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公开(公告)号：JP2020003502A
公开(公告)日：2020-01-09
申请号：JP2019164493
申请日：2019-09-10
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: 【課題】ファブリペロー干渉フィルタを備える光検出装置を提供する。 【解決手段】光検出装置は、第1ミラーと第2ミラーとの距離に応じた光を透過させる光透過領域を有するファブリペロー干渉フィルタと、光透過領域を透過した光を検出する光検出器と、ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器を収容するパッケージと、を備える。パッケージは、支持体と、光透過基板と、を有する。パッケージ内には、光透過領域を光が透過する方向におけるファブリペロー干渉フィルタの光入射側の第1空間、及び、光透過領域を光が透過する方向におけるファブリペロー干渉フィルタの光出射側の第2空間が設けられている。第1空間及び第2空間のそれぞれは、光透過領域を光が透過する方向に垂直な方向における幅が、光透過領域を光が透過する方向に平行な方向における幅よりも大きい空間である。 【選択図】図5
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公开(公告)号：JP2019148823A
公开(公告)日：2019-09-05
申请号：JP2019088308
申请日：2019-05-08
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: 【課題】複数のファブリペロー干渉フィルタを効率良く且つ歩留まり良く得ることを可能にするウェハを提供する。 【解決手段】ウェハは、基板層と、二次元に配置された複数の第1ミラー部を有する第1ミラー層と、二次元に配置された複数の第2ミラー部を有する第2ミラー層と、を備える。有効エリアにおいては、互いに対向する第1ミラー部と第2ミラー部との間に空隙が形成されることで、複数のファブリペロー干渉フィルタ部が構成されている。基板層の外縁に沿い且つ有効エリアを囲むダミーエリアにおいては、互いに対向する第1ミラー部と第2ミラー部との間に中間層が設けられることで、複数のダミーフィルタ部が構成されている。有効エリアとダミーエリアとの境界部分には、基板層とは反対側に開口する溝が境界部分に沿って延在している。 【選択図】図7
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公开(公告)号：JPWO2018037725A1
公开(公告)日：2019-06-20
申请号：JP2017024646
申请日：2017-07-05
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: ファブリペロー干渉フィルタ1は、第1表面11aを有する基板11と、第1ミラー部31を有する第1積層体22と、空隙Sを介して第1ミラー部31と対向する第2ミラー部32を有する第2積層体24と、第1積層体22と第2積層体24との間において空隙Sを画定する中間層23と、第1端子15と、を備え、中間層23は、第1端子15を囲む第1内側面23dを有し、第1内側面23dは、中間層の基板側の縁部が、中間層の基板とは反対側の縁部よりも、第1端子側に位置するように、湾曲している。
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公开(公告)号：JPWO2018037724A1
公开(公告)日：2019-06-20
申请号：JP2017024645
申请日：2017-07-05
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: ファブリペロー干渉フィルタ1は、第1表面11aを有する基板11と、第1表面11aに配置された第1ミラー部31を有する第1積層体22と、第1ミラー部31に対して基板11とは反対側において空隙Sを介して第1ミラー部31と対向する第2ミラー部32を有する第2積層体24と、第1積層体22と第2積層体24との間において空隙Sを画定する中間層23と、を備える。中間層23の外側面23bは、中間層23の基板11側の縁部が、中間層23の基板11とは反対側の縁部よりも、第1表面11aに平行な方向において外側に位置するように、湾曲している。第2積層体24は、中間層23の外側面23bを被覆している。
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公开(公告)号：JPWO2017204326A1
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：JP2017019680
申请日：2017-05-26
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: ファブリペロー干渉フィルタの製造方法は、二次元状に配列された複数の基板に対応する部分を含み、複数のラインのそれぞれに沿って複数の基板に切断される予定のウェハの第1主面に、複数の第1ミラー部を有する第1ミラー層、複数の除去予定部を有する犠牲層、及び複数の第2ミラー部を有する第2ミラー層を形成する形成工程と、形成工程の後に、エッチングによって犠牲層から二次元状に配列された複数の除去予定部を同時に除去する除去工程と、除去工程の後に、複数のラインのそれぞれに沿ってウェハを複数の基板に切断する切断工程と、を備える。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2018156112A
