公开(公告)号：TW201312123A

公开(公告)日：2013-03-16

申请号：TW101125984

申请日：2012-07-19

Applicant: 日本發條股份有限公司 ,  NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 山田佳男 ,  YAMADA, YOSHIO ,  伊藤修 ,  ITO, OSAMU

IPC: G01R1/073 ,  H01R24/00 ,  H01R13/24

CPC classification number: H01R4/4863 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/06733 ,  G01R1/07314

Abstract: 本發明提供一種接觸構造體單元，其係能夠在與接觸對象之間獲致確實之導通。該接觸構造體單元，係用以導通具有複數個電極之基板與被接觸體之接觸構造體單元，其包括：第1接觸構件(2a)，係具有與被接觸體接觸之接觸部(21a)；複數個第2接觸構件(2b)，係分別具有設置在一方的端部側且與電極接觸之前端部(23a)，而在另一方的端部側與第1接觸構件(2a)接觸；以及複數個螺旋彈簧(24)，係分別設置在接觸部(21a)與各前端部(23a)之間，用以彈推接觸部(21a)及前端部(23a)。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种接触构造体单元，其系能够在与接触对象之间获致确实之导通。该接触构造体单元，系用以导通具有复数个电极之基板与被接触体之接触构造体单元，其包括：第1接触构件(2a)，系具有与被接触体接触之接触部(21a)；复数个第2接触构件(2b)，系分别具有设置在一方的端部侧且与电极接触之前端部(23a)，而在另一方的端部侧与第1接触构件(2a)接触；以及复数个螺旋弹簧(24)，系分别设置在接触部(21a)与各前端部(23a)之间，用以弹推接触部(21a)及前端部(23a)。

公开(公告)号：TW200914839A

公开(公告)日：2009-04-01

申请号：TW097133390

申请日：2008-09-01

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 石川重樹 ISHIKAWA, SHIGEKI ,  藺牟田正吾 IMUTA, SHOGO ,  仁平崇 NIDAIRA, TAKASHI

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/07314 ,  G01R1/07357

Abstract: 本發明係提供一種可確實保持線型探針之探針夾持器及探針單元。為了此目的係設為具備:前端側板,使用導電性材料所形成,且構成線狀,並將在兩端可與不同導電區域接觸之探針之一方端部,以可朝該端部之引導方向進退之方式予以保持;及基端側板,將探針之另一方端部,以在從引導方向偏離之位置可朝向與引導方向不同之方向進退之方式予以保持;前端側板係具有複數組由分別插通同一探針之複數個前端側插通孔所組成之組,且構成相同組之複數個前端側插通孔之各個中心軸係彼此不同。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系提供一种可确实保持线型探针之探针夹持器及探针单元。为了此目的系设为具备:前端侧板,使用导电性材料所形成,且构成线状,并将在两端可与不同导电区域接触之探针之一方端部,以可朝该端部之引导方向进退之方式予以保持;及基端侧板,将探针之另一方端部,以在从引导方向偏离之位置可朝向与引导方向不同之方向进退之方式予以保持;前端侧板系具有复数组由分别插通同一探针之复数个前端侧插通孔所组成之组,且构成相同组之复数个前端侧插通孔之各个中心轴系彼此不同。

公开(公告)号：TW200907350A

公开(公告)日：2009-02-16

申请号：TW097112470

申请日：2008-04-07

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 廣中浩平 HIRONAKA, KOHEI ,  中村徹 NAKAMURA, TORU ,  近藤充博 KONDO, MITSUHIRO

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/0458 ,  G01R1/0466 ,  G01R1/0483 ,  G01R31/2874

Abstract: 本發明提供一種可在正確之溫度設定環境下進行檢查之導電性觸頭固持具及導電性觸頭單元。為了達成此目的,係具備:固持具基板4,係具有可個別地收容複數個導電性觸頭之複數個固持具孔;及浮動構件5,係以依據外力使其與該固持具基板4之表面間的距離在預定之範圍自由變化的方式安裝在固持具基板4,且具有可分別供收容在固持具基板4之複數個導電性觸頭2之前端部插通的複數個孔部;而固持具基板4與浮動構件5之間隙Sp係構成為形成從外部流入之流體的流路之至少一部分。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种可在正确之温度设置环境下进行检查之导电性触头固持具及导电性触头单元。为了达成此目的,系具备:固持具基板4,系具有可个别地收容复数个导电性触头之复数个固持具孔;及浮动构件5,系以依据外力使其与该固持具基板4之表面间的距离在预定之范围自由变化的方式安装在固持具基板4,且具有可分别供收容在固持具基板4之复数个导电性触头2之前端部插通的复数个孔部;而固持具基板4与浮动构件5之间隙Sp系构成为形成从外部流入之流体的流路之至少一部分。

