载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法

    公开(公告)号:CN1680770A

    公开(公告)日:2005-10-12

    申请号:CN200510063828.2

    申请日:2005-04-08

    Inventor: 大坪圣一

    CPC classification number: G01B21/047

    Abstract: 一种载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法,具有载置作为测定或加工的对象的工件的载置面的载置台包括:支承机构,其支承载置台,为使载置台在加工成平面的平台上移动或旋转自如,可将载置台从该平台浮起,或将载置台固定支承在所述平台上;多个基准,其用于测定载置台的多种姿势,检测各姿势下载置台的位置和旋转。

    光电式编码器
    44.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1550761A

    公开(公告)日:2004-12-01

    申请号:CN200410043298.0

    申请日:2004-05-17

    Inventor: 小岛健司

    CPC classification number: G01D5/34715 G01D5/34707

    Abstract: 提供一种光电式编码器。在光电式编码器的光接收芯片上,沿测定轴X以阵列状配置有多个光电二极管。在阵列的端部配置的PD的间隔及光接收面25的宽度分别比在阵列中央部配置的上述间隔及上述宽度小。

    编码器的滑动机构及其制造方法

    公开(公告)号:CN1172162C

    公开(公告)日:2004-10-20

    申请号:CN02123178.8

    申请日:2002-06-26

    Inventor: 小见利洋

    CPC classification number: G01D5/34761

    Abstract: 一种编码器滑动机构,包括标尺、检测部分、滑动导轨以及滑动镀覆膜。将标尺和指数标尺分别配置滑动导轨和滑动镀覆膜。滑动导轨和滑动镀覆膜是通过复合镀覆工艺制作,其内散布有如PTFE树脂那样的自润滑物质。

    整体型线性位移测量装置、端部夹具及固定方法

    公开(公告)号:CN1409085A

    公开(公告)日:2003-04-09

    申请号:CN02143354.2

    申请日:2002-09-26

    Inventor: 川田洋明

    CPC classification number: G01D11/30 G01D3/028

    Abstract: 本发明公开了一种整体型线性位移测量装置、端部夹具及固定方法。固定到框架体在长度测量方向上的一端的端部固定块具有能够吸收框架体热膨胀的平行板簧机构。框架体具有设置在由端部固定块所固定的框架体一端的板簧机构,板簧机构能够吸收框架体一端在垂直于热膨胀发生方向的方向上的偏转。

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