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公开(公告)号：JP2017128509A
公开(公告)日：2017-07-27
申请号：JP2017092251
申请日：2017-05-08
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】設計データに対する三次元形状の一致度が高い回転モールド法でのシリカガラスルツボの製造方法を提供する。 【解決手段】当初の物性パラメータに基づいて得られたシミュレーションデータおよび測定データの三次元形状の一致度が所定の水準を下回っている場合には、その一致度が所定の水準以上となる改善物性パラメータを設定する。また、一致度が所定の水準を下回っている場合には、物性パラメータの変更および変更後の物性パラメータによる再度のシミュレーションを繰り返し、一致度が所定の水準以上となるシミュレーションデータが得られる回転モールド法での改善製造条件を設定する。その結果、シリカガラスルツボの設計データおよび測定データの三次元形状の一致度を所定の水準以上に高めることができる。すなわち、設計データに対する三次元形状の一致度が高いシリカガラスルツボを回転モールド法で製造することができる。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6166793B2
公开(公告)日：2017-07-19
申请号：JP2015554979
申请日：2014-12-25
Applicant: 株式会社SUMCO
CPC classification number: G01N21/23 , C03C3/04 , C30B15/10 , C30B29/06 , G01L1/24 , G01L5/0047 , H04N5/232 , G01N2201/062 , G01N2201/0683
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公开(公告)号：JP2017052699A
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：JP2016246873
申请日：2016-12-20
Applicant: 株式会社SUMCO
IPC: C30B29/06
Abstract: 【課題】個々のシリカガラスルツボの容積を正確に把握してシリカガラスルツボ内のシリコン融液の初期液面レベルを事前に予測し、これにより種結晶の着液工程を確実に行う。 【解決手段】先行のシリコン単結晶の引き上げが終了した後、シリカガラスルツボ内に原料を追加して後続のシリコン単結晶の引き上げを行うマルチ引き上げ工程を含み、1回目のシリコン単結晶の引き上げ工程において、シリコン単結晶の引き上げのための種結晶の着液制御を行い、2回目以降のシリコン単結晶の引き上げ工程では、先行のシリコン単結晶の重量からシリカガラスルツボ内に残留しているシリコン融液の残量を求め、シリカガラスルツボの内表面の3次元形状及びシリコン融液の残量に基づいて、後続のシリコン単結晶の引き上げに用いるシリコン融液の初期液面レベルの予測値を満たす原料の追加充填量を求める。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6030764B2
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：JP2015524912
申请日：2013-06-30
Applicant: 株式会社SUMCO
CPC classification number: G01N21/95 , C30B15/10 , C30B29/06 , G01N21/3563 , G01N21/65 , G01N2021/8477 , G01N2201/105 , G01N2201/12
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2016179940A
公开(公告)日：2016-10-13
申请号：JP2016108432
申请日：2016-05-31
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】シリカガラスルツボの評価方法、シリコン単結晶の製造方法を提供する。 【解決手段】本発明は、シリカガラスルツボの内表面に沿って非接触で内部測距部を移動させ、移動経路上の複数の測定点において内部測距部からシリカガラスルツボの内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、その反射光をレーザー変位計で測定して2つのピークが観測されるように内部測距部と内表面との距離やレーザー光の出射方向を変化させて、2つのピークのうちの内表面側のピークの位置によって内部測距部と内表面との間の内表面距離を測定し、各測定点の三次元座標と内表面距離を関連付けることによってシリカガラスルツボの内表面の三次元形状を求め、この複数の測定点において内表面の表面粗さを測定することによって内表面の表面粗さの三次元分布を決定し、内表面の表面粗さが規定の範囲内に入っているか否かによってシリカガラスルツボの品質を検査する工程を備える。