公开(公告)号：TW200837323A

公开(公告)日：2008-09-16

申请号：TW097100159

申请日：2008-01-03

Applicant: 東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED ,  日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 門部雅人 KADOBE, MASATO ,  關谷健二 SEKIYA, KENJI ,  櫻井誠 SAKURAI, MAKOTO ,  茅本隆司 KAYAMOTO, TAKASHI

IPC: F28F ,  F27B ,  H01L

Abstract: 本發明係提供一種可防止心部之疲勞斷裂及因疲勞斷裂所造成之自心部之漏水,同時可提升耐久性之熱交換器及縱型熱處理裝置。熱交換器包含有:心部,係具有業經積層之複數波狀薄板,並交互地形成空氣通路與冷卻水通路者;水冷配管連接部,係收納該心部,同時用以連接使冷卻水於心部之冷卻水通路中流通之水冷配管者;及殼體,係收納前述心部,並具有用以連接使空氣於該空氣通路中流通之排氣配管的排氣配管連接部者。又,前述心部係設置成可於前述殼體內自由移動,以吸收心部與殼體之熱膨脹差。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系提供一种可防止心部之疲劳断裂及因疲劳断裂所造成之自心部之漏水,同时可提升耐久性之热交换器及纵型热处理设备。热交换器包含有:心部,系具有业经积层之复数波状薄板,并交互地形成空气通路与冷却水通路者;水冷配管连接部,系收纳该心部,同时用以连接使冷却水于心部之冷却水通路中流通之水冷配管者;及壳体,系收纳前述心部,并具有用以连接使空气于该空气通路中流通之排气配管的排气配管连接部者。又,前述心部系设置成可于前述壳体内自由移动,以吸收心部与壳体之热膨胀差。

公开(公告)号：TW200827729A

公开(公告)日：2008-07-01

申请号：TW096149662

申请日：2007-12-24

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 石川重樹 ISHIKAWA, SHIGEKI ,  藺牟田正吾 IMUTA, SHOGO ,  仁平崇 NIDAIRA, TAKASHI

IPC: G01R

CPC classification number: G01R3/00 ,  G01R1/07357

Abstract: 本發明係提供可容易進行配線之確定,並且可提升耐久性之一種探針單元之配線固定方法及探針單元。為了此目的,係在將配線插通於設在配線基板之插通孔之後,於將配線基板安裝於探針支架之際從與探針支架相對向之插通孔之端面,將用以固著配線與配線基板之固著材料充填於插通孔與插通於該插通孔之配線的間隙中除了配線延伸至插通孔外部之側的端面附近以外之間隙。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系提供可容易进行配线之确定,并且可提升耐久性之一种探针单元之配线固定方法及探针单元。为了此目的,系在将配线插通于设在配线基板之插通孔之后,于将配线基板安装于探针支架之际从与探针支架相对向之插通孔之端面,将用以固着配线与配线基板之固着材料充填于插通孔与插通于该插通孔之配线的间隙中除了配线延伸至插通孔外部之侧的端面附近以外之间隙。

公开(公告)号：TW200804831A

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：TW096120475

申请日：2007-06-07

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 佐佐木俊輔 SASAKI, SHUNSUKE ,  井沼毅 INUMA, TSUYOSHI ,  山田佳男 YAMADA, YOSHIO ,  長屋光浩 NAGAYA, MITSUHIRO ,  赤尾崇 AKAO, TAKASHI ,  中山浩志 NAKAYAMA, HIROSHI

IPC: G01R

CPC classification number: G01R31/2889 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/07378

