一种可调角度的单色仪型凹面全息光栅、光谱仪及方法

    公开(公告)号:CN119860843A

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202510147800.4

    申请日:2025-02-11

    Applicant: 吉林大学

    Abstract: 本发明属于ICP光谱分析技术领域,尤其涉及一种可调角度的单色仪型凹面全息光栅、光谱仪及方法;所述全息光栅中伺服电机与丝杆机构连接,能够驱动丝杆机构的丝杆转动,光杆轴承连接在连接块上,连接块固定在丝杆机构活动端,单色仪型凹面全息光栅本体连接在移动底座上,光杆一端与单色仪型凹面全息光栅本体接触,另一端配合在光杆轴承内;本发明采用2片DMD与单色仪型凹面全息光栅实现空间成像光谱分析的方式,第一片DMD实现ICP等离子炬的空间位置选择,单色仪型全息光栅实现高效率、结构简单的旋转光栅式分光,选用第二片DMD作为可调宽度的出射狭缝对所选波段进行精细分光,从而实现系统对ICP等离子炬的空间成像光谱分析。

    一种联合滤光片多光谱成像传感器及方法

    公开(公告)号:CN119860842A

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202510088948.5

    申请日:2025-01-21

    Abstract: 一种联合滤光片多光谱成像传感器及方法。涉及传感器技术领域,具体涉及联合滤光片多光谱成像技术领域。其有效解决了现有技术无法兼顾宽范围和高精度的光谱调节问题,提高了多光谱谱段选取和弱小目标探测识别的精度。所述成像传感器包括:成像传感器、优化后的多光谱滤光片阵列和优化后的液晶可调谐滤光片;所述成像方法包括如下步骤:目标背景图像射入联合滤光片多光谱传感器,得到N个波段的窄波段光和待调谐的光;将N个波段的窄波段光和待调谐的光转化为图像信号;恢复三维光谱图象,粗探测联合滤光片多光谱传感器;精调节联合滤光片多光谱传感器;光谱成像。

    一种声光可调谐滤波式光谱成像仪带宽调控方法

    公开(公告)号:CN116659666B

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202310636594.4

    申请日:2023-06-01

    Abstract: 一种声光可调谐滤波式光谱成像仪带宽调控方法,通过多个光谱通道信号的叠加实现光谱带宽调控,该方法包括以下步骤:(1)根据实际需求确定目标光谱带宽、叠加工作波段数和起始波段中心波长;(2)根据目标光谱带宽、叠加工作波段数、起始波段中心波长和光谱成像仪的光谱特性,计算参与叠加的工作波段中心波长;(3)根据实际需求确定第一个工作波段的积分时间;(4)根据光谱成像仪的衍射效率、量子效率和第一个工作波段的积分时间,计算其它工作波段的积分时间;(5)根据各波段的积分时间计算探测器实际积分时间;(6)设置光谱成像仪射频驱动与探测器的工作模式为同步硬件触发;(7)完成声光可调谐滤波式光谱成像仪带宽调控。

    一种用于太赫兹时域光谱系统的光功率自适应调节方法及装置

    公开(公告)号:CN113670849B

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202110927145.6

    申请日:2021-08-13

    Abstract: 本发明公开了一种用于太赫兹时域光谱系统的光功率自适应调节装置及方法,其包括飞秒激光器、发射电控可调衰减器、探测电控可调衰减器、发射光分路器、探测光分路器和电控可调衰减器电源控制单元,光功率转换输送模块、主控MCU和上位机PC;主控MCU采集、解析光功率转换输送模块发来的光功率信号,与对应发射端光功率阈值或探测端光功率阈值进行对比,向电控可调衰减器电源控制单元输出对应脉冲占空比信号,电控可调衰减器电源控制单元基于接收的脉冲占空比信号向发射电控可调衰减器和探测电控可调衰减器输出电压。其通过主控MCU和电控可调衰减器电源控制单元的协同作用,实现EVOA的自适应调整,调试简易、响应速度快、控制精度高、成本低。

    半导体设备的状态的多传感器确定

    公开(公告)号:CN119856266A

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202380063958.2

    申请日:2023-08-29

    Abstract: 提供用于半导体设备的状态的多传感器确定的方法和装置。在本文公开的一些实施方案中,半导体制造设备可以包括:多个传感器,其包括设置于该半导体制造周围的一个或更多个空间传感器、一个或更多个光谱传感器、以及一个或更多个时间传感器;以及控制器,其可通信耦合到多个传感器,控制器被配置为使得:从多个传感器确定信号组,以在由半导体制造设备执行的工艺期间进行监控;在工艺期间,从多个传感器获得与信号组相关的测量结果;以及基于从与信号组相关的测量结果所产生的数据的组合来确定半导体制造设备的状态的指示。

    基于位置调控目标重建的分布式偏振探测系统与方法

    公开(公告)号:CN119845418A

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202510345835.9

    申请日:2025-03-24

    Abstract: 本发明公开了一种基于位置调控目标重建的分布式偏振探测系统与方法,属于分布式偏振协同探测和光电成像领域,分布式偏振探测系统包括照明装置、多参量辅助探测载物台和长波红外偏振探测装置,长波红外偏振探测装置具有三个子偏振探测装置,该方法基于分布式偏振探测系统进行实施,通过基于位置调控目标重建的分布式偏振探测系统能够在同一时间采集三个不同方位的偏振信息,提高单一角度下伪装/类似目标的识别能力和避免因时间延迟导致的误差。合理分布探测位置所获取的偏振信息相互补充、偏振图像相互融合,有效地从散射光中提取目标信号分析干扰光和目标反射光的偏振特性差异,有助于提高偏振成像的分辨率、对比度和探测距离。

    测色装置
    38.
    发明授权

    公开(公告)号:CN115112240B

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202210260288.0

    申请日:2022-03-16

    Abstract: 本发明涉及测色装置。在经由设置于框体底面的开口部将从测定对象发来的光取入到装置内部的测色装置中采用冲击缓冲构造的情况下,若开口部与装置主体的位置不规则地偏移,则存在无法进行适当的测定的隐患。设置于框体内的装置内部单元具备:固定单元,与开口部形成构件连结;可动单元,是具备入射光处理部的单元,能够相对于固定单元在沿着光轴的第一方向上位移;以及至少一个弹性构件,利用弹性力保持可动单元相对于固定单元的第一方向上的位置。

    分光测定装置及分光测定方法
    39.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119836563A

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202380063914.X

    申请日:2023-07-12

    Abstract: 分光测定装置中的解析部使用第1修正系数,以第1放大器的线性特性与基准线性特性一致的方式修正第1电信号。解析部使用第2修正系数,以第2放大器的线性特性与基准线性特性一致的方式修正第2电信号。解析部基于修正后的第1电信号产生第1光谱数据,基于修正后的第2电信号产生第2光谱数据。解析部基于第1光谱数据及第2光谱数据,产生被测定光的光谱数据。

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