一种含油摩擦材料片与转子或定子复合体的制备方法

    公开(公告)号:CN110535302A

    公开(公告)日:2019-12-03

    申请号:CN201910832592.6

    申请日:2019-09-04

    Abstract: 一种含油摩擦材料片与转子或定子复合体的制备方法,它涉及一种超声电机转子或定子制备方法,它包括:a、将多孔摩擦材料环或块切片,得到薄层摩擦材料片;b、将薄层摩擦材料片的粘接面进行清洁及烘干处理;c、将处理的薄层摩擦材料片粘接面与处理的转子或定子粘接面采用有机粘合剂粘合在一起;d、将复合体进行加工处理;e、将加工后的复合体清洗烘干;f、将烘干后的复合体放置到真空炉中的浸油槽内,真空下加热烘干;g、将真空烘干后的复合体的薄层摩擦材料片在浸油槽中完全浸入润滑油中,真空保温,得到含油摩擦材料与转子或定子的复合体。本发明制备得含油摩擦材料含油率高,含油损失少、润滑效果更好,与转子或定子连接牢靠稳定。

    一种用于高速曝光的质量平衡方法和装置

    公开(公告)号:CN109521650B

    公开(公告)日:2019-07-16

    申请号:CN201811349972.6

    申请日:2018-11-14

    Abstract: 本发明公开一种用于高速曝光的质量平衡方法和装置;过并联的弹簧和阻尼系统进行减振,进而对高速扫描所产生的质量冲量进行平衡性消除,而弹簧和阻尼系统所产生的平衡位移可以通过检测获得,并最终反馈至驱动单元进行再次定位直至满足要求,进而提高曝光系统的运行速度和精度。本发明可建立一种高速、高频、高精度曝光的质量平衡装置。

    基于气磁悬浮和动磁钢的扫描曝光装置

    公开(公告)号:CN109254502B

    公开(公告)日:2019-07-16

    申请号:CN201811350101.6

    申请日:2018-11-14

    Abstract: 本发明公开基于气磁悬浮和动磁钢的扫描曝光装置;该装置将磁钢并行排列并置于双层线圈中间,通过对线圈中电流来驱动运动滑块部件的直线运动,这种“三明治”型的并列动磁钢结构能够在提供足够的电机出力的同时,不会产生额外的偏转力矩,但能够消除现有技术中线圈线缆力对运动及定位精度的影响,再通过设置相应气磁悬浮结构对直线运动进行支承和导向,提高了单位面积上承载与的转动刚度,并最终通过结合反馈控制,达到高精度、高速、高频运动的目的。本发明可建立一种体积小、速度快、精度高的扫描曝光装置。

    一种带有非等深节流腔的气浮支承导向装置

    公开(公告)号:CN108547870B

    公开(公告)日:2019-03-29

    申请号:CN201810436968.7

    申请日:2018-05-09

    Abstract: 本发明公开一种带有非等深节流腔的气浮支承导向装置;通过在气浮工作面上有规律的布置节流塞,形成非等深的阵列节流腔,在保证气浮导轨承载和稳定性的前提下,可提高气浮工作面上单位面积的转动刚度。本发明可建立一种体积小、悬臂长、转矩载荷大的浮支承导向装置。

    基于双轴柔性铰链的平行运动机构调整装置

    公开(公告)号:CN108614395B

    公开(公告)日:2019-03-26

    申请号:CN201810437683.5

    申请日:2018-05-09

    Abstract: 本发明公开一种基于双轴柔性铰链的直线平行运动机构调整装置;该装置包括从动直线运动部件和从动导向机构,主动直线运动部件装配在主动导向机构上,在主动直线运动部件上通过固定螺钉固装二维调整模块,通过两根安装螺钉将连接座板装配在二维调整模块上,连接座板通过上、下调整定位螺母夹紧定位与从动直线运动部件连接,二维调整模块由偏转方向相互垂直的横向偏转倒角型铰链与纵向偏转倒角型铰链装配构成;本装置提高了曝光装置的稳定可靠性和运动机构的定位精度,及曝光窗口的扫描精度,使用范围光,结构合理、简单,使用可靠。