Abstract: 本發明提供可容易地以低成本實現空間轉換件之剛性提升的探針卡。為了達成該目的而具備:平板狀之配線基板11,係具有對應產生檢查用信號之電路構造的配線圖案;中介件13,係積層在配線基板11,而中繼配線基板11之配線;空間轉換件14,係積層在中介件13並由接著劑19固定,而轉換由中介件13所中繼之配線的間隔,並使該配線露出至對向於中介件13之側的相反側之表面;以及探針頭15,係積層於空間轉換件14,且收容保持複數個探針。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供可容易地以低成本实现空间转换件之刚性提升的探针卡。为了达成该目的而具备:平板状之配线基板11,系具有对应产生检查用信号之电路构造的配线图案;中介件13,系积层在配线基板11,而中继配线基板11之配线;空间转换件14,系积层在中介件13并由接着剂19固定,而转换由中介件13所中继之配线的间隔,并使该配线露出至对向于中介件13之侧的相反侧之表面;以及探针头15,系积层于空间转换件14,且收容保持复数个探针。

公开(公告)号：TW200735247A

公开(公告)日：2007-09-16

申请号：TW095149161

申请日：2006-12-27

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 山田佳男 YAMADA, YOSHIO ,  中山浩志 NAKAYAMA, HIROSHI ,  長屋光浩 NAGAYA, MITSUHIRO ,  藺牟田正吾 IMUTA, SHOGO

IPC: H01L ,  G01R

CPC classification number: G01R1/07378 ,  G01R1/44 ,  G01R31/2863 ,  G01R31/2874

Abstract: 本發明提供一種無論檢查時的溫度環境為何皆可使探針確實地接觸在接觸對象之測試卡。為了達成該目的而構成為具備:複數個探針,係由導電性材料構成,用以接觸前述半導體晶圓所具有的電極焊墊,以進行電氣訊號之輸入或輸出;探針頭,係收容保持前述複數個探針;基板,係具有對應於前述電路構造的配線圖案;以及間隔變換器,係層積在前述探針頭,用於變更前述基板所具有的前述配線圖案之間隔且進行中繼,並具有對應該中繼之配線而設在與前述探針頭相對側表面的電極焊墊;前述探針之兩端係於具有檢查前述半導體晶圓時的最低溫度和最高溫度之平均溫度的環境下,接觸前述半導體晶圓及前述間隔變換器各自具有的前述電極墊之中央部附近。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种无论检查时的温度环境为何皆可使探针确实地接触在接触对象之测试卡。为了达成该目的而构成为具备:复数个探针,系由导电性材料构成,用以接触前述半导体晶圆所具有的电极焊垫,以进行电气信号之输入或输出;探针头,系收容保持前述复数个探针;基板,系具有对应于前述电路构造的配线图案;以及间隔变换器,系层积在前述探针头,用于变更前述基板所具有的前述配线图案之间隔且进行中继,并具有对应该中继之配线而设在与前述探针头相对侧表面的电极焊垫;前述探针之两端系于具有检查前述半导体晶圆时的最低温度和最高温度之平均温度的环境下,接触前述半导体晶圆及前述间隔变换器各自具有的前述电极垫之中央部附近。

公开(公告)号：TW200731443A

公开(公告)日：2007-08-16

申请号：TW095145094

申请日：2006-12-05

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 中山浩志 NAKAYAMA, HIROSHI ,  長屋光浩 NAGAYA, MITSUHIRO ,  山田佳男 YAMADA, YOSHIO

IPC: H01L ,  G01R

CPC classification number: G01R31/2889 ,  G01R1/07378

Abstract: 本發明之目的在於提供一種無論具有配線圖案之基板有無變形,仍可提高平面度及平行度之各精確度的探針卡。為了此目的,本發明之探針卡係具備:複數個探針,由導電性材料所構成,用以接觸半導體晶圓而進行電信號之輸入或輸出;探針頭,收容並保持上述複數個探針;基板,具有與產生檢查用信號之電路構造相對應的配線圖案;補强構件,裝設在上述基板以補强上述基板;中介件(interposer),疊層在上述基板以中繼上述基板之配線;空間轉換件(space transformer),其疊層在上述中介件及上述探針頭之間,用以轉換由上述中介件所中繼之配線的間隔以露出於與上述探針頭相對之側的表面;及複數個第1柱(post)構件,從上述基板之表面即疊層有上述中介件之部分的表面貫穿該基板而埋設,且具有比上述基板之板厚還大的高度。

