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公开(公告)号：CN102445852B
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN201010602976.8
申请日：2010-12-14
Applicant: 奇美实业股份有限公司
IPC: G03F7/039 , G03F7/00 , G02F1/1362 , H01L27/12 , H01L29/786
Abstract: 本发明涉及一种正型感光性树脂组成物及图案的形成方法。特别是提供一种正型感光性树脂组成物及该组成物形成耐干蚀刻性佳的图案的方法。上述树脂组成物包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、三聚氰胺系化合物(C)、环氧硅烷化合物(D)以及溶剂(E)，其中，该酚醛清漆树脂(A)包含高邻位酚醛清漆树脂(A-1)，该高邻位酚醛清漆树脂(A-1)于邻位-邻位上键结亚甲基的数量为该高邻位酚醛清漆树脂(A-1)所键结亚甲基的18～25％。
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公开(公告)号：CN103176364A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201210528013.7
申请日：2012-12-10
Applicant: 奇美实业股份有限公司
IPC: G03F7/039 , H01L21/77 , H01L27/12 , G02F1/1368
CPC classification number: G03F7/039 , G02F1/1333 , G03F7/0007 , G03F7/0045 , G03F7/0236 , Y10T428/1086
Abstract: 本发明是有关一种正型感光性树脂组合物，其具有经时安定性佳的优点。本发明还提供一种薄膜晶体管阵列基板的制造方法、一种薄膜晶体管阵列基板及一种液晶显示元件。
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公开(公告)号：CN102043356B
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN200910207224.9
申请日：2009-10-13
Applicant: 奇美实业股份有限公司
Inventor： 施俊安
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明涉及一种清洗基板用洗净液组成物，特别是提供一种洗净力强、洗净后光阻膜形状佳的清洗基板用洗净液组成物。该洗净液组成物的含水率在200ppm以下。
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公开(公告)号：CN102566273A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110346718.2
申请日：2011-11-07
Applicant: 奇美实业股份有限公司
IPC: G03F7/039 , G03F7/00 , G02F1/1368 , H01L21/77
Abstract: 本发明涉及一种正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。特别是提供一种耐裂缝性佳的正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法。前述树脂组成物包含酚醛清漆树脂(A)、含环氧丙烷基的环氧树脂(B)、邻萘醌二迭氮磺酸类酯化物(C)以及溶剂(D)，其中，该酚醛清漆树脂(A)包含羟基型酚醛清漆树脂(A-1)，该羟基型酚醛清漆树脂(A-1)由羟基苯甲醛类化合物与芳香族羟基化合物缩合而得。
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公开(公告)号：CN102540727A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110361741.9
申请日：2011-11-15
Applicant: 奇美实业股份有限公司
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0007 , G03F7/0757 , G03F7/40
Abstract: 本发明是有关一种光硬化性聚硅氧烷组成物及其所形成的基材保护膜。该光硬化性聚硅氧烷组成物包含聚硅氧烷高分子(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)及溶剂(C)，其中，以凝胶渗透色层分析法测试该聚硅氧烷高分子(A)的分子量分布，将分子量介于400～100,000的讯号作积分，以分子量及累积重量百分率绘图求得积分分子量分布曲线，该聚硅氧烷高分子(A)的分子量介于10,000～80,000者占25～60wt％，且该聚硅氧烷高分子(A)的分子量在800以下的寡聚物的含量占光硬化性聚硅氧烷组成物的0～10wt％。本发明还提供一种具有该保护膜的元件。该光硬化性聚硅氧烷组成物可具有较佳显影性及适当软化点，其后续所形成的保护膜在经过后烤后，能形成不易塌陷的图案。
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公开(公告)号：CN102445852A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010602976.8
申请日：2010-12-14
Applicant: 奇美实业股份有限公司
IPC: G03F7/039 , G03F7/00 , G02F1/1362 , H01L27/12 , H01L29/786
Abstract: 本发明涉及一种正型感光性树脂组成物及图案的形成方法。特别是提供一种正型感光性树脂组成物及该组成物形成耐干蚀刻性佳的图案的方法。上述树脂组成物包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、三聚氰胺系化合物(C)、环氧硅烷化合物(D)以及溶剂(E)，其中，该酚醛清漆树脂(A)包含高邻位酚醛清漆树脂(A-1)，该高邻位酚醛清漆树脂(A-1)于邻位-邻位上键结亚甲基的数量为该高邻位酚醛清漆树脂(A-1)所键结亚甲基的18～25％。
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公开(公告)号：CN119937243A
公开(公告)日：2025-05-06
申请号：CN202411547082.1
申请日：2024-10-31
Applicant: 奇美实业股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种化学增幅型正型感旋光性树脂组成物、硬化膜及具有硬化膜的元件。此化学增幅型正型感旋光性树脂组成物含有树脂(A)、光酸产生剂(B)与溶剂(C)。树脂(A)包括含酸解离性基的树脂(A‑1)，且光酸产生剂(B)包含肟磺酸酯基的化合物(B‑1)。利用此化学增幅型正型感旋光性树脂组成物所制得的硬化膜具有良好的高温高湿信赖性与显影密着性。
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公开(公告)号：CN119882346A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411402277.7
申请日：2024-10-09
Applicant: 奇美实业股份有限公司
IPC: G03F7/004 , G03F7/027 , H01L21/308
Abstract: 本揭示提供一种水溶性组合物，包含：光褪色化合物A；树脂B；界面活性剂C，其含有含全氟代烷基取代基的烯基；及溶剂D。本揭示另关于该水溶性组合物所形成之水溶性层。
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公开(公告)号：CN112876929B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202011245360.X
申请日：2020-11-10
Applicant: 奇美实业股份有限公司
IPC: C09D139/06 , C09D129/04 , C09D5/32 , H01L21/78 , B23K26/38
Abstract: 本发明提供一种保护膜组合物、半导体器件的制造方法及激光切割方法，所述保护膜组合物包括：水溶性树脂(A)、激光吸收剂(B)以及，溶剂(C)，其中，所述水溶性树脂(A)包含聚乙烯吡咯烷酮系水溶性树脂(A‑1)，且所述聚乙烯吡咯烷酮系水溶性树脂(A‑1)的K值为75以上且150以下。所述保护膜组合物具有流平性佳的优点。
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公开(公告)号：CN109557764B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN201811092392.3
申请日：2018-09-19
Applicant: 奇美实业股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种化学增幅型正型感光性树脂组成物、光阻图案及其形成方法以及电子装置，该化学增幅型正型感光性树脂组成物包括：含有酸解离性保护基的聚羟基苯乙烯树脂(A)；单不饱和腈化合物(B)；光酸产生剂(C)；以及溶剂(D)，使用所述化学增幅型正型感光性树脂组成物能够改善密着性及锥度角不佳的问题。
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