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公开(公告)号:CN101255929A
公开(公告)日:2008-09-03
申请号:CN200810081264.9
申请日:2008-02-26
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: F16K27/003 , F15B13/0814 , F15B13/0871 , F16L39/00 , Y10T29/49405 , Y10T137/87885
Abstract: 一种可连接到流体控制装置上的形成有通道的通道块包括:第一块构件,该第一块构件形成有多个第一联接面孔隙;第二块构件,该第二块构件形成有与第一联接面孔隙相对应的多个第二联接面孔隙;第一通道端接触部分,该第一通道端接触部分形成在每个第一联接面孔隙周围;第二通道端接触部分,该第二通道端接触部分形成在每个第二联接面孔隙周围;并且以如下方式设置通道端接触部分,该设置方式使得第一块构件的下表面和第二块构件的上表面布置成彼此相对,从而第一和第二通道端接触部分相互接触,并且第一和第二块构件在压力下被加热,以将所述第一和第二通道端接触部分相互扩散结合。
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公开(公告)号:CN101210317A
公开(公告)日:2008-07-02
申请号:CN200710194075.8
申请日:2007-11-30
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: C23C16/44 , H01L21/00 , H01L21/205 , H01L21/285
Abstract: 本发明提供一种可以减小底座空间的气体集成单元。在气体集成单元中,设有:第一气体单元(72A、72B、72C),控制第一气体的供给;第二气体单元(73),与第一气体单元(72A、72B、72C)连接并通过多个流体控制部件(31~34、38A~43A、38B~43B、38C~43C)控制汇合至第一气体单元(72A、72B、72C)的清扫气体;和层叠块(61A、61B、61C),叠置在第一气体单元(72A、72B、72C)上,并且,将流体控制部件的一部分(38A、38B、38C)叠置在层叠块(61A、61B、61C)上。
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公开(公告)号:CN101182888A
公开(公告)日:2008-05-21
申请号:CN200710186949.5
申请日:2007-11-15
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K1/00 , F16K31/122 , F16K51/02
CPC classification number: F16K51/02 , F16K31/1221
Abstract: 本发明提供一种波纹管的耐用性提高了的真空阀。该真空阀包括:阀部分,该阀部分包括第一端口、第二端口、设置在该第一和第二端口之间的阀座,以及可移动成与所述阀座接触或脱离与所述阀座的接触的阀元件;致动器部分,该致动器部分包括孔和联接到所述阀元件上的活塞,操作流体通过该孔供应到所述致动器部分,可根据所述操作流体的压力的变化操作所述活塞,以向所述阀部分施加驱动力;以及波纹管,当所述阀元件上下垂直移动时,该波纹管能收缩和伸长。所述孔设计成具有这样确定的有效截面积,使得所述阀元件和所述活塞的操作速度被控制成防止所述波纹管损坏的预定速度。
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公开(公告)号:CN101166927A
公开(公告)日:2008-04-23
申请号:CN200580049488.6
申请日:2005-04-13
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K35/00
CPC classification number: F16K7/16 , F16K35/027 , F16K35/04
Abstract: 本发明的目的是提供误动作防止手动阀,该阀能在确保打开和关闭该阀的可操作性的同时防止误动作。为实现该目的,本发明的误动作防止手动阀(1)包括锁定机构,该锁定机构包括抵抗相对于外壳(71)的旋转而被保持的平行销(75)、以及以可与平行销(75)接合的方式设置在手柄(72)中的副手柄(73)。平行销(75)或副手柄(73)由锁定弹簧(77)推压,使得该副手柄与平行销(75)接合,从而制止手柄(72)旋转。另一方面的误动作防止手动阀(2)包括:锁定机构,该锁定机构包括抵抗相对于外壳(171)的旋转被保持的弹簧销(175);形成在手柄(172)中以接收弹簧销(175)的凸轮凹槽(172a);以及与手柄(172)一体设置并由弹簧(177)推压的副手柄(173)。
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公开(公告)号:CN101122013A
公开(公告)日:2008-02-13
申请号:CN200710140837.6
申请日:2007-08-10
