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公开(公告)号：JP6889006B2
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：JP2017076949
申请日：2017-04-07
Applicant: 株式会社東芝 , 東芝マテリアル株式会社
IPC: F21V7/06 , F21Y113/13 , F21Y115/10 , F21S2/00
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公开(公告)号：JP2021076423A
公开(公告)日：2021-05-20
申请号：JP2019201697
申请日：2019-11-06
Applicant: 株式会社東芝
IPC: G01N21/57
Abstract: 【課題】 様々な角度の散乱光を同時に取得することが可能な光学検査装置を提供する。 【解決手段】 実施形態の光学検査装置は,第1の光線を射出する第1の照明部と,物体で反射する第1の光線が入射する結像光学系と,第1の光線が通過するのと同時期に少なくとも2つの互いに異なる波長領域の通過光線を射出し,通過光線のうち少なくとも一つの波長スペクトルが反射した第1の光線の波長スペクトルと異なる,散乱光選択部と,通過光線が同時期に結像する撮像素子とを有する。 【選択図】 図1
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公开(公告)号：JP2020154017A
公开(公告)日：2020-09-24
申请号：JP2019049632
申请日：2019-03-18
Applicant: 株式会社東芝
Abstract: 【課題】機械的な振動の影響が低減された光学偏向素子を提供する。 【解決手段】実施形態の光学偏向素子は、基板と、少なくとも3つの電極とを備える。前記基板は、レーザー光が入射する入射面と、前記入射面から入射して内部を透過したレーザー光が射出される射出面とを有し、レーザー光に対して透明である。前記少なくとも3つの電極は、前記基板の面上に第1の方向に第1の間隔で配置される。前記少なくとも3つの電極は、電圧印加されることにより第1の波長を有する表面弾性波を前記基板に生成可能である。前記少なくとも3つの電極は、少なくとも2つの電極間隔で選択的に電圧印加できるように配線されている。前記少なくとも3つの電極は、前記第1の間隔とは異なる電極間隔で選択的に電圧印加されることにより前記第1の波長とは異なる第2の波長を有する表面弾性波を前記基板に生成可能である。 【選択図】 図3
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公开(公告)号：JP2019203796A
公开(公告)日：2019-11-28
申请号：JP2018099203
申请日：2018-05-23
Applicant: 株式会社東芝
Abstract: 【課題】被検物に係る情報を高精度に測定することができる光学検査装置を提供する。 【解決手段】実施形態の光学検査装置は、第1の光学系と、第2の光学系と、撮像素子とを含む。第1の光学系は、第1の波長の光線を通過させ、前記第1の波長の光線に対して物体側にテレセントリック性を有している。第2の光学系は、前記第1の波長とは異なる第2の波長の光線を通過させる。撮像素子は、前記第1の光学系を通過した前記第1の波長の光線と、前記第2の光学系を通過した前記第2の波長の光線とに基づいて、前記物体を撮像可能である。 【選択図】 図16
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公开(公告)号：JP2019166818A
公开(公告)日：2019-10-03
申请号：JP2018058715
申请日：2018-03-26
Applicant: 技術研究組合次世代3D積層造形技術総合開発機構 , 株式会社東芝 , 東芝機械株式会社
IPC: B29C64/153 , B29C64/268 , B33Y30/00 , B22F3/105 , B22F3/16 , B29C64/209
Abstract: 【課題】例えば、造形位置に供給する材料の粉体の収束性をより高めることが可能な積層造形装置のノズルを得る。 【解決手段】実施形態の積層造形装置のノズルは、エネルギ線が通る第一通路を構成する第一内面と、第一通路に沿って延びガスおよび材料の粉体が通る第二通路を構成する第二内面と、を備える。ノズルの先端部分においては、第一通路が開口されるとともに、当該第一通路の近傍または周囲に第二通路が開口される。第二内面の少なくとも一部には、第一内面および先端部分の周囲の外周面のうち少なくとも一方よりも粉体に対する摩擦係数が大きい第一領域が設けられる。 【選択図】図3
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：JP2019059114A
