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公开(公告)号：CN104062700B
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201410097629.2
申请日：2014-03-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
Abstract: 本发明涉及干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5），具备：固定基板（51）；设置于固定基板（51）、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的固定反射膜（54）；与固定反射膜（54）对置、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的可动反射膜（55）；设置于固定反射膜（54）的周围，具备光吸收层（571）和金属层（572）的固定电极（561），光吸收层（571）相比金属层（572）设置于距离固定基板（51）近的位置。
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公开(公告)号：CN108508592A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810156107.3
申请日：2018-02-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
Abstract: 本发明涉及波长可变干涉滤波器及光学模块。波长可变干涉滤波器的特征在于，包括：第一基板，设置有第一反射膜；以及第二基板，具备可动部和保持部，与所述第一反射膜相对的第二反射膜设置于可动部，保持部包围所述可动部的外周，并将所述可动部保持为能够在所述第二反射膜的厚度方向上位移，所述可动部在俯视观察时具有长边及短边，所述保持部包括沿所述长边设置的长边侧保持部和沿所述短边设置的短边侧保持部，所述短边侧保持部的刚度低于所述长边侧保持部的刚度。
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公开(公告)号：CN105022160B
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：CN201510487456.X
申请日：2012-02-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G01J3/51 , G01N21/25 , H01L27/14621
Abstract: 提供了波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备。该波长可变干涉滤波器包括：第一基板；与第一基板相对配置的第二基板；配置在第一、第二基板之间的第一反射镜；配置在第一反射镜和第二基板之间的第二反射镜；配置在第一、第二基板之间的第一电极；以及配置在第一电极和第二基板之间的第二电极，其中，第一基板具有与第二基板相对配置的第一电极面、与第一电极面交叉配置的第一面和第二面、与第二面交叉并朝向第一基板的外周配置的第三面，第二基板具有与第一电极面相对配置的第二电极面，第一电极配置在第一、第二电极面之间，并覆盖第二面的至少一部分和第三面的至少一部分，第二电极在第一、第二电极面之间与第一电极通过接触而电连接。
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公开(公告)号：CN104034418B
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201410077503.9
申请日：2014-03-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
IPC: G01J3/28
CPC classification number: G01J3/2823 , G01J3/26 , G01J2003/2813 , G01J2003/2826
Abstract: 本发明涉及分光测定装置。该分光测定装置具备：波长可变干涉滤波器（5），可以变更选择的光的波长，使来自测定对象物X的光分光；摄像部（摄像元件（32）以及光量取得部（63）），分别接收由波长可变干涉滤波器5分光为多个波长的光而取得多个分光图像；位置偏移量检测部（位置对准点选择部（742）以及补正量检测部（743）），从由摄像部取得的多个分光图像中选择基准图像，在该基准图像与基准图像以外的至少一个分光图像之间，检测接收到来自测定对象物X的规定位置的光的像素位置的位置偏移量；以及位置补正部（744），根据检测出的位置偏移量，进行基准图像以外的分光图像的位置对准。
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公开(公告)号：CN102798972B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201210144872.6
申请日：2012-05-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J1/04 , G01J1/0488 , G01J3/26 , G01J2003/1247 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供了一种滤光器、滤光器模块以及光分析装置，该滤光器具备：固定基板；可动基板，与固定基板相对；第一反射膜，设置在固定基板的与可动基板相对的面上；第二反射膜，设置在可动基板上，隔着间隙与第一反射膜相对；第一电极，覆盖所述第一反射膜，延伸至第一反射膜的外周的外侧的范围而形成；以及第二电极，设置在可动基板的与固定基板相对的面上，并与第一电极的一部分相对，其中，第一电极由透光性材料形成，第一电极与第二反射膜电连接，处于等电位。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102207615B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201110057787.1
申请日：2011-03-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
CPC classification number: G02B5/26 , G01J3/26 , G02B1/10 , G02B6/29361 , G02B26/001
Abstract: 本发明涉及光滤波器以及使用其的分析设备和光设备。该光滤波器具有：第一基板、第二基板、被设于第一基板的第一对置面中的第一反射膜、被设于第二基板的第二对置面中的第二反射膜、在俯视时在第一反射膜的周围的位置设于第一基板中的第一电极、被设于第二基板中而与第一电极对置的第二电极，在第一对置面及第二对置面的至少一方中形成阶梯部，将第一反射膜与第二反射膜之间的初始间隙制成比第一电极与第二电极之间的初始间隙小，精度优良地控制反射膜间的间隙。
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公开(公告)号：CN104678473A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201410670274.1
申请日：2014-11-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B5/28
CPC classification number: G02B26/001 , G02B5/0825 , G02B5/201
Abstract: 本发明涉及波长可变干涉滤波器、光学模块以及电子设备。波长可变干涉滤波器(5)具备多个滤波器部(50)，所述滤波器部(50)具备：相互相对的一对反射膜(54、55)、以及变更一对反射膜(54、55)的间隔的间隙变更部，多个所述滤波器部(50)相对于与反射膜(54、55)的反射面平行的配置面二维配置，从沿配置面的规定方向(第一方向(V))观察时，在沿与规定方向(第一方向(V))交叉的第一假想直线(L1)以规定的间隔相邻的两个反射膜(54、55)之间，配置于与第一假想直线(L1)上不同的位置的其他滤波器部(50C)的反射膜(54、55)与第一假想直线(L1)上的反射膜(54、55)的一部分重叠并且无间隙地配置。
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公开(公告)号：CN104516040A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201410505073.6
申请日：2014-09-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B5/28 , G02B26/00 , G01J3/46 , G01N21/65 , G01N21/3504
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/51 , G02B1/11 , G02B5/28 , G02B5/285 , G01J3/46 , G01N21/3504 , G01N21/65
Abstract: 本发明涉及干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备。波长可变干涉滤波器(5)具备：固定基板(51)；固定反射膜(54)，设置于固定基板(51)的与可动基板(52)相对的整个面上，由多层膜构成；可动反射膜(55)，与固定反射膜(54)相对；以及第一镜电极(571)，设置在固定反射膜(54)上。
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公开(公告)号：CN104062700A
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201410097629.2
申请日：2014-03-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
CPC classification number: G02B5/28 , G01J3/26 , G01J3/51 , G02B6/29358 , G02B26/001 , G02B26/0841
Abstract: 本发明涉及干涉滤波器、光学滤波器装置、光学模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5），具备：固定基板（51）；设置于固定基板（51）、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的固定反射膜（54）；与固定反射膜（54）对置、使入射光的一部分反射、至少一部分透过的可动反射膜（55）；设置于固定反射膜（54）的周围，具备光吸收层（571）和金属层（572）的固定电极（561），光吸收层（571）相比金属层（572）设置于距离固定基板（51）近的位置。
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公开(公告)号：CN103376544A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201310121583.9
申请日：2013-04-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B5/28 , G01J3/26 , G01J3/51 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供波长可变干涉滤波器、光滤波器装置、光模块以及电子设备。其中，波长可变干涉滤波器包括设置有固定反射膜及固定侧电极的固定基板，以及设置有可动反射膜及可动侧电极的可动基板，在滤波器俯视观察中，固定侧电极以及可动侧电极设置在固定反射膜及可动反射膜重合的光干涉区域的外侧，固定侧电极的内径侧边缘位于比可动侧电极的内径侧边缘更靠近光干涉区域的一侧，固定侧电极的外径侧边缘位于比可动侧电极的外径侧边缘更远离光干涉区域的一侧。
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