Abstract in simplified Chinese: 本发明之目的在于提供一种无论具有配线图案之基板有无变形,仍可提高平面度及平行度之各精确度的探针卡。为了此目的,本发明之探针卡系具备:复数个探针,由导电性材料所构成,用以接触半导体晶圆而进行电信号之输入或输出;探针头,收容并保持上述复数个探针;基板,具有与产生检查用信号之电路构造相对应的配线图案;补强构件,装设在上述基板以补强上述基板;中介件(interposer),叠层在上述基板以中继上述基板之配线;空间转换件(space transformer),其叠层在上述中介件及上述探针头之间,用以转换由上述中介件所中继之配线的间隔以露出于与上述探针头相对之侧的表面;及复数个第1柱(post)构件,从上述基板之表面即叠层有上述中介件之部分的表面贯穿该基板而埋设,且具有比上述基板之板厚还大的高度。

公开(公告)号：TWI284204B

公开(公告)日：2007-07-21

申请号：TW091115267

申请日：2002-07-05

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 風間俊男 TOSHIO KAZAMA ,  石川重樹 ISHIKAWA, SHIGEKI ,  渡邊誠 MAKOTO WATANABE

IPC: G01R ,  H01R

CPC classification number: H01R13/2421 ,  G01R1/06722 ,  H01R11/18

Abstract: 對於經精細圖案化的接觸部，確保進行電氣檢查的針狀體位置精確度。具備：前端部3a接觸於形成圖案的接觸部的複數導電性針狀體3，及與各針狀體3同軸地被連結，並將針狀體3彈推朝與接觸部的接觸方向的複數導電性螺旋彈簧4，及形成有至少分別地收容螺旋彈簧4的收容孔12，同時在防脫狀態下使得針狀體3的前端部被拔出的導孔13形成能與各收容孔12相連通的絕緣性夾持具2。藉由將全部或一部分的導孔13之中心對於收容孔12之中心朝相同平面內的特定一方向偏離，以確保針狀體3的位置精確度。

Abstract in simplified Chinese: 对于经精细图案化的接触部，确保进行电气检查的针状体位置精确度。具备：前端部3a接触于形成图案的接触部的复数导电性针状体3，及与各针状体3同轴地被链接，并将针状体3弹推朝与接触部的接触方向的复数导电性螺旋弹簧4，及形成有至少分别地收容螺旋弹簧4的收容孔12，同时在防脱状态下使得针状体3的前端部被拔出的导孔13形成能与各收容孔12相连通的绝缘性夹持具2。借由将全部或一部分的导孔13之中心对于收容孔12之中心朝相同平面内的特定一方向偏离，以确保针状体3的位置精确度。

公开(公告)号：TWI275799B

公开(公告)日：2007-03-11

申请号：TW091104979

申请日：2002-03-15

Applicant: 日本發條股份有限公司 NHK SPRING CO., LTD.

Inventor： 風間俊男 TOSHIO KAZAMA ,  藺牟田正吾 IMUTA, SHOGO

IPC: G01R

CPC classification number: G01R1/07314 ,  G01R1/06722 ,  G01R1/07378 ,  G01R3/00

Abstract: 藉著疊層複數個塑膠堆層總成(6)，各該總成與一補強板(3)合併，並藉著將其加熱整體地結合形成支撐構件總成(1)。支架孔(2)係形成在總成對應該補強板(3)之開孔(3a)的部件中，該補強構件增強了支撐構件總成的整體機械強度。此外，由於能夠堆層一些補強板，且可使各補強板具有一微小厚度，故鄰接開孔間之補強板的條帶工作能夠毫無困難地完成，並能夠降低此一支撐構件的製造成本。當此塑膠堆層總成包含塑膠材料時，該塑膠材料係由不織纖維滲入熱固樹脂所形成，由於該不織纖維之纖維係相當短與細微，使得用來接收導電性接觸構件之支架孔的鑽孔能夠更為順利，且能夠更為經濟地加以實行。

Abstract in simplified Chinese: 借着叠层复数个塑胶堆层总成(6)，各该总成与一补强板(3)合并，并借着将其加热整体地结合形成支撑构件总成(1)。支架孔(2)系形成在总成对应该补强板(3)之开孔(3a)的部件中，该补强构件增强了支撑构件总成的整体机械强度。此外，由于能够堆层一些补强板，且可使各补强板具有一微小厚度，故邻接开孔间之补强板的条带工作能够毫无困难地完成，并能够降低此一支撑构件的制造成本。当此塑胶堆层总成包含塑胶材料时，该塑胶材料系由不织纤维渗入热固树脂所形成，由于该不织纤维之纤维系相当短与细微，使得用来接收导电性接触构件之支架孔的钻孔能够更为顺利，且能够更为经济地加以实行。