公开(公告)日：2019-04-18
申请号：JP2017185420
申请日：2017-09-26
Applicant: 技術研究組合次世代3D積層造形技術総合開発機構 , 株式会社東芝 , 東芝機械株式会社
IPC: B22F3/105 , B22F3/16 , B29C64/106 , B29C64/153 , B33Y30/00 , B29C64/268 , B29C64/209
Abstract: 【課題】より微細な領域に粉体を供給することができるノズルを提供する。 【解決手段】一つの実施形態に係るノズルは、内側面と、前記内側面に向く外側面と、を有し、エネルギー線が通る第1の通路と、前記内側面と前記外側面との間に設けられ、粉体及び流体が通る、第2の通路と、が設けられる。前記第2の通路は、第1の方向における当該第2の通路の端に位置する第2の開口端を含む。前記内側面と前記外側面とのうち一方の第1の面は、前記第1の方向における当該第1の面の端に位置する第1の端縁を含む。前記内側面と前記外側面とのうち他方の第2の面は、前記第1の方向における当該第2の面の端に位置するとともに前記中心軸に沿う方向において前記第1の端縁から前記第1の方向に離間する第2の端縁を含む。前記第2の開口端から吐出された前記流体が、前記第2の面に沿って流れ、前記第2の端縁で剥離を生じる。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP2019040101A
公开(公告)日：2019-03-14
申请号：JP2017162719
申请日：2017-08-25
Applicant: 株式会社東芝 , 東芝マテリアル株式会社
Inventor： 大野 博司
IPC: H01L31/054 , F21S2/00 , F21V5/00 , F21Y101/00 , F21Y115/10 , G02B5/00
Abstract: 【課題】高効率の光学素子を提供する。 【解決手段】実施形態の光学素子100は、光線が入射する入射部130と、入射部130から入射した光線を内部全反射させる第1の内部全反射部110と、第1の内部全反射部110で内部全反射された光線が出射する射出部140とを備える。第1の内部全反射部110は、光学素子100の中心軸A1から放射状に延びる第1の山部111を有する。第1の山部111の断面形状は、中心軸A1からの距離に応じて変化する。 【選択図】 図1
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公开(公告)号：JP6448604B2
公开(公告)日：2019-01-09
申请号：JP2016223582
申请日：2016-11-16
Applicant: 株式会社東芝 , 東芝マテリアル株式会社
IPC: F21V9/32 , F21V29/503 , F21V29/508 , F21V29/70 , H01L33/58 , H01L33/00 , G02B6/00 , G02B5/20 , F21Y115/10 , F21V8/00
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公开(公告)号：JP2018153935A
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：JP2017050365
申请日：2017-03-15
Applicant: 株式会社東芝
IPC: B33Y30/00 , B33Y10/00 , B29C64/153 , B29C64/393 , B33Y50/02 , B29C64/277 , B23K26/21 , B23K26/34 , B22F3/105 , B22F3/16 , B28B1/30 , B29C64/273
CPC classification number: B29C64/268 , B22F3/105 , B22F3/1055 , B23K26/352 , B29C64/153 , B29C64/209 , B29C64/371 , B29C67/04 , B29K2105/251 , B33Y10/00 , B33Y30/00 , C04B35/64 , H01S5/3401 , H01S5/4025
Abstract: 【課題】所望の性能を有する造形物の積層造形が可能な積層造形装置を提供する。 【解決手段】一つの実施形態に係る積層造形装置は、第1の照射部と、第1の出射装置と、を備える。前記第1の照射部は、第1の光を材料に照射して当該材料を溶融又は焼結するよう構成される。前記第1の出射装置は、前記第1の光を出射するよう構成された第1の光源を有し、前記第1の光源から出射された前記第1の光を前記第1の照射部に入射させるとともに、前記第1の照射部に入射する前記第1の光の波長を変更可能である。 【選択図】図1
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