一种用于囚禁离子的小型真空装置和方法

    公开(公告)号:CN112582247A

    公开(公告)日:2021-03-30

    申请号:CN202011466758.6

    申请日:2020-12-14

    Abstract: 本申请公开了一种用于囚禁离子的小型真空装置和方法,所述小型真空装置包含泵组接口、馈电法兰、石英窗口、真空腔体;所述真空腔体包含顺序连接的第一腔体、第二腔体、第三腔体;所述泵组接口,用于连接真空泵组;所述馈电法兰位于所述真空腔体的两端,第一馈电法兰对安装于第一腔体内的电子枪进行馈电;电子枪产生的电子束经位于第二腔体内的离子阱进入第三腔体;第二馈电法兰对安装于第三腔体内的炉子馈电;所述石英窗口位于第二腔体壁。所述方法包含抽真空、对准、加热、加交变射频和静电场的步骤,使例子囚禁于离子阱中心。本申请解决目前离子微波频标用囚禁离子真空装置体积较大、囚禁离子数较少等问题。

    微波微等离子体电子源
    33.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104752147A

    公开(公告)日:2015-07-01

    申请号:CN201510136907.5

    申请日:2015-03-26

    CPC classification number: H01J49/08 B81C1/00222 H01J49/26

    Abstract: 本发明提供一种微波微等离子体电子源,所述微等离子体电子源为硅-玻璃双层结构,下层为硅基底,上层为玻璃;所述等离子体腔室、电子加速透镜、电子聚焦透镜、能量过滤器和检测器在硅基底上通过深硅刻蚀工艺形成,再与玻璃键合形成所述微等离子体电子源。所述微波微等离子体电子源,先用高压陶瓷装置给予氩气高电压激励,并采用三开路支节结构的微带谐振器将2.4~2.5GHz频率,1W的微波功率耦合给氩气,形成稳定等离子体,通过电子引出、加速、聚焦系统将电子引出并加速聚焦成目标电子能量;电子引出、加速、聚焦系统的所加持电压决定了通入离子源的电子束能量的大小进一步决定微型质谱仪可检测物质的范围。

    基于真空紫外光的纳米阵列修饰增强光电子发射的电离源

    公开(公告)号:CN104658849A

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201310598046.3

    申请日:2013-11-21

    CPC classification number: H01J49/08 H01J49/162 H01J49/26

    Abstract: 本发明涉及质谱分析仪器,具体的说是基于真空紫外光的纳米阵列修饰增强光电子发射的电离源,包括真空紫外光源和电离室腔体;在电离室内平行,间隔设置有若干传输电极和真空差分孔电极,其中孔电极表面沉积有纳米金阵列,金阵列的高度约为几十到数百纳米;沿电极的轴线方向都开有通孔,真空紫外光源发射的紫外光沿此轴线方向入射到孔电极上;传输电极和孔电极上分别施加有直流电压。本发明所涉及的电离源在利用纳米金阵列的表面等离子体共振效应,可提高真空紫外灯产生的光电子的效率,在不改变紫外灯光强的条件下增强灵敏度;另外,金表面本身的耐氧化能力可以减弱氧化性气体对金属电极表面的污染,提高电离源稳定性。

    电子捕捉离解装置及相关方法

    公开(公告)号:CN102598203A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201080037975.1

    申请日:2010-08-20

    CPC classification number: H01J49/0054

    Abstract: 本申请涉及电子捕捉离解装置及相关方法,一种电子捕捉离解装置包括离子导向电极、电子发射器和电子控制设备。离子导向电极被沿着中心轴线布置并且在圆周上隔开以限定沿着中心轴线延伸的内部空间。电子发射器部署在内部空间的外部。电子控制设备被配置用来在两个离子导向电极之间沿着径向电子束方向将来自电子发射器的电子束朝着中心轴线聚焦,并且用来在沿着电子束方向引导的具有可调电位的DC减速场中对电子束减速。

    具有智能测控技术的固体材料二次电子发射系数测试装置

    公开(公告)号:CN102288628A

    公开(公告)日:2011-12-21

    申请号:CN201110128212.4

    申请日:2011-05-18

    Abstract: 本发明的具有智能测控技术的固体材料二次电子发射系数测试装置,包括机械系统、电气控制系统和分析检测系统;所述机械系统包括真空室、真空泵、电子枪、电子收集装置和加热装置,以提供真空环境、产生并收集二次电子;所述电气控制系统包括电源、可编程控制器和温控电路,可编程控制器通过数字量模拟量转换模块控制电源电压大小;分析检测系统包括工控机、数字量模拟量转换模块、二路示波卡和触摸控制屏,工控机上安装有组态王,用于存储和分析处理探测到的电子信号,并显示所测固体材料的二次电子发射系数与电子枪出射电子能量之间的关系曲线。本发明可以较好地满足工业防静电设计、工程选材及静电预测对固体材料二次电子发射系数测量的需要。

    一种离子引发电子轰击电离源

    公开(公告)号:CN109461642B

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN201811491709.0

    申请日:2018-12-07

    Abstract: 一种离子引发电子轰击电离源,其特征在于:包括金属腔体、设在腔体内的真空紫外光源以及位于腔体内沿光线出射方向依次为光电离区、电子产生区、电子轰击电离区;真空紫外光源用于产生真空紫外光子,于光电离区内对引入的标准气体分子进行光电离以产生初级离子;初级离子经电场加速后,进入电子产生区,轰击电子放大微通道板的表面,产生大量电子;电子经电场加速后,进入电子轰击电离区,对引入的气体分子进行电子轰击电离,产生离子;离子经离子传输区进入质谱的质量分析器。本发明的有益效果是利用了电子放大微通道板的电子放大效应,可大大提高电子轰击电离源的电子数,从而提高电离源的电离效率。

    电子源
    39.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111868880B

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN201880083787.9

    申请日:2018-10-26

    Abstract: 一种气源质谱仪中的电子源,所述电子源包括:电子发射器阴极,其呈现热电子发射器表面,该表面与所述气源质谱仪的气源室连通,以用于向所述气源室提供电子;加热元件,其与所述电子发射器阴极电气隔离,并且被布置成凭借其中的电流而被加热,并向所述电子发射器阴极辐射足以使电子从所述发射器表面热释放的热量,从而提供用于电离所述气源室中的气体的电子源。

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