各向异性导电性部件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101276661A

    公开(公告)日:2008-10-01

    申请号:CN200810087625.0

    申请日:2008-03-25

    Abstract: 本发明提供一种各向异性导电性部件及其制造方法,其能够显著提高导通路的设置密度,即使在更加推进高集成化的现在也能够用作半导体元件等的电子器件的电连接部件或检查用插接件等。本发明的各向异性导电性部件是在绝缘性基材中由导电性部件构成的多个导通路以相互被绝缘的状态在厚度方向贯通绝缘性基材,并且以所述各导通路的一端在所述绝缘性基材的一面露出且所述各导通路的另一端在所述绝缘性基材的另一面露出的状态设置的各向异性导电性部件,其中,所述导通路的密度在200万个/mm2以上,所述绝缘性基材是由具有规则排列的微孔的铝基板的阳极氧化被膜构成的结构体。

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