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公开(公告)号：CN103283147A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201180062385.9
申请日：2011-12-12
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02535 , H01L41/18 , H01L41/1873 , H03H3/02 , H03H9/02228 , H03H9/02574 , Y10T29/42
Abstract: 提供利用了板波的弹性波装置，不需要空腔的形成，能谋求制造工序的简化，并且机械强度优良，处置容易，且改善了温度特性。弹性波装置(1)传播板波，在支承基板(2)上层叠声反射层(3)、压电体层(4)以及IDT电极(5)，压电体层(4)的厚度小于IDT电极(5)的电极指的周期，其中，声反射层(3)具有低声阻抗层(3b、3d、3f、3h)和高声阻抗层(3a、3c、3e、3g)，低声阻抗层由SiO2构成，所述高声阻抗层由从W、LiTaO3、Al2O3、AlN、LiNbO3、SiN以及ZnO所构成的群中选择的至少一种材料构成。
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公开(公告)号：CN119497961A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202380055009.X
申请日：2023-08-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 提供弹性波装置，能够推进滤波器装置的小型化，并且能够减小插入损耗。本发明的弹性波装置（10）具备：压电层（14），欧拉角（φ，θ，ψ）处于以下的式（1）、式（2）或式（3）的范围，包含铌酸锂；第1梳形电极（17），设置在压电层（14）上，具有第1汇流条（22）和一端分别与第1汇流条（22）连接的多个第1电极指（25），连接于输入电位；第2梳形电极（18），设置在压电层（14）上，具有第2汇流条（23）和一端分别与第2汇流条（23）连接的多个第2电极指（26），连接于输出电位，多个第2电极指（26）与多个第1电极指（25）相互交错对插；和基准电位电极（19），具有多个第3电极指（27）和将相邻的第3电极指（27）彼此连接的连接电极（34），连接于基准电位，多个第3电极指（27）分别设置在压电层（14）上，使得在第1电极指（25）以及第2电极指（26）排列的方向上与第1电极指（25）以及第2电极指（26）排列。第1电极指（25）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）排列的顺序在从第1电极指（25）开始的情况下是以第1电极指（25）、第3电极指（27）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）为1个周期的顺序。第1电极指（25）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）的合计的根数为16根以上。（0°±10°的范围内，0°～25°，任意的ψ）…式（1）（0°±10°的范围内，25°～100°，0°～75°［（1‑（θ‑50）2/2500）］1/2或180°‑75°［（1‑（θ‑50）2/2500）］1/2～180°）…式（2）（0°±10°的范围内，180°‑40°［（1‑（ψ‑90）2/8100）］1/2～180°，任意的ψ）…式（3）。
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公开(公告)号：CN118511432A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202380016410.2
申请日：2023-01-12
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够使产生无用波的频率远离反谐振频率的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置(10)具备：压电性基板，具有支承构件和压电层(14)，支承构件包含支承基板，压电层(14)设置在支承构件上，包含钽酸锂或铌酸锂；功能电极(IDT电极(11))，设置在压电层(14)上，具有至少一对电极指；以及电介质膜(25)，设置在压电层(14)上，使得覆盖至少一对电极指。在沿着支承构件以及压电层(14)的层叠方向观察的俯视下，在与功能电极的至少一部分重叠的位置形成有声反射部。在将压电层(14)的厚度设为d并将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。电极指具有：第1面(11a)和第2面(11b)，在厚度方向上相互对置；侧面(第1侧面部(11c)、第2侧面部(11d))，与第1面(11a)以及第2面(11b)连接；以及电极指棱线部(第1电极指棱线部(11e)、第2电极指棱线部(11f))，连接着侧面以及第1面(11a)。在第1面(11a)以及第2面(11b)之中，第2面(11b)位于压电层(14)侧。电介质膜(25)具有：电极指面覆盖部(25a)，覆盖电极指的第1面(11a)；侧面覆盖部(第1侧面覆盖部(25c)、第2侧面覆盖部(25d))，覆盖电极指的侧面；以及电介质膜棱线部(第1电介质膜棱线部(25e)、第2电介质膜棱线部(25f))，连接着侧面覆盖部以及电极指面覆盖部(25a)。电介质膜棱线部以及电极指棱线部的双方为曲面状，电介质膜棱线部的至少一部分的曲率半径比电极指棱线部的至少一部分的曲率半径大。
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公开(公告)号：CN113678371B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202080025868.0
申请日：2020-04-03
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 一种弹性波装置，能够有效地抑制高次模式。本发明的弹性波装置(1)具备作为硅基板的支承基板(4)、设置在支承基板(4)上的氮化硅膜(5)、设置在氮化硅膜(5)上的氧化硅膜(6)、设置在氧化硅膜(6)上且使用了Y切割X传播的钽酸锂的压电体层(7)及设置在压电体层(7)上且具有多个电极指的IDT电极(3)。将由IDT电极(3)的电极指间距规定的波长设为λ时，压电体层(7)的膜厚为1λ以下，压电体层(7)的欧拉角为(0±5°的范围内，θ，0±5°的范围内)或(0±5°的范围内，θ，180±5°的范围内)，压电体层(7)的欧拉角中的θ为相互等效的95.5°≤θ＜117.5°或‑84.5°≤θ＜‑62.5°，压电体层(7)的欧拉角中的θ与氮化硅膜(5)的膜厚的关系为表1或表2所示的组合。
