用于制造微型结构的方法
    45.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1152267C

    公开(公告)日:2004-06-02

    申请号:CN01145433.4

    申请日:2001-11-30

    Inventor: 尹容燮 崔鎣

    CPC classification number: B81C1/00142 B81B2201/042 B81C2201/0108

    Abstract: 本发明提供了一种用于制造微镜致动器的方法,所述方法能够通过层叠膜形的有机层简化对微镜进的行平面化处理。所述方法包括通过刻蚀在衬底上形成沟槽,在衬底上叠加一层膜形有机层,从而盖住但是不填充沟槽,使得沟槽保持是空的,并在膜形有机层上淀积并成形一个金属层,以及除去所述膜形有机层。按照本发明的制造方法,通过在包括沟槽的衬底上层叠膜形有机层使得微镜更容易地实现平面化,因而可以降低制造微镜致动器的成本。此外,通过增加微镜的平面度,可以增加微镜的反射率,因而提高光传输效率。

    可变形镜设备
    46.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1105933C

    公开(公告)日:2003-04-16

    申请号:CN98116719.5

    申请日:1998-07-29

    Inventor: 尹容燮

    CPC classification number: G02B26/0841

    Abstract: 一种可变形镜设备包括:衬底,一对从衬底的上表面伸出、相互间以预定距离隔开的支柱,安装于衬底上表面的电极,面向电极、由支柱所支撑的反射镜,支撑反射镜且具有预定刚性的第一和第二支撑件。支撑件位于反射镜与支柱之间,使反射镜的倾斜角度可以被电极与反射镜之间的静电吸引力所调整,电极与反射镜错开,使得分别在第一和第二支撑件与反射镜之间区域向电极施加的力不相等,从而可用以低的驱动电压容易地改变光束的行进路线。

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