用於在一幫浦中一機械活塞之位置控制之系統及方法 SYSTEM AND METHOD FOR POSITION CONTROL OF A MECHANICAL PISTON IN A PUMP
    423.
    发明专利
    用於在一幫浦中一機械活塞之位置控制之系統及方法 SYSTEM AND METHOD FOR POSITION CONTROL OF A MECHANICAL PISTON IN A PUMP 审中-公开
    用于在一帮浦中一机械活塞之位置控制之系统及方法 SYSTEM AND METHOD FOR POSITION CONTROL OF A MECHANICAL PISTON IN A PUMP

    公开(公告)号:TW200726914A

    公开(公告)日:2007-07-16

    申请号:TW095142923

    申请日:2006-11-21

    IPC: F04B

    Abstract: 本文中所揭示之系統及方法之實施例利用一無刷DC馬達(BLDCM)以在一幫浦系統中驅動一單級或一多級幫浦,以用於進行適用於半導體製造中的即時平穩運動及對流體移動與施配量之極精確並可重複的位置控制。該BLDCM可採用一位置感應器以用於對一執行一定製場導向控制機制之處理器的即時位置回饋。本發明之實施例可藉由根據基礎功能之決定性條件(criticality)而經由一定製控制機制來增加及減小該BLDCM之操作頻率而在無不良地損害施配幫浦之精確位置控制的情況下減少熱產生。該控制機制可在維持一恆定速度的同時使該BLDCM以極低速度運轉,此使該幫浦系統能夠以最小變化而在一寬廣速度範圍內操作,從而大體上增加了施配效能及操作能力。

    Abstract in simplified Chinese: 本文中所揭示之系统及方法之实施例利用一无刷DC马达(BLDCM)以在一帮浦系统中驱动一单级或一多级帮浦,以用于进行适用于半导体制造中的实时平稳运动及对流体移动与施配量之极精确并可重复的位置控制。该BLDCM可采用一位置感应器以用于对一运行一定制场导向控制机制之处理器的实时位置回馈。本发明之实施例可借由根据基础功能之决定性条件(criticality)而经由一定制控制机制来增加及减小该BLDCM之操作频率而在无不良地损害施配帮浦之精确位置控制的情况下减少热产生。该控制机制可在维持一恒定速度的同时使该BLDCM以极低速度运转,此使该帮浦系统能够以最小变化而在一宽广速度范围内操作,从而大体上增加了施配性能及操作能力。

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