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公开(公告)号：CN117678158A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202280050527.8
申请日：2022-06-29
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 提供能够抑制插入损耗变大的弹性波装置。本发明的弹性波装置(10)具备包括支承基板的支承构件、设置在支承构件上且是铌酸锂层或钽酸锂层的压电层(14)及设置在压电层(14)上且具有一对汇流条(第一、第二汇流条(26、27))和多个电极指(第一、第二电极指(28、29))的IDT电极(11)。在支承构件设置有声反射部。声反射部在俯视下与IDT电极(11)的至少一部分重叠。在将压电层(14)的厚度设为d并将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在IDT电极(11)的一个汇流条连接有多个电极指中的一部分电极指，在另一个汇流条连接有多个电极指中的剩余的电极指，连接到一个汇流条的多个电极指及连接到另一个汇流条的多个电极指相互交错对插。在从相邻的电极指彼此相对置的方向观察时，相邻的电极指彼此重合的区域是交叉区域(F)。位于交叉区域(F)与一对汇流条之间的区域是一对间隙区域(第一、第二间隙区域(G 1、G2))。在一对间隙区域中的至少一方设置有介电常数及密度比氧化硅高的附加膜(23)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112868177B
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN201980066809.5
申请日：2019-10-17
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种不易产生Q的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电体(5)，具有相互对置的一个主面以及另一个主面；IDT电极(6)，设置在压电体(5)的一个主面上，具有多根电极指(11、12)；高声速构件(3)，配置在压电体(5)的另一个主面侧，传播的体波的声速比在压电体(5)传播的弹性波的声速高；以及第1电介质膜(13)，设置在电极指(11、12)的上表面，在IDT电极(6)的电极指(11、12)间有不存在电介质的部分。
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公开(公告)号：CN113454912B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202080015501.0
申请日：2020-03-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
IPC: H03H9/25
Abstract: 提供一种能够抑制高阶模式的弹性波装置。弹性波装置(1)具备支承基板(3)、设置在支承基板(3)上的第一高声速膜(4)、设置在第一高声速膜(4)上的低声速膜(5)、设置在低声速膜(5)上的第二高声速膜(6)、设置在第二高声速膜(6)上的压电体层(7)以及设置在压电体层(7)上的IDT电极(8)，在低声速膜(5)传播的体波的声速比在压电体层(7)传播的体波的声速低，在第一高声速膜(4)传播的体波的声速比在压电体层(7)传播的弹性波的声速高，在第二高声速膜(6)传播的体波的声速为在第一高声速膜(4)传播的体波的声速以上。
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公开(公告)号：CN109981073B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN201811514233.8
申请日：2018-12-11
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种多工器、高频前端电路以及通信装置。多工器的第1滤波器具有作为弹性波谐振器的串联谐振器和并联谐振器。串联谐振器之中最接近公共端子的第1串联谐振器不将并联谐振器夹在中间地与公共端子连接。弹性波谐振器具有：具有压电性的基板、形成在基板上的IDT电极、和设置在基板上以使得覆盖IDT电极的电介质层。第1串联谐振器的电介质层的厚度t1比其余的多个弹性波谐振器的电介质层的厚度t2薄。由此，提供能够抑制在滤波器的阻带中产生的高阶模杂散的多工器等。
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公开(公告)号：CN111095795B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN201880060290.5
申请日：2018-09-19
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 大门克也
Abstract: 提供一种弹性波滤波器装置，能够将弹性波的能量有效率地封闭在压电体层侧，且能够抑制起因于阻带上端的响应。弹性波滤波器装置(1)具备压电体层、高声速构件、设置在高声速构件与压电体层之间的低声速膜、和设置在压电体层上的包含第1、第2IDT电极的多个IDT电极。由高声速构件、低声速膜、压电体层以及多个IDT电极构成了多个弹性波谐振器。串联臂谐振器部之中的配置在最靠天线端(X)侧的串联臂谐振器部(S1)的弹性波谐振器以及配置在最靠天线端(X)侧的并联臂谐振器部(P1)中的弹性波谐振器之中的至少一方具备具有第1、第2电极指的第1IDT电极，剩余的弹性波谐振器具备具有第3、第4电极指的第2IDT电极。在第1IDT电极中，沿着与弹性波传播方向正交的方向，中央区域、第1、第2低声速区域以及第1、第2高声速区域按该顺序配置。通过连结第2IDT电极的多个第3、第4电极指的前端而形成的第1、第2包络线相对于弹性波传播方向倾斜地延伸。
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