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：JP2018113531
申请日：2018-06-14
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
IPC: G02B26/00
Abstract: 【課題】駆動時における光透過領域での可動ミラーの平坦性の向上、及び、可動ミラーの耐久性の向上を図ることができるファブリペロー干渉フィルタを提供する。 【解決手段】ファブリペロー干渉フィルタは、固定ミラーと、空隙を介して固定ミラーと対向するように配置され、光透過領域に対応する第1部分、光透過領域を囲む包囲部、及び包囲部の外側の第2部分を有し、静電気力によって包囲部及び第2部分が変形することで第1部分において固定ミラーとの距離が調整される可動ミラーと、を備える。可動ミラーのうち光透過領域を囲む包囲部には、光透過領域を囲む複数の第1環状溝、及び、空隙側及びその反対側に開口する複数の第1貫通孔が形成されている。複数の第1貫通孔の少なくとも一部は、隣り合う第1環状溝間の領域と重なっている。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP6368447B1
公开(公告)日：2018-08-01
申请号：JP2018093874
申请日：2018-05-15
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
IPC: G02B26/00
Abstract: 【課題】ファブリペロー干渉フィルタを製造するに際し、製造効率及び歩留まりの両方を向上させることができるウェハ構造体を提供する。 【解決手段】 ウェハ構造体は、格子状に延在する複数のラインのそれぞれに沿って複数のファブリペロー干渉フィルタに切断される予定のウェハ構造体である。ウェハ構造体は、ウェハと、ウェハの第1主面に形成された第1ミラー層と、第1ミラー層上に形成された犠牲層と、犠牲層上に形成された第2ミラー層と、を備える。第1主面には、第1ミラー層、犠牲層、及び第2ミラー層の少なくとも1つが部分的に薄化された第1薄化領域が、格子状に延在する複数のラインのそれぞれに沿うように形成されている。 【選択図】図7
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公开(公告)号：JPWO2017057372A1
公开(公告)日：2018-07-19
申请号：JP2016078476
申请日：2016-09-27
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
CPC classification number: G01J5/0862 , G01J3/26 , G01J5/20 , G02B26/00 , G02F1/21 , G02F2001/213 , H01L31/02005 , H01L31/0203 , H01L31/02327 , H01L31/03046 , H01L37/02
Abstract: 光検出装置は、光透過領域が設けられたファブリペロー干渉フィルタと、光透過領域を透過した光を検出する光検出器と、開口を有し、ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出器を収容するパッケージと、開口を塞ぐようにパッケージの内面に配置され、光透過領域に入射させる光を透過させるバンドパスフィルタを含む光透過部と、を備える。ラインに平行な方向から見た場合に、ファブリペロー干渉フィルタの外縁は、開口の外縁よりも外側に位置しており、光透過部の外縁は、ファブリペロー干渉フィルタの外縁よりも外側に位置している。
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公开(公告)号：JP6356427B2
公开(公告)日：2018-07-11
申请号：JP2014025289
申请日：2014-02-13
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B5/284
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公开(公告)号：JP2018010037A
公开(公告)日：2018-01-18
申请号：JP2016136813
申请日：2016-07-11
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: 【課題】良好な光透過特性が得られるファブリペロー干渉フィルタ及び光検出装置を提供する。 【解決手段】ファブリペロー干渉フィルタ10は、互いに対向する第1表面21a及び第2表面21bを有する基板21と、第1表面21aに配置された第1層構造体15と、第2表面21bに配置された第2層構造体16と、を備える。第1層構造体15には、空隙Sを介して互いに対向し且つ互いの距離が可変とされた第1ミラー部41及び第2ミラー部42が設けられている。第2層構造体16には、第2表面21bに沿った方向における一方の側と他方の側とに第2層構造体16の少なくとも一部を分離する分離領域64が形成されている。分離領域64における基板21とは反対側の端部は、第2層構造体16の内部に位置している。 【選択図】図4
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