    一种窗口扫描式曝光装置
    46.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108663911A

    公开(公告)日:2018-10-16

    申请号:CN201810437318.4

    申请日:2018-05-09

    Abstract: 本发明公开一种窗口扫描式曝光装置;该装置通过4只刀片共面安装,并在石英条和曝光窗口之间的缝隙处形成矩形窗口,进行高分辨率的投影式曝光控制,同时可以实现易损耗光学元件的便捷更换,以及光学元件和拦光部件在长时间激光环境下的温度控制。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。

    一种多光阑共面的可变狭缝装置

    公开(公告)号:CN108627968A

    公开(公告)日:2018-10-09

    申请号:CN201810437726.X

    申请日:2018-05-09

    Abstract: 本发明公开一种多光阑共面的可变狭缝装置;该装置通过4只光阑片首尾相接并构成了矩形的狭缝式窗口,定位刀口平行安装在相邻的光阑片的运刀槽内,狭缝刀口平行安装在相邻的光阑片的定位刀槽内,实现了扫描窗口的4边共面,进而消除了由于边缘衍射对曝光均匀性的影响。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。

    一种半解耦的联动式可变光阑

    公开(公告)号:CN108627937A

    公开(公告)日:2018-10-09

    申请号:CN201810437697.7

    申请日:2018-05-09

    Abstract: 本发明公开一种半解耦联动式可变光阑。该装置包括4个主动气浮导轨和4个从动导轨并通过双层气浮模块和联动模块连接,从动导轨末端安装光阑板,4个光阑板首尾相接旋转对称式安装并形成共面的矩形窗口。该装置可通过驱动模块分别对4个光阑板进行逆时针异位控制,实现平面内任意范围的扫描,提高了窗口扫描的精度和效率。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。

    一种高回转精度结构的超声电机及定子与转子预紧方法

    公开(公告)号:CN105958863B

    公开(公告)日:2017-11-14

    申请号:CN201610480064.5

    申请日:2016-06-27

    Abstract: 一种高回转精度结构的超声电机及定子与转子预紧方法,它涉及一种超声电机及该电机的定子与转子预紧方法,以解决现有超声电机的支承轴承的轴承座孔分别在电机上盖和底座,两者分别加工,两个轴承座孔的同轴度很难达到较高的同轴要求,以及电机转子轴的支撑均采用深沟球轴承,转子轴的回转精度低的问题,它包括上盖、底座、转子轴、定子、转子、转子法兰、转子螺钉和两个角接触球轴承;两个角接触球轴承的角接触线同向且平行布置,转子轴安装在两个角接触球轴承上,定子安装在底座上,转子法兰与转子轴固接,定子的与底座相邻的端面上铺设有一层环形压电陶瓷。本发明用作超声电机,特别适合高回转精度应用场合。

    基于球面导向滑动支承的航空发动机转静子装配测量用调倾装置

    公开(公告)号:CN104400375B

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201410591476.7

    申请日:2014-10-29

    Abstract: 基于球面导向滑动支承的航空发动机转静子装配测量用调倾装置属于精密仪器及机械技术领域;该装置包括第一部件单元和第二部件单元两个部分,第一部件单元包括工作台面和球环,工作台面上布置有第一支承面、第二支承面、第三支承面、第四支承面、第一定位孔和第二定位孔,第一支承面、第二支承面和第三支承面为平面结构,第四支承面为V型槽结构,第一定位孔和第二定位孔为孔状结构;第二部件单元的底座上固定有弹性支承柱A、弹性支承柱B、X轴高度调整件、X轴高度回复装置、Y轴高度调整件和Y轴高度回复装置;且球环与底座接触配合,实现对工作台面的球面导向滑动支承;本发明装置可实现对大负载试件的无耦合倾斜调整。

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