公开(公告)号：CN1269046A

公开(公告)日：2000-10-04

申请号：CN98804736.5

申请日：1998-05-07

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 神山俊文 ,  国枝敏明 ,  冈崎祯之

IPC: G11B7/26

CPC classification number: C23C14/566 ,  C23C14/12 ,  C23C14/568 ,  G11B7/26 ,  G11B7/265

Abstract: 具有多个记录层的光记录媒体的制造装置,具有真空前处理室(52)、靠有机色素材料的蒸镀形成记录层用的多个记录层形成室(54,56)、反射层形成室(58)和真空后处理室(60)所构成,制造基板上具有多个记录层的光记录媒体的装置当中,各记录层形成室具有至少一个记录层形成单元(84,86)所构成,反射层形成室具有至少一个反射层形成单元(88)所构成。

公开(公告)号：CN1261926A

公开(公告)日：2000-08-02

申请号：CN98806874.5

申请日：1998-07-13

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 国枝敏明 ,  神山俊文 ,  冈崎祯之

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  G11B7/26 ,  G11B7/28

CPC classification number: C23C14/26 ,  C23C14/28 ,  G11B7/26

Abstract: 提供一种在由真空蒸镀法形成功能性薄膜的场合通过从上方对功能性材料进行加热、功能性材料蒸发时不发生功能性材料本身的突沸或喷溅的功能性薄膜的形成方法。具体地说,将功能性材料(7)容纳在盛放容器(8)中,通过用上方加热装置(9)从上方加热功能性材料(7),能对突沸或喷溅进行抑制并得到无气孔且均质的功能性薄膜。