公开了检测物质的装置和制造这种装置的方法。 用于检测物质的示例性装置包括限定外部可触及室的壳体和用于封闭室的至少一部分的密封件。 该示例性装置还包括基底，其包括位于腔室内的纳米颗粒。 纳米颗粒暴露于物质时与物质反应。 该示例性装置还包括室内的非分析溶液以保护纳米颗粒免于过早暴露。

公开(公告)号：WO2005003744A1

公开(公告)日：2005-01-13

申请号：PCT/JP2004/008711

申请日：2004-06-21

Applicant: 和光純薬工業株式会社 ,  藤田 崇 ,  山本 幸子 ,  山田 浩之 ,  赤羽 和

Inventor： 藤田 崇 ,  山本 幸子 ,  山田 浩之 ,  赤羽 和

IPC: G01N21/78

CPC classification number: G01N21/76 ,  G01N2201/023

Abstract: 　試料中の特定成分に起因する物質のエネルギー変動により光を生じさせる溶液表面に、測光室内の雰囲気中の電荷が移動することを防止して当該光を測定し、その測定値に基づいて当該特定成分の量を求めることを特徴とする測定方法及びそれに用いられる装置を開示する。 　本発明に係る測定方法によれば、分光測定装置を用いて行う試料中の特定成分の測定に於いて、シグナル値の日差変動が起きることや、バックグラウンドが高くなる等の問題を解決し、微量成分を高精度且つ高感度の測定を行うことができる。

Abstract translation: 一种测量方法，其特征在于包括以下步骤：测量由样品中特定组分引起的物质的能量变化产生的光，同时防止光度计室中的气氛中的电荷移动到光照的溶液的表面上 根据测量产生并确定特定成分的量; 以及用于该方法的装置。 测量方法可以解决信号值的日常变化以及通过使用光谱测量装置测量样品中的特定成分的背景变得更高的问题，并且可以高精度地测量痕量的组分， 灵敏度高。

公开(公告)号：WO2015081072A1

公开(公告)日：2015-06-04

申请号：PCT/US2014/067329

申请日：2014-11-25

Applicant: APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD. ,  APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： RICE, Michael R. ,  NAFTALI, Ron ,  SCHLIMOFF, Natan ,  KRIVTS (KRAYVITZ), Igor ,  AVNERI, Israel ,  UZIEL, Yoram ,  ROZENBERG, Zvika ,  ADMONI, Erez ,  MADMON, Yochanan

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01J37/18 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/023 ,  G02B21/26 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/202 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67242

Abstract: Chamber elements defining an internal chamber to be utilized during a substrate related stage selected from the group consisting of substrate manufacturing stage and substrate inspection stage, the chamber elements comprising: a first element having a first surface; a second element having a second surface about the periphery of the internal chamber; a third element connected to the second element; and a clamping mechanism that is connected to the second and third elements and is arranged to press the second element towards the first element; wherein a first area of the first surface and a second area of the second surface come into proximity with each other at a first interface; wherein the first surface is positioned above the second surface; wherein a gas groove and a vacuum groove are formed in the second area; wherein the second element comprises a gas conduit that is arranged to provide gas to the gas groove and a vacuum conduit that is arranged to provide vacuum to the vacuum groove; wherein a provision of the gas and the vacuum assists in a formation of a gas cushion between the first and second areas; wherein the chamber elements are operable to partially surround a first portion of a movement system and a substrate during the substrate related stage, the movement system is arranged to introduce a movement of the first element in relation to the second element and the third element, wherein the gas cushion maintains predefined conditions in the internal chamber during the movement.

Abstract translation: 腔室元件限定在从由衬底制造阶段和衬底检查阶段组成的组中选择的衬底相关阶段期间被利用的内部室，所述室元件包括：具有第一表面的第一元件; 第二元件，其具有围绕所述内部腔室的周边的第二表面; 连接到第二元件的第三元件; 以及夹紧机构，其连接到所述第二和第三元件并且被布置成朝向所述第一元件按压所述第二元件; 其中所述第一表面的第一区域和所述第二表面的第二区域在第一界面处彼此接近; 其中所述第一表面位于所述第二表面上方; 其中在所述第二区域中形成气体槽和真空槽; 其中所述第二元件包括气体管道，所述气体管道被布置成向所述气体槽提供气体;以及真空管道，其布置成向所述真空槽提供真空; 其中所述气体和所述真空的提供有助于在所述第一和第二区域之间形成气垫; 其中所述室元件可操作以在所述基板相关级期间部分地包围运动系统和基板的第一部分，所述运动系统布置成引入所述第一元件相对于所述第二元件和所述第三元件的运动，其中 气垫在运动过程中保持内腔中的预定条件。

