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公开(公告)号：CN103282543B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201280004309.7
申请日：2012-03-02
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/5012 , C23C14/042 , C23C14/243 , C23C14/564 , H01L51/0011 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 从至少1个蒸镀源开口（61）放出的蒸镀颗粒（91），通过限制单元（80）的多个限制开口（82）和蒸镀掩模（70）的多个掩模开口（71），附着在沿第二方向（10a）相对移动的基板（10）上形成覆膜。限制单元包括叠层的多个板材。由此，能够高效率并且低成本地在大型基板上形成端缘的模糊被抑制的蒸镀覆膜。
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公开(公告)号：CN102834541B
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：CN201180015261.5
申请日：2011-02-10
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H05B33/10 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/225 , C23C14/24 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供在有机EL显示器用的基板（10）上按规定的图案形成薄膜（3）的蒸镀装置（50）。在掩模（60）与放射蒸镀颗粒的蒸镀源（53）之间配置有第一校正板（81）和第二校正板（82）。各校正板（81、82）分别具有多个叶片板（83）和支承它们的框（84）。各叶片板（83）在相对于掩模（60）倾斜的状态下，以从与掩模（60）正交的方向来看，在与相邻的叶片板（83）之间隔着开口（86）相互平行地延伸的方式配置。
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公开(公告)号：CN103340012A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201280005773.8
申请日：2012-01-13
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L27/3295 , C23C14/042 , C23C14/56 , H01L27/3211 , H01L27/3276 , H01L27/3283 , H01L51/56 , H01L2227/323
Abstract: 在利用蒸镀装置（50）形成有蒸镀部的TFT基板（10）中，蒸镀装置（50）包括具有射出口（86）的蒸镀源（85）和具有开口部（82）的蒸镀掩模（81），蒸镀颗粒经开口部（82）被蒸镀而形成蒸镀部，TFT基板（10）具有在像素区域（AG）二维排列的像素和与各像素电连接的配线（14），相互隔着间隙（X）地形成有多个蒸镀部（Q），配线（14）的各端子配置于间隙（X）。
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公开(公告)号：CN103270186A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201180060616.2
申请日：2011-12-16
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: B03C1/005 , B03C1/30 , B03C2201/20 , C23C14/12 , C23C14/564 , H01L51/0016
Abstract: 在腔室内构成物(70)的至少与成膜材料接触的部分，设置有包含能够被磁铁吸附的材料的层(71)。成膜材料的回收方法包括：剥离工序，将附着在腔室内构成物(70)的表面的附着物(22)剥离；和分离工序，使剥离工序中被剥离的包含能够被磁铁吸附的材料的层(71)的碎片吸附在磁铁(202a)上，从附着物(22)分离，从而回收附着物(22)。
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公开(公告)号：CN103189542A
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN201180052599.8
申请日：2011-10-11
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L22/20 , C23C14/042 , C23C14/24 , C23C14/54 , H01L27/3211 , H01L51/001 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 在使基板(10)相对于蒸镀掩模(70)以隔开固定间隔的状态相对移动的同时，使从蒸镀源(60)的蒸镀源开口(61)放出的蒸镀颗粒(91)依次通过控制板单元(80)具有的多个控制板(81)间的空间和蒸镀掩模的掩模开口(71)并附着在基板上形成覆膜(90)。检测蒸镀源和控制板单元间的热膨胀量差并对该热膨胀量差进行校正。由此，能够在大型基板上的期望位置形成抑制了端缘的模糊及其偏差的覆膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102834541A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201180015261.5
申请日：2011-02-10
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H05B33/10 , C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/225 , C23C14/24 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供在有机EL显示器用的基板（10）上按规定的图案形成薄膜（3）的蒸镀装置（50）。在掩模（60）与放射蒸镀颗粒的蒸镀源（53）之间配置有第一校正板（81）和第二校正板（82）。各校正板（81、82）分别具有多个叶片板（83）和支承它们的框（84）。各叶片板（83）在相对于掩模（60）倾斜的状态下，以从与掩模（60）正交的方向来看，在与相邻的叶片板（83）之间隔着开口（86）相互平行地延伸的方式配置。
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公开(公告)号：CN102106016A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN200980129180.0
申请日：2009-05-12
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L27/3246 , G02B5/201 , H01L27/322 , H01L51/0005
Abstract: 本发明提供能够容易地实现薄膜的平坦性和提高成品率的带薄膜的基板、有机电致发光显示装置、彩色滤光片基板和带薄膜的基板的制造方法。本发明的带薄膜的基板包括基板和在上述基板上形成的薄膜的带薄膜，上述带薄膜的基板包括：在上述基板上形成凹部的第一堤岸；和在上述第一堤岸上形成的第二堤岸，在由上述第二堤岸包围的划分区域内配置有多个上述凹部，上述薄膜配置在上述凹部内。
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公开(公告)号：CN1621900A
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN200410097823.7
申请日：2004-11-25
Applicant: 夏普株式会社
IPC: G02F1/133 , G02F1/136 , G02F1/1343
CPC classification number: G02F1/133555 , G02F1/1343 , G02F2001/133742 , G09G2300/0456
Abstract: 液晶显示装置具有：有源矩阵基板和对向基板、夹在两个基板之间的液晶层、和由进行反射模式显示的反射部和进行透过模式显示的透过部构成的多个像素。在有源矩阵基板上设置将电压加在反射部的液晶层上的反射电极、和与反射电极电气上连接的、将电压加在透过部的液晶层上透明电极，对向基板上设置与有源矩阵基板相对的共用电极，还具有施加电压调整部，使加在反射部上的液晶层上的电压和加在透过部上的液晶层上的电压接近。
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公开(公告)号：CN111886926B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN201880091586.3
申请日：2018-03-29
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H05B33/02 , G09F9/30 , H10K59/131 , H10K50/84 , H10K50/805 , H05B33/04 , H05B33/06 , H05B33/22
Abstract: 包括设置在树脂基板层(7)上的第一导电层(70)、设置在第一导电层上的平坦化膜(16)以及设置在平坦化膜上的有机EL元件(9)，且在显示区域(2)周围的边框区域中设置有第二导电层(75)，该第二导电层在平坦化膜上与有机EL元件的第二电极接触，并且在平坦化膜的外侧与第一导电层接触，第二电极经由第二导电层与第一导电层电连接，在平坦化膜中的位于边框区域的部分形成有沟槽(49)，第一导电层在沟槽的内部从平坦化膜露出，第二电极在沟槽的内部经由第二导电层与第一导电层电连接。
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