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供石英玻璃坩埚的评价方法和单晶硅的制造方法。解决方案：根据本发明的石英玻璃坩埚的评估方法包括以下步骤：移动内部测距部分 沿着石英玻璃坩埚的内表面以非接触方式; 在运动路线上的多个测量点沿倾斜方向从内部测距部分发射激光束到石英玻璃坩埚的内表面; 改变内部测距部分和内部表面之间的距离或激光束的发射方向，使得可以通过使用激光位移计来测量激光束的反射光来观察两个峰值，使得两个峰值之间的内表面距离 在两个峰之间的内表面侧的峰位置测量内部测距部分和内表面; 通过将每个测量点的三维坐标与内表面距离相关联来确定石英玻璃坩埚的内表面的三维形状; 通过在该三维形状的多个测量点处测量内表面的表面粗糙度来确定内表面的表面粗糙度的三维分布; 并且通过确定内表面的表面粗糙度是否落在预定范围内来检查石英玻璃坩埚的质量。选择的图示：图1
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公开(公告)号：JP2016153372A
公开(公告)日：2016-08-25
申请号：JP2016108431
申请日：2016-05-31
Applicant: 株式会社SUMCO
IPC: C30B29/06
Abstract: 【課題】シリカガラスルツボの評価方法、及びシリコン単結晶の製造方法を提供する。 【解決手段】本発明は、シリカガラスルツボの内表面に沿って非接触で内部測距部を移動させ、移動経路上の複数の測定点において、内部測距部からシリカガラスルツボの内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、レーザー光の反射光をレーザー変位計で測定して2つのピークが観測されるように内部測距部と内表面との距離やレーザー光の出射方向を変化させて、2つのピークのうちの内表面側のピークの位置によって内部測距部と内表面との間の内表面距離を測定し、各測定点の三次元座標と、内表面距離を関連付けることによってシリカガラスルツボの内表面の三次元形状を求め、この複数の測定点においてラマンスペクトルの三次元分布を決定し、ラマンスペクトルが規定の範囲内に入っているか否かによってシリカガラスルツボの品質を検査する工程を備える。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题：提供石英玻璃坩埚的评价方法和单晶硅的制造方法。解决方案：本发明包括内部距离测量单元沿内表面非接触地移动的过程 在石英玻璃坩埚上，在运动路线上的多个测量点处，从内测距单元的倾斜方向照射石英玻璃坩埚的内表面，激光束的反射光由激光位移计 并且内部距离测量单元与内表面之间的距离或激光束的喷射方向改变，使得观察到两个峰值，内部距离测量单元和内部表面之间的内表面距离通过 在两个峰的内表面侧的峰值，二氧化硅玻璃坩埚的内表面的三维形状由关联物 g测量点的三维坐标和内表面距离，在多个测量点确定拉曼光谱的三维分布，根据拉曼光谱是否落入，检查石英玻璃坩埚的质量 预定范围。图1
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公开(公告)号：JP2016064934A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：JP2014193116
申请日：2014-09-22
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】非破壊でシリカガラスルツボの厚み方向の層の構造を測定することが可能なルツボ測定方法の提供。 【解決手段】測定の対象となるシリカガラスルツボにレーザーポインタ2を用いてレーザー光を出射し、シリカガラスルツボ内に入射されたレーザー光の、シリカガラスルツボの厚み方向の各位置の散乱状況を測定することにより、シリカガラスルツボの厚み方向の層の構造を把握するルツボ測定方法。前記シリカガラスルツボに入射したレーザー光が透過する領域を気泡含有量の少ない層である透明層と、レーザー光が散乱する領域を気泡含有量が多い層である気泡含有層とで構成され、レーザー光の散乱の強さに強弱がある場合には、気泡含有層が複数の層により構成される。 【選択図】図5
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种无损地测量石英玻璃坩埚层的厚度方向结构的坩埚测量方法。解决方案：坩埚测量方法获得二氧化硅厚度方向的层的结构 通过使用激光指示器2向用作测量对象的石英玻璃坩埚发射激光并测量在石英玻璃坩埚的厚度方向上的每个位置处的散射环境。 进入二氧化硅玻璃坩埚透射的激光的区域由具有较少泡沫成分的层的透明层构成。 激光散射的区域由具有更多泡沫成分的层的含泡沫层构成。 当激光强度更强且更弱时，含泡沫层由多个层组成。选择图：图5
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