多層フィルムラミネートによるMEMS封止
    43.
    发明专利
    多層フィルムラミネートによるMEMS封止 审中-公开
    MEMS由多层膜层叠体的密封

    公开(公告)号:JP2017501892A

    公开(公告)日:2017-01-19

    申请号:JP2016538770

    申请日:2014-11-21

    CPC classification number: B81B7/0058 B81B7/0038 B81C1/00333 B81C2203/0172

    Abstract: 本開示は、ラミネートフィルムがマイクロ電気機械システム(MEMS)構造のアレイを密閉するシステム、方法および装置を提供する。一観点では、MEMS装置は、デバイス領域とデバイス領域を囲む縁領域とを有する基板と、基板上のデバイス領域にあるMEMS構造のアレイとを含む。保護層は、MEMS構造のアレイの上に配置される。ラミネートフィルムは、保護層の上に、および縁領域において密封を形成するために基板と接触して配置され、ここで、ラミネートフィルムは、デバイス領域において基板とラミネートフィルムとの間に空洞を形成する。ラミネートフィルムは、MEMS構造のアレイに背を向けた水分遮断層と、MEMS構造のアレイの方に向いた乾燥剤層とを含む。

    Abstract translation: 本公开中,系统层压膜来密封微机电系统(MEMS)结构的阵列,提供一种方法和装置。 在一个方面,MEMS装置包括具有包围该装置区域和装置区域,和MEMS结构在器件区域的阵列在衬底上的边界区的衬底。 保护层设置MEMS结构的阵列上。 在保护层上的叠层膜,并设置在与基板接触,以在所述边缘区域中的密封件,其中,所述层叠膜,形成在器件区中的衬底和层压膜之间的空腔 。 层合膜包含与它的回MEMS结构阵列,并且其面向MEMS结构的阵列的干燥剂层的水分阻挡层。

    Integrated modulator illumination
    48.
    发明专利
    Integrated modulator illumination 审中-公开
    集成调制器照明

    公开(公告)号:JP2012027477A

    公开(公告)日:2012-02-09

    申请号:JP2011184671

    申请日:2011-08-26

    CPC classification number: G02B6/0043 G02B6/0055 G02B26/001

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a spatial light modulator which causes neither a problem of parallax nor the degradation of the visual quality of an image even when glass or a light guide is added in the manufacturing process.SOLUTION: A spatial light modulator includes: an array of display elements configured to modulate light based on image data; a display panel which has a first and second surfaces arranged adjacent to the array of the display elements and whose second surface is directly adjacent to the array of the display elements configured to allow a viewer to view an image produced by modulation of light; and reflective elements on the first surface of the display panel configured to reflect light on the array of the display elements.

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种空间光调制器,即使在制造过程中添加玻璃或光导时,也不会引起视差问题和图像的视觉质量下降。 解决方案:空间光调制器包括:配置成基于图像数据调制光的显示元件阵列; 显示面板具有与显示元件的阵列相邻的第一和第二表面,并且其第二表面与配置为允许观看者观看通过调制光产生的图像直接相邻的显示元件的阵列相邻; 以及被配置为将光反射到显示元件的阵列上的显示面板的第一表面上的反射元件。 版权所有(C)2012,JPO&INPIT

    Method and apparatus for providing electronic circuit on back plate
    49.
    发明专利
    Method and apparatus for providing electronic circuit on back plate 审中-公开
    用于在背板上提供电子电路的方法和装置

    公开(公告)号:JP2011221548A

    公开(公告)日:2011-11-04

    申请号:JP2011127159

    申请日:2011-06-07

    Inventor: TYGER KAREN

    CPC classification number: G09G3/3466 G02B26/001 G09G2300/04 Y10T29/49155

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an interferometric modulator based display with a back plate including an electronic circuit on an inner surface of the back plate.SOLUTION: A MEMS-based display device 100 includes an array 102 of an interferometric modulator, which array 102 is configured to reflect a light through a transparent substrate 104. The transparent substrate 104 is sealed with respect to a back plate 108. The back plate 108 can include an electronic circuit 114 formed on the back plate 108. The electronic circuit 114 electrically communicates with the array 102 of the interferometric modulator and is configured to control a status of the array 102 of the interferometric modulator.

    Abstract translation: 要解决的问题:提供一种在背板的内表面上具有包括电子电路的背板的基于干涉式调制器的显示器。 解决方案:基于MEMS的显示装置100包括干涉式调制器的阵列102,该阵列102被配置为将光反射通过透明基板104.透明基板104相对于背板108被密封。 背板108可以包括形成在背板108上的电子电路114.电子电路114与干涉式调制器的阵列102电连通并且被配置为控制干涉式调制器的阵列102的状态。 版权所有(C)2012,JPO&INPIT

    Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release
    50.
    发明专利
    Analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release 审中-公开
    具有静电驱动和释放功能的模拟干涉仪调制器

    公开(公告)号:JP2011209751A

    公开(公告)日:2011-10-20

    申请号:JP2011138327

    申请日:2011-06-22

    CPC classification number: G02B26/001

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an analog interferometric modulator device with electrostatic actuation and release.SOLUTION: A microelectromechanical system (MEMS) device includes a first electrode, a second electrode electrically insulated from the first electrode, and a third electrode electrically insulated from the first electrode and the second electrode. The MEMS device also includes a support structure which separates the first electrode from the second electrode and a reflective element located and movable between a first position and a second position. The reflective element is in contact with a portion of the device when in the first position and is not in contact with the portion of the device when in the second position. An adhesive force is generated between the reflective element and the portion when the reflective element is in the first position. Voltages applied to the first electrode, the second electrode, and the third electrode at least partially reduce or counteract the adhesive force.

    Abstract translation: 要解决的问题:提供具有静电致动和释放的模拟干涉式调制器装置。解决方案:微机电系统(MEMS)装置包括第一电极,与第一电极电绝缘的第二电极和与第一电极电绝缘的第三电极 第一电极和第二电极。 MEMS器件还包括将第一电极与第二电极分开的支撑结构和位于第一位置和第二位置之间并可移动的反射元件。 反射元件在处于第一位置时与装置的一部分接触,并且当处于第二位置时不与装置的部分接触。 当反射元件处于第一位置时,在反射元件和部分之间产生粘合力。 施加到第一电极,第二电极和第三电极的电压至少部分地减小或抵消粘附力。

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