Applicant: 喜开理株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F16K27/003 , F15B13/0821 , Y10T137/87885
Abstract: 为提供具有较小底部空间的吹扫气体单元和吹扫气体供应集成单元,所述吹扫气体单元包括:输入块,该输入块用于将吹扫气体输入到所述吹扫气体单元中,所述输入块包括穿过所述输入块形成以在所述输入块的侧表面中提供开口的吹扫通道、和从所述吹扫通道分叉形成的输入通道;输出块,该输出块用于从所述吹扫气体单元输出所述吹扫气体;以及连通块,该连通块连接至所述输入块和所述输出块,以提供在所述输入块和所述输出块之间的连通。
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公开(公告)号:CN1957197A
公开(公告)日:2007-05-02
申请号:CN200580016044.2
申请日:2005-05-12
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: F16K27/003
Abstract: 为了提供增设线路时的气体单元的操作性良好的气体供给集成单元和气体单元增设方法,在将气体单元(1、2、A~E)安装到轨道(31、32)上的气体供给集成单元上,设置过程气体共同流路端部手动阀(28)和吹扫气体共同流路端部手动阀(29),在形成于轨道(31、32)上的导向槽(31a、31b、32a、32b)上,可滑动地安装形成有2个螺栓孔(471、471)的T型螺母(45、46、47),在增设的第六气体单元(F)上设置与过程气体共同流路端部手动阀(28)连通的另一过程气体共同流路端部手动阀(41)和与吹扫气体共同流路端部手动阀(29)连通的另一吹扫气体共同流路端部手动阀(42),通过将贯通该第六气体单元(F)的螺栓(V)紧固到螺栓孔(471)中,通过T型螺母(47F)将第六气体单元(F)安装到轨道(31、32)上。
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公开(公告)号:CN1946960A
公开(公告)日:2007-04-11
申请号:CN200580012512.9
申请日:2005-04-18
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K31/06
CPC classification number: F16K31/06
Abstract: 本发明目的在于提供一种电磁比例阀的流量特性调整机构以及使用该机构的流量特性调整方法,即使在产品组装后也能容易地调整电磁比例阀的流量特性。电磁比例阀1A具有:绕线管16,卷绕有线圈17;第三芯部15,固定在绕线管16中;主体2,具有入口流路3和出口流路4;阀座6,使入口流路3和出口流路4连通;阀封12,开闭阀座6;动铁芯10,与阀封12一体化;板簧8,向阀座6方向对动铁芯10施力;第一芯部9,位于绕线管16和主体2之间;和阀盖19,可装卸地覆盖于绕线管16上,第三芯部15、第一芯部9和阀盖19围绕在线圈17的周围形成磁回路,其中,旋转固定螺钉22而使阀盖19沿轴方向移动,改变磁回路。
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公开(公告)号:CN118856046A
公开(公告)日:2024-10-29
申请号:CN202310465824.5
申请日:2023-04-26
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K11/10 , F16K15/18 , F16K31/40 , F16K31/122 , F16K31/124
Abstract: 一种电磁阀歧管,具备:电磁阀,具有排出口;歧管底座,具有与排出口连通的排出流路;以及止回阀。止回阀具有阀芯、具有阀座的阀壳体以及施力构件。阀壳体具有:阀室,收纳阀芯;周壁,划定阀室;阀孔,使阀室与排出口连通;以及排出开口,使阀室与排出流路连通。止回阀配置于排出流路内。排出开口形成于周壁,并且至少一部分在与阀芯的移动方向正交的方向与阀座重叠。
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公开(公告)号:CN117780998A
公开(公告)日:2024-03-29
申请号:CN202311227532.4
申请日:2023-09-21
Applicant: 喜开理株式会社
Abstract: 减压阀具备支承减压弹簧的弹簧支承构件、对弹簧支承构件的位置进行调节的螺合调节构件及对螺合调节构件进行固定的固定构件。螺合调节构件具有与设置于主体中的内螺纹孔螺合并且与弹簧支承构件抵接的外螺纹部、端壁及在内周面形成有内螺纹部的周壁。外螺纹部从端壁突出,在外螺纹部的周围形成有多个插通孔。固定构件包含连结构件及固定螺母,其中,连结构件具有多个突出部,多个所述突出部能够插通所述插通孔并且分别从端壁突出而与主体抵接,固定螺母在被允许相对于连结构件旋转的状态下与连结构件卡定,并且在周壁的内侧与内螺纹部螺合。固定螺母具有朝外部露出的操作端面,操作端面形成有能够供工具插入的凹槽。
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