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公开(公告)号：CN108458702A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201810125332.0
申请日：2018-02-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5719 , G01C19/5733
Abstract: 本发明提供一种陀螺仪传感器、电子设备以及移动体，所述陀螺仪传感器包括：基板；第一驱动部；以及第一检测部和第二检测部，检测角速度，所述第一检测部具有：第一可动体，具备通过所述第一驱动部的振动而振动，并根据角速度发生位移的第一可动电极；以及第一固定电极，固定于所述基板，并与所述第一可动电极相对，所述第二检测部具有：第二可动体，具备通过所述第一驱动部的振动而振动，并根据角速度发生位移的第二可动电极；以及第二固定电极，固定于所述基板，并与所述第二可动电极相对，所述第一可动体和所述第二可动体通过第一连结部连结。
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公开(公告)号：CN102857190B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201210215200.X
申请日：2012-06-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H3/02 , H03H9/21 , H03H2003/026 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种弯曲振动片、及其制造方法以及电子设备，所述弯曲振动片即使小型化也能够有效地去除由振动臂的面外振动而产生的振动泄漏。具备基部(2)、一对驱动用振动臂(3a、3b)、一对检测用振动臂(4a、4b)、驱动电极及检测电极的双侧音叉型弯曲振动片(1)具有，被形成在振动臂与基部之间的结合区域上的金属材料等的调节膜(6a、6b)。调节膜被形成为，包括：被形成在驱动用振动臂与基部之间的结合部上的锥形部(5a、5b)的区域(S1)；靠近锥形部的、基部的区域(S2)以及驱动用振动臂的区域(S3)。在对当在驱动模式下激励了驱动用振动臂时由检测电极输出的检测电流进行监控的同时，所述调节膜通过激光照射等而被部分削除，从使该检测电流成为零。
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公开(公告)号：CN105444747A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510595038.2
申请日：2015-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5621
CPC classification number: G01C19/5607 , H03H9/21 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种抑制不必要的振动而生成稳定的斜向振动的振动片、角速度传感器、电子设备以及移动体。振动片(2)具备振动部(5)，振动部(5)包含第一主面(511)、第二主面(512)、第一侧面(513)、第二侧面(514)，且所述振动部(5)在第一方向(y)上延伸。振动部具有形成在第一主面的第一槽部(55)和形成在第二主面的第二槽部(56)，从与第一主面正交的方向俯视观察时，第一槽部以及第二槽部在第二方向y上并且以向彼此的反方向偏移的方式设置。
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公开(公告)号：CN102650522B
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201210044310.4
申请日：2012-02-23
IPC: G01C19/5776
CPC classification number: G01C19/5649 , G01C19/56
Abstract: 本发明提供信号处理电路、物理量检测装置、角速度检测装置、集成电路装置以及电子设备，其既能抑制电路面积的增加，又能实现比以往低的噪声。I/V转换电路(电流电压转换部)将振子的振荡电流转换为电压。RC滤波器(相位移位部)对I/V转换电路的输出信号进行相位移位。全波整流电路(驱动振幅控制部的一部分)对相位移位后的信号进行二值化，生成切换控制信号。比较器(参照信号生成部)根据I/V转换电路的输出信号，生成同步检波用的参照信号。异或电路(时钟信号生成部)根据参照信号与切换控制信号的相位差，生成频率是驱动信号的频率的2倍的开关电容滤波器用的时钟信号。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103487044A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310225878.0
申请日：2013-06-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: H01L41/332 , G01C19/5621 , G01C19/5628 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明提供一种电子装置、电子设备、移动体、以及电子装置的制造方法，所述电子装置能够防止透过了振动元件等元件的激光对电路元件造成的损坏。所述电子装置的特征在于，具备作为元件的振动元件（20）和作为电路元件的半导体基板（10），所述振动元件（20）上设置有基部（21）、从基部（21）起延伸的支承部（27）、和作为质量调节部的调节用电极（124a、124b），振动元件（20）被配置于，在俯视观察时调节用电极（124a、124b）不与半导体基板（10）重叠的位置处，支承部（27）与半导体基板（10）相连接，从而振动元件（20）被搭载于半导体基板（10）上。
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公开(公告)号：CN102889888A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210251384.5
申请日：2012-07-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5705
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一种振动陀螺元件、陀螺传感器及电子设备，其提高了振动陀螺元件的检测灵敏度。振动陀螺元件(1)具备从支承部(2)延伸的一对驱动用振动臂(3a、3b)和其相反侧的一对检测用振动臂(4a、4b)，并具有：驱动模式，驱动用振动臂在面内方向反向地弯曲振动；第一检测模式，驱动用振动臂在面外方向以相互反向且与哥氏力的作用方向反相的方式弯曲振动，检测用振动臂在面外方向以相互反向且与驱动用振动臂反相的方式弯曲振动；第二检测模式，驱动用振动臂在面外方向以相互反向且与哥氏力的作用方向同相的方式弯曲振动，检测用振动臂在面外方向以相互反向且与驱动用振动臂同相的方式弯曲振动，各个检测用振动臂在第一检测模式和第二检测模式中以同相弯曲振动。
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公开(公告)号：CN101915574B
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201010227462.9
申请日：2004-10-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5621 , G01C19/5628 , G01C19/5783
Abstract: 本发明提供一种在使用振子的物理量测定装置中，可以降低检测信号的零点温度漂移这样的振子支撑构造。提供一种通过连接线(26)来支撑振子(1A)的支撑部件(22)。支撑部件(22)具有形成有应该配置在振子(1A)正下方的开口(25)的支撑板(40)以及连接线(26)，该连接线(26)具有：应该连接固定在振子(1A)上的连接端部(29)；固定到支撑板(40)上的固定部(26a)；以及存在于开口(25)下的折曲部(28)。连接线(26)从支撑板(40)的突出开始位置(39)与折曲部(28)的间隔(L1)是折曲部(28)与连接端部(29)的间隔(L2)的10％或者10％以上。
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公开(公告)号：CN102003956B
公开(公告)日：2012-06-06
申请号：CN201010537849.4
申请日：2005-09-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5607
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 提供了一种支撑结构，该结构具有基板12以及固定在基板12并与振动器1相连的接合线14A、14B。该基板12包括一对彼此相对的固定部分12a以及一对彼此相对的非固定部分12b。该固定部分12a和非固定部分12b一起限定了该基板12中的通孔13A。振动器1用接合线支撑，使得振动器1不直接接触基板12。接合线14A、14B装在固定部分12a上而不装在任一非固定部分12b上。
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公开(公告)号：CN102095418A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010572594.5
申请日：2010-12-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/5783 , H01L2224/32225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/49171 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种机械强度高的封装体及使用该封装体的振动器件。作为振动器件的振动陀螺仪具有：封装底座，其具有通过在第1层基板上层叠第2层基板、第3层基板以及第4层基板而形成的凹部；封装体，其具有通过封装底座的凹部、和接合于封装底座的上端的罩形成的内部空间；以及收纳在内部空间中的陀螺仪振动片及IC芯片。封装体具有由连通孔和多孔体形成的多孔部，该连通孔连通内部空间与外部，该多孔体埋设在连通孔内，并且在多孔部的外部侧以封闭多孔部的外部与内部空间的方式形成有金属膜，并且封装体内部被气密密封。
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