公开(公告)号：WO2013025966A1

公开(公告)日：2013-02-21

申请号：PCT/US2012/051267

申请日：2012-08-17

Applicant: LI-COR, INC. ,  KOULIKOV, Serguei ,  KACHANOV, Alexander

Inventor： KOULIKOV, Serguei ,  KACHANOV, Alexander

IPC: G01N21/39

CPC classification number: G01N21/39 ,  G01J3/4338 ,  G01N21/1702 ,  G01N21/59 ,  G01N21/61 ,  G01N29/2425 ,  G01N2021/1704 ,  G01N2201/023 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2291/021

Abstract: Systems and methods for measuring the isotope ratio of one or more trace gases and/or components of gas mixtures such as different gas species present in a gas mixture. The system includes a resonant optical cavity having two or more mirrors and containing a gas, the cavity having a free spectral range that equals the difference between frequencies of two measured absorption lines of different gas species in the gas, or of two different isotopes, divided onto an integer number. The system also includes a continuous-wave tunable laser optically coupled with the resonant optical cavity, and a detector system for measuring an absorption of laser light by the gas in the cavity. The detector system includes one of a photo-detector configured to measure an intensity of the intra-cavity light or both a photo- acoustic sensor configured to measure photo-acoustic waves generated in the cavity and a photo-detector configured to measure an intensity of the intra-cavity light.

Abstract translation: 用于测量气体混合物中存在的气体混合物（例如不同气体物质）的一种或多种痕量气体和/或组分的同位素比的系统和方法。 该系统包括具有两个或更多个反射镜并且包含气体的谐振光学腔，空腔具有等于气体中不同气体种类或两个不同同位素的两个测量的吸收线的频率之间的差的自由光谱范围 到一个整数。 该系统还包括与谐振光腔光学耦合的连续波可调谐激光器，以及用于测量腔内的气体对激光的吸收的检测器系统。 检测器系统包括被配置为测量腔内光的强度的光检测器或者被配置为测量在空腔中产生的光声波的光声传感器的光检测器和被配置为测量腔内光的强度的光检测器 腔内光。

公开(公告)号：WO2008123196A1

公开(公告)日：2008-10-16

申请号：PCT/JP2008/055439

申请日：2008-03-24

Applicant: NUエコ・エンジニアリング株式会社 ,  株式会社片桐エンジニアリング ,  堀 勝 ,  加納 浩之 ,  田 昭治

Inventor： 堀 勝 ,  加納 浩之 ,  田 昭治

IPC: H05H1/00 ,  G01N21/01 ,  G01N21/31 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H05H1/0025 ,  G01N21/15 ,  G01N21/3103 ,  G01N2021/158 ,  G01N2201/023 ,  G01N2201/0233 ,  G01N2201/061

Abstract: 【課題】プラズマの状態を乱すことなく、粒子密度を正確に測定できる光源を実現すること。 【解決手段】本光源は、管状の筐体１２と、筐体の内壁に沿って設けられた、冷却媒体を流通させる冷却媒体流通路３０と、筐体の先端に配設されたレンズ５０と、レンズの手前であって、筐体内部において、その筐体の軸に垂直に、相互に平行に、配設された第１電極４４及び第２電極４６と、その間に配設された絶縁スペーサ４６とを有する。第１電極、絶縁スペーサ及び第２電極の中央部を軸の方向に貫通する孔４７を有する。冷却媒体流通路の内壁に沿って、放電ガスを、レンズの裏面に向かって導入し、レンズで反射させて、孔を通して、流通させる放電ガス流通路を設けた。

Abstract translation: [问题]实现能够精确测量颗粒密度而不干扰等离子体条件的光源。 解决问题的手段光源具有管状壳体（12），沿着壳体的内壁设置的允许冷却介质在通道中流动的冷却介质通道（30），设置有透镜（50） 在壳体的前端处设置有第一电极（44）和第二电极（45），所述第一电极（44）和第二电极（45）设置在位于透镜的该侧面上且位于壳体内的位置，以垂直于壳体的轴线并平行于每个 以及设置在第一和第二电极之间的绝缘间隔物（46）。 一个孔（47）轴向延伸穿过第一电极，绝缘垫片和第二电极的中心。 光源还具有放电气体通道，用于沿着冷却介质通道的内壁朝向透镜的后表面引入放电气体，并使放电气体被透镜反射，以允许气